Многие современные технологические процессы проходят в вакууме и требуют контроля давления в широком диапазоне. К сожалению, нет такого физического явления, которое можно было бы эффективно использовать в вакуумметрах для измерения всего требуемого диапазона давлений от атмосферы до глубокого вакуума. Поэтому на различных диапазонах давления используются вакуумные датчики, основанные на разных принципах действия. Компания «Интек Аналитика» представляет широчайший выбор вакуумных датчиков от ведущих производителей измерительного оборудования в мире, способный удовлетворить любые потребности в измерении вакуума. Специалисты нашей компании помогут подобрать измерительную систему любой сложности: от компактного вакуумметра с индикацией на самом датчике до системы, контролирующей несколько вакуумных камер в широком диапазоне с удаленным централизованным управлением и индикацией.

Скачать диаграмму

Предлагаемые датчики вакуума по принципу действия можно разделить на несколько основных групп: деформационные, тепловые и ионизационные.
Деформационные вакуумметры непосредственно измеряют реальную силу воздействия газа на чувствительный элемент датчика и охватывают диапазон давления от атмосферы до 1 мбар (до 10^-4 мбар при использовании мембранно-емкостных датчиков). К механическим вакуумметрам относятся стрелочные, тензорезисторные, мембранно-емкостные датчики.
Показания таких датчиков не зависят от рода газа, так как используются прямые методы измерения.

В основе работы тепловых вакуумметров лежит измерение тепловой проводимости газа, зависящей от давления газа. К таким вакуумметрам можно отнести датчики Пирани, термопарные и конвекционные. Тепловые датчики способны измерять давление от атмосферы до 10^-4 мбар. Датчики такого типа не рекомендуется использовать для измерения давления сред с высоким содержанием паров воды.
К ионизационным вакуумметрам относятся вакуумные датчики с холодным катодом (ячейка Пеннинга) или с накаленным катодом. Вакуумметры такого типа ионизируют газ и измеряют полученный ионный ток. Такие датчики можно применять для измерения давления от 10^-2 до 5•10^-12 мбар.
Ввиду наличия разогретых частей в тепловых и ионизационных вакуумметрах, невозможно их использовать для измерения давления взрывоопасных газов. Как тепловые, так и ионизационные датчики измеряют давление косвенно, в результате этого они имеют следующие недостатки:

• Более высокую погрешность, чем механические датчики;
• Зависимость показаний давления от рода газа.

Для удобного измерения давления в вакуумной камере в широком диапазоне от атмосферы до 10^-10 мбар применяются широкодиапазонные датчики. Они представляют собой комбинацию ионизационного и теплового датчика, совмещенных, как правило, в одном приборе.