Вакуумные затворы обычно входят в состав большинства вакуумных систем. Они служат для отсечения и герметизации элементов вакуумной системы, таким образом, обеспечивают необходимую последовательность откачки и напуска атмосферы.

Вакуумный затвор имеет отличительную конструктивную особенность, тарелка затвора перемещается перпендикулярно направлению течения газа, обеспечивая минимальную длину изделия и максимальную проводимость на данном фиксированном диаметре фланца. Основными параметрами вакуумных затворов являются предельное давление, герметичность, диаметр и тип фланца. Для достижения сверхвысокого вакуума обязательно необходимо прогреть затвор, поэтому максимальная температура прогрева также является важным параметром в этом случае. Вакуумные затворы имеют ручной, пневматический, электромеханический привод. Способ приведения затвора в движение и его диаметр фланца указывают на скорость (время) его срабатывания. Вакуумные затворы для специального применения имеют множество конструктивных особенностей, позволяющие получить необходимые параметры.

Наименование	Описание	Тип соединения	Типоразмер фланцев	Подробная информация
Стандартные затворы VAT
VAT серия 010 (Серия 01.0)	Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы малого диаметра общего назначения	NW, CF	25÷50	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 012 (Серия 01.2)	Вакуумные затворы малого диаметра общего назначения из бюджетной ценовой группы	NW	16÷50	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 081 (Серия 08)	Встраиваемые узко профильные затворы с