Вакуумный натекатель предназначен для обеспечения напуска газа в вакуумную камеру с величиной потока в строго заданном небольшом диапазоне, с возможностью плавной регулировки. Основными параметрами вакуумного натекателя являются максимальная регулируемая пропускная способность, ограничивающая величину газового потока и плавность ее регулировки.
Вакуумные натекатели по принципу действия делятся на механические и импульсные (с пьезоприводом). Механические вакуумные натекатели, как правило, бывают двух типов, игольчатые и мембранные и делятся по типу привода на ручные и электромеханические. По рабочему давлению вакуумные натекатели делятся на высоковакуумные и сверхвысоковакуумные.
Для быстрой разгерметизации вакуумного объема вакуумные натекатели обычно не применяются. Традиционно эту функцию выполняют вакуумные клапаны для напуска атмосферы, у которых максимальный поток в десятки раз больше.
Как правило, вакуумный натекатель не используется для крайнего переключения из положения “закрыто” в положение “открыто”, для подобных целей используется вакуумный клапан.
Наименование | Описание | Тип соединения | Типоразмер фланцев | Тип привода | Подробная информация |
---|---|---|---|---|---|
VAT cерия 590 (серия 59) | Сверхвысоковакуумные (UHV) полностью металлические натекатели | CF | 16 | Ручной, шаговый двигатель | PDF Rus PDF Eng |
VAT серия 211 | Натекатель с функцией клапана | NW | 10/16 | Ручной | PDF Rus PDF Eng |
Edwards LV10K | Игольчатые натекатели с плавной регулировкой | NW | 10 | PDF PDF Eng | |
Chell CMV | Высокоточные игольчатые натекатели | NW | 10 | PDF PDF Eng |