Вакуумные затворы

Вакуумные затворы обычно входят в состав большинства вакуумных систем. Они служат для отсечения и герметизации элементов вакуумной системы, таким образом, обеспечивают необходимую последовательность откачки и напуска атмосферы.

Вакуумный затвор имеет отличительную конструктивную особенность, тарелка затвора перемещается перпендикулярно направлению течения газа, обеспечивая минимальную длину изделия и максимальную проводимость на данном фиксированном диаметре фланца. Основными параметрами вакуумных затворов являются предельное давление, герметичность, диаметр и тип фланца. Для достижения сверхвысокого вакуума обязательно необходимо прогреть затвор, поэтому максимальная температура прогрева также является важным параметром в этом случае. Вакуумные затворы имеют ручной, пневматический, электромеханический привод. Способ приведения затвора в движение и его диаметр фланца указывают на скорость (время) его срабатывания. Вакуумные затворы для специального применения имеют множество конструктивных особенностей, позволяющие получить необходимые параметры.

НаименованиеОписаниеТип соединенияТипоразмер фланцевПодробная информация
Стандартные затворы VAT

VAT серия 010
(Серия 01.0)
Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы малого диаметра общего назначенияNW, CF25÷50PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 012
(Серия 01.2)
Вакуумные затворы малого диаметра общего назначения из бюджетной ценовой группыNW16÷50PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 081
(Серия 08)
Встраиваемые узко профильные затворы с DIN фланцемDIN50÷100PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 091
(Серия 09)
Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессовNW, ISO-F, CF50÷160PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 108
(Серия 10)
Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы универсального примененияISO-F, CF63÷320PDF RUS
PDF Eng

VAT серия 110
(Серия 11)
Высоковакуумные (HV) затворы с сильфонным уплотнением штока из бюджетной ценовой группыISO-F, CF63÷320PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 121
(Серия 12)
Отсечные вакуумные затворы универсального применения из бюджетной ценовой группы ISO-F63÷320PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 140 (Серия 14.0)
Высоковакуумные затворы (HV) больших диаметров для промышленных процессовISO-F, CF, ASA, JIS63-400PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 141 (Серия 14.1)
Высоковакуумные затворы (HV) для промышленных процессовISO-F, CF63÷320PDF Eng

VAT серия 150
(Серия 15.0)
Затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износаISO-F, CF63÷160PDF Rus

VAT серия 151
(Серия 15.1)
Высоковакуумные (HV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа.ISO-F, CF63÷250PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 152
(Серия 15.2)
Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа.ISO-F, CF63÷200PDF
PDF Eng

VAT серия 162
(Серия 16.2)
Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для агрессивных сред с пониженным уровнем частиц механического износаISO-F63÷550PDF RUS
PDF Eng

VAT серия 168
(Серия 16.8)
Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для напылительных систем и систем производства FPDISO-F400÷500PDF RUS
PDF Eng

Серия 17
Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов с подпружиненной блокировкой уплотнения и портом продувкиNW, ISO-F, CF40÷320PDF Eng

VAT серия 190
(Серия 19)
Вакуумные затворы больших диаметровISO-F400÷1250 (под заказ)PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 191
(Серия 19)
Высоковакуумные (HV) затворы больших диаметровISO-F400÷800PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 192
(Серия 19.2)
Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы больших диаметров от DN 400ISO-F400÷1250(под заказ)PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 200 (Серия 20.0)
Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом)ISO-F, CF-F63 ÷ 160PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 202 (Серия 20.2)
Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом, увеличенной высотой фланца)ISO-F, CF-F63 ÷ 160PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 203
(Серия 20.3)
Высоковакуумные (HV) поворотные компактные затворы типа «VATTERFLY» (с пневматическим приводом)ISO-F, CF63÷80PDF RUS
PDF Eng

VAT серия 204
(Серия 20.4)
Высоковакуумные (HV) поворотные компактные затворы типа «VATTERFLY» (с пневматическим приводом, удлинённым корпусом)ISO-F, CF63÷100PDF RUS
PDF Eng

VAT серия 202
(Серия 20.2)
Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом, увеличенной высотой фланца)ISO-F, CF63÷160PDF Eng

VAT cерия 210
Высоковакуумные (HV) дисковые поворотные затворы типа «Butterfly»ISO-F63÷250PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 481
(Серия 48)
Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных средISO-F, CF63÷200PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 482
(Серия 48)
Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных средCF-F63÷160PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 640
(Серия 64)
Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы c 3-х позиционным пневматическим клапаном для дросселирования и изоляцииISO-F, CF-F, ASA-LP, ASA-150, JIS63÷400PDF Rus
PDF Eng
Специальные затворы для ускорителей и синхротронов VAT

