Вакуумные клапаны обычно входят в состав большинства вакуумных систем. Они служат для отсечения и герметизации элементов вакуумной системы, таким образом, обеспечивают необходимую последовательность откачки и напуска атмосферы.

На сегодняшний день из-за развития технологий производства, клапаны с диаметром фланца больше чем 160 мм почти не производятся. Это обусловлено тем, что клапаны с большим ДУ будут стоить столько же или дороже, чем затвор того же ДУ.

Основная конструктивная отличительная особенность вакуумного клапана заключается в простоте его конструкции, по сравнению с затвором. Движение тарелки клапана происходит по оси седла и по оси газового потока. Эта особенность существенно уменьшает проводимость вакуумного клапана, по сравнению с затвором такого же типоразмера фланца. Положения входного и выходного фланцев, как правило, находятся под углом 90°, что также снижает пропускную способность.

Вакуумные клапаны могут иметь как прямую (проходную), так и угловую конструкцию, но в большинстве случаев угловая конструкция будет заметно дешевле. И даже если фланцы ориентированы линейно, внутри клапана все равно будет реализован тот же угловой клапан.

Вакуумные клапаны сейчас в основном имеют пневматический привод, электромагнитный или ручной привод; электромеханический привод уходит в прошлое. Также, из-за большой стоимости мощных электромагнитов и больших пусковых токов, обычно клапаны с электромагнитным приводом имеют ограничение по диаметру фланца, не более 40 мм.

