Вакуумную арматуру можно разделить на запорно-регулирующую арматуру (вакуумные затворы, проходные, угловые, встраиваемые вакуумные клапаны и натекатели) и различные вакуумные соединения, которые, как правило, являются необходимыми элементами любой вакуумной системы. Запорно-регулирующая арматура применяется для изолирования части или всей вакуумной камеры от системы откачки, управления последовательностью откачки, напуска воздуха или газа в камеру. Вакуумные соединения, такие как фитинги, заглушки, сильфоны, уплотнения и др., служат для монтажа и соединения различных узлов и устройств вакуумной системы.
Главными параметрами, которые нужно учитывать при выборе запорно-регулирующей вакуумной арматуры для вакуумной системы, являются: рабочее давление, герметичность, проводимость, используемые материалы конструкции, тип уплотнения ввода движения, тип привода и скорость открытия/закрытия. Условно запорно-регулирующую вакуумную арматуру можно разделить на клапаны, затворы и натекатели.
В качестве вакуумных соединений для вакуумного трубопровода чаще всего используют разъемные фланцевые вакуумные соединения. Они бывают разных стандартов. Стандарты фланцевых соединений: ISO-KF (NW), ISO-K, ISO-F, CF -являются наиболее широко используемыми на сегодняшний день.
Для монтажа вакуумной арматуры (клапанов и затворов) в вакуумную систему используются вакуумные соединения VAT соответствующей стандарту ISO-KF (NW) серии 31, ISO-K и ISO-F серии 32, или стандарту CF серии 33. Подробную информацию Вы можете получить скачав файлы PDF Eng на странице
В случае необходимости проведения самостоятельного сервисного обслуживания или ремонта вакуумной арматуры (клапанов и затворов) Вы можете приобрести сервисные наборы VAT. Подробную информацию о комплектации сервисных наборов VAT Вы можете получить у наших специалистов.
Брошюра
Таблица серий VAT
Применение клапанов и затворов по сериям
Соответствие серии клапана или затвора уровню вакуума
Соответствие серии клапана или затвора номинальному диаметру (DN)
Вакуумные клапаны обычно входят в состав большинства вакуумных систем. Они служат для отсечения и герметизации элементов вакуумной системы, таким образом обеспечивая необходимую последовательность откачки и напуска атмосферы. Основная конструктивная отличительная особенность вакуумного клапана заключается в простоте его конструкции, по сравнению с затвором. Вакуумные клапаны сейчас в основном имеют пневматический привод, электромагнитный или ручной привод; электромеханический привод уходит в прошлое. В зависимости от условий процесса выделяют вакуумные, высоковакуумные, сверхвысоковакуумные, экстремальные и специальные клапаны.
Вакуумные затворы обычно входят в состав большинства вакуумных систем. Как и клапаны, они служат для отсечения и герметизации элементов вакуумной системы, таким образом обеспечивая необходимую последовательность откачки и напуска атмосферы. Вакуумный затвор имеет отличительную конструктивную особенность: тарелка затвора перемещается перпендикулярно направлению течения газа, обеспечивая минимальную длину изделия и максимальную проводимость на данном фиксированном диаметре фланца. Вакуумные затворы имеют ручной, пневматический, электромеханический привод. В зависимости от условий процесса выделяют вакуумные, высоковакуумные, сверхвысоковакуумные, специальные, управляемые и щелевые затворы.
Созданная в 1999 году компания Plug In является лидером в разработке и производстве оригинальных решений для вакуумных токовводов, которые применяются практически во всех видах вакуумных установок: напылительных, плазменных, электронно-лучевой сварки, испытательных и т.д. Вакуумные токовводы обеспечивают подачу в вакуумную камеру электрического тока и высокого напряжения или вывод из вакуумной камеры сигналов от различных инструментов и датчиков.
Вакуумный натекатель предназначен для обеспечения напуска газа в вакуумную камеру с величиной потока в строго заданном небольшом диапазоне, с возможностью плавной регулировки. Основными параметрами вакуумного натекателя являются максимальная регулируемая пропускная способность, ограничивающая величину газового потока и плавность ее регулировки. Как правило, вакуумный натекатель не используется для крайнего переключения из положения “закрыто” в положение “открыто”, для подобных целей используется вакуумный клапан.
Вакуумные соединения по конструктивным признакам подразделяют на 3 группы: неразъемные, разъемные и подвижные. Компания "Интек Аналитика" предлагает весь спектр разнообразных компонентов для создания вакуумных систем различной конфигурации. Перечень предлагаемых вакуумных соединений включает в себя вакуумные фланцы, разветвители, переходники, сильфоны и сильфонные шланги, заглушки, смотровые окна, уплотнения и многое другое. Конструкционные компоненты для создания вакуумных систем изготавливаются по стандартам ISO-KF(NW), ISO-K, ISO-F, CF, а также менее распространенные в нашем регионе ASA и ANSI.
Специализируясь на устройствах перемещения и нагрева в сверхвысоком вакууме, “UHV Design” задает темпы развития инновационной продукции в вакуумной промышленности. Их продукция представлена модулями нагрева, вводами вращения MagiDriv, вводами линейного движения, устройствами Push Pull и Wobble Stick, сверхвысоковакуумными заслонками, платформами и устройствами перемещения для образцов и манипуляторами, в том числе сверхвысоковакуумными.