Основными преимуществами проведения термообработки в вакууме являются:

• Сведение к минимуму коробление и изменение размеров;
• Стабильное получение качества термообработки (повторяемость результата);
• Однородность свойств по сечению;
• Контроль и предсказуемость результатов;
• Получение оптимальной твердости;
• Получение блестящей и чистой поверхности деталей, с отсутствием необходимости последующей дорогостоящей механической обработки.;

Основным элементом вакуумной печи является камера нагрева, которая представляет собой герметичный сосуд с подсоединенной к нему системой вакуумных насосов, создающих и поддерживающих вакуум на уровне от 10 мм.рт.ст до 10^-6 мм.рт.ст. Вакуумные печи конструктивно могут быть ретортные, где нагревательные элементы и термоизоляция расположены с наружи камеры и классические камерные вакуумные печи, где нагревательные элементы, термоизоляция, все механизмы и узлы расположены внутри камеры нагрева с двойными водоохлаждаемыми стенками. В такой классической компоновке вакуумной печи достигается глубокий вакуум и высокие температуры , до 2500 °С и выше.

Наиболее распространены такие типы вакуумных печей как камерные вакуумные печи, шахтные вакуумные печи и колпаковые вакуумные печи.

Шахтные вакуумные печи имеют вертикально ориентированную камеру, загрузка садки в которую осуществляется сверху. Колпаковые вакуумные печи так же имеют вертикально ориентированную камеру , у которой нижняя крышка является подом и загрузка садки осуществляется снизу. Садка размещается на поде и, в зависимости от конструкции, либо камера печи опускается на под ( как колпак ), либо под поднимается и помещает садку в камеру. Такая компоновка очень удобна, т.к. позволяет с легкостью точно размещать тяжелые садки на поде с помощью цеховых грузоподъемных механизмов. При больших размерах вакуумной печи и больших садках нижняя крышка таких печей может иметь две степени свободы перемещения, т.е. осуществлять подъем и выдвигаться в сторону от печи . Это сделано для удобства загрузки.

Вакуумные печи применяют для изготовления изделий для авиакосмической отрасли, медицины, машиностроении, автомобилестроении, металлургии, электронной промышленности, химической промышленности, их применяют для спекания керамики и металлических порошков