Наименование	Описание	Тип соединения	Типоразмер фланцев	Тип привода	Подробная информация
Клапаны для низкого и среднего вакуума
VAT серия 220 (VAT серия 22.0)	Диафрагменные вакуумные клапаны	NW	16÷40	Ручной	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 244 (VAT серия 24.4)	Угловые вакуумные клапаны со скользящим уплотнением штока и ручным или пневматическим приводом	NW, ISO-K	10÷250	Ручной, пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 245 (VAT серия 24.5)	Проходные вакуумные клапаны со скользящим уплотнением штока и ручным или пневматическим приводом	NW, ISO-K	16÷80	Ручной, пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT Серия 218 (VAT Серия 21.8)	Вакуумные шаровые клапаны Снят с производства (см. Edwards IBV)	NW	10÷40	Ручной	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 311 (VAT серия 31.1)	Дроссельный клапан плавного старта	NW	16÷40	Автоматический	PDF Rus PDF Eng
Edwards SP NPT&BSP	Ручные мембранные вакуумные клапаны	NPT, BSP	1/2”, 3/4”, 1”	Ручной	PDF Rus PDF Eng
Edwards SP NW	Проходные мембранные вакуумные клапаны	NW	10÷50	Ручной	PDF Rus PDF Eng
Edwards AV10K	Ручные вакуумные клапаны для напуска воздуха	NW	10	Ручной	PDF Rus PDF Eng
Edwards IPVA10EK	Проходные электромагнитные вакуумные клапаны для напуска воздуха и газа	NW	10	Электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
Edwards LCPVEKA	Угловые отсечные вакуумные электромагнитные клапаны со скользящим уплотнением штока	NW	16÷25	Электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
Edwards IBV	Проходные вакуумные шаровые клапаны	NW BSP	16÷50 1/2” ÷2”	Ручной	PDF Rus PDF Eng
Высоковакуумные клапаны
VAT серия 250 (VAT серия 25)	Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с цилиндрическим механизмом затвора со скользящим уплотнением штока	NW	16÷40	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 251 (VAT серия 25.1)	Проходные высоковакуумные (HV) клапаны со скользящим уплотнением штока	NW	16÷40	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 252 (VAT серия 25.2)	Высоковакуумные (HV) клапаны с цилиндрическим механизмом затвора и ходом на 3/2 оборота со скользящим уплотнением штока	NW	16÷40	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 263 (VAT серия 26)	Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока и высокой пропускной способностью (с 2016 года объединена с серией 264)	NW, ISO-K	100÷160	Ручной, пневматический, электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 264 (VAT серия 26)	Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока, с пневматическим, электромагнитным и ручным приводом	NW, ISO-K	10÷250	Ручной, пневматический, электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 265 (VAT серия 26)	Проходные высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока, с пневматическим, электромагнитным и ручным приводом	NW, ISO-K	10÷250	Ручной, пневматический, электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 290 (VAT серия 29)	Угловые вакуумные клапаны с функцией плавной откачки с сильфонным уплотнением штока	NW, ISO-K	25÷80	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 291 (VAT серия 29)	Проходные вакуумные клапаны с функцией плавной откачки с сильфонным уплотнением штока	NW	25÷50, 80	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 292 (VAT серия 29)	Угловые вакуумные клапаны с функцией плавной откачки	ISO-K	100÷160	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT Серия 212 (VAT Серия 21.2)	Предохранительные клапаны пружинного принципа действия	NW	16	-	PDF Rus PDF Eng
VAT Серия 213 (VAT Серия 21.3)	Клапаны напуска	NW	10	Электромагнитный, ручной	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 214	Угловые и проходные клапаны малого диаметра	NW, OD*	ø5/M14×1	Электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 216 (VAT Серия 21.6)	Угловые и проходные малогабаритные клапаны	NW, OD*	ø5/M14×1, 16÷40, 63÷160	Ручной, пневматический, Электропневматический, электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 217 (VAT серия 21.7)	Клапан отсечной предохранительный	NW	16÷100	Электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 230 (VAT серия 23.0)	Система отсечного механизма клапана и откачного порта	NW	16÷40	механизм клапана со самостопорящимся маховиком	PDF Eng
Edwards PVPK	Угловые и проходные вакуумные электропневматические клапаны	NW	16÷50	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
Edwards PVEK	Угловые и проходные вакуумные электромагнитные клапаны	NW	10÷40	Электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
Edwards PVMK	Угловые и проходные вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока	NW	16÷40	Ручной	PDF Rus PDF Eng
Edwards IPVMK	Проходные вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока	NW	16÷40	Ручной	PDF Rus PDF Eng
Сверхвысоковакуумные клапаны
VAT серия 284 (VAT серия 28)	Угловые сверхвысоковакуумные (UHV) клапаны с вращающимися фланцами CF-R	CF	16÷63	Ручной, пневматический	PDF Rus PDF Eng
Клапаны для экстремального вакуума
VAT серия 541 (VAT серия 54)	Полностью металлические легко закрываемые угловые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с сильфонным уплотнением штока	CF	16÷63	Ручной	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 570 (VAT серия 57)	Полностью металлические легко закрываемые угловые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с увеличенным ресурсом	CF	63÷160	Ручной, пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 571 (VAT серия 57.1)	Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с увеличенным ресурсом	CF	10÷40	Ручной, пневматический	PDF Rus PDF Eng
Вакуумные клапаны для химической и полупроводниковой промышленности
VAT серия 271 (VAT серия 27.1)	Угловые химические вакуумные клапаны для агрессивных сред	трубка	16÷160	Пневматический	PDF Eng PDF Rus
VAT серия 62	Управляемые угловые вакуумные клапаны для высоких температур и высоких давлений	ISO	100	Шаговый двигатель	PDF Eng
VAT серия 627	Клапан дозирования газа	NW, M14x1	5 ÷ 16	Электромагнитный, Шаговый двигатель	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 660 (серия 66.0)	Управляемые угловые химические вакуумные клапаны для агрессивных сред	NW	16÷50	Ручной, шаговый двигатель	PDF Eng
VAT серия 663 (серия 66.3)	Управляемые угловые химические вакуумные клапаны для агрессивных сред	CF	40÷10	Шаговый двигатель	PDF Eng