VAT серия 471
(Серия 47)
Полностью металлические RF затворы для применения в СВЧ волноводахCF200PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 472
(Серия 47)
Экстремально высоковакуумные (XHV) полностью металлические ВЧ затворы для применения с ВЧ контактом или волноводомCF63÷160PDF Eng

VAT серия 750
(Серия 75.0)
Высоковакуумные (HV) быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания (откидные)По запросу63÷200PDF Eng

VAT серия 752
(Серия 75.2)
Высоковакуумные (HV) быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатыванияCF40PDF Eng

VAT серия 771
(Серия 77.1)
Полностью металлические быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатыванияПо запросу63÷160PDF Eng

VAT серия 773
(Серия 77.3)
Быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания (линейный тип привода)CF40PDF Eng

VAT серия 771
(Серия 77)
Контроллеры для быстрозакрывающихся затворов------PDF Eng

VAT серия 790
(Серия 79)
Высоковакуумные (HV) полностью металлические отсечные задвижки тракта пучкаCF63÷160PDF
PDF Eng

VAT серия 793
(Серия 79)
Высоковакуумные (HV) полностью металлические отсечные задвижки тракта пучка (без корпуса)-63PDF
PDF Eng
Управляемые затворы VAT

VAT серия 612
(Серия 61.2)
Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давленияNW, ISO-F40÷200PDF Eng

VAT Серия 615
(Серия 61.5)
Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечкиNW, ISO-F40÷100PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 642
(Серия 64)
Высоковакуумные (HV) управляемые шиберные затворы с интегрированным контроллером и шаговым двигателем для регулировки давления и изоляцииISO-F, CF100÷400PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 650
(Серия 65.0)
Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечкиISO-F100÷400PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 651
(Серия 65.1)
Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления (с расширенным диапазоном) и изоляцииISO-F, JIS160÷400PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 652
(Серия 65.2)
Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки с расширенным диапазоном регулированияISO-F200÷250PDF Rus
PDF Eng

VAT серия 951
(Серия 95.1)
Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)NW50PDF Eng

VAT серия 952
(Серия 95.2)
Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)ISO-F80÷250PDF Eng
---Контроллеры для затворов серий 61, 62, 64, 65, 67, 95 с функцией управления------PDF Eng
Щелевые затворы для полупроводниковых систем VAT

VAT серия 022/032 (Серия 02.2/03.2)
Щелевые затворы MONOVAT для подложек 200 / 300 / 450 ммSEMI E21-94, SEMI E21.1-129632x222 ÷ 100x500ммPDF Eng

VAT серия 043/053 (Серия 04.3/05.3)
Щелевые затворы L-MOTION для полупроводниковых процессовSEMI E21.1-1296 50x336 ÷ 100x800 ммPDF Eng

VAT cерия 076
(Серия 07.6)
Щелевые затворы L-VAT для шлюзовой загрузочной камеры для установки на атмосферу SEMI E21.1-129650x236 ÷ 56x496ммPDF Eng

VAT серия 024
(Серия 02.4)
Большие щелевые затворы MONOVAT для производства плоских панелей дисплеевщель50x500 ÷ 150x1750 ммPDF Eng

VAT серия 027
(Серия 02.7)
Щелевые затворы MONOVAT типа Roll-to-Roll для непрерывной подачи материала в системах напылениящель50x300 ÷ 50x1250 ммPDF Eng

VAT серия 060
(Серия 06.0)
Большие щелевые затворы XL-VAT для производства плоских панелей дисплеевщель100x1300 ÷ 300x3000 ммPDF Eng

VAT серия 066
(Серия 06.6)
Большие щелевые затворы SolVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установокщель50x500 ÷ 300x3000 ммPDF Eng

VAT серия 068
(Серия 06.8)
Большие щелевые затворы FlapVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установокщель50x500 ÷ 100x3000 ммPDF Eng

VAT серия 078
(Серия 07.8 «small»)
Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей-81x800 ÷ 200x1200 ммPDF Eng

Серия 07.8
Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей-81x800 ÷ 250x3000 ммPDF Eng

VAT серия 075
(VAT серия 07.5)
(Серия 07.5/8)
Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей---25x560 ÷ 80x3500 ммPDF Eng
Специальные затворы VAT

VAT серия 010
(Серия 01.0)
Затворы для анализа газов и снижения давленияNW, CF25÷50PDF Rus
PDF Eng

Серия 67
Управляемые затворы для организации симметричных газовых потоков---320÷450PDF Eng


Пересчитать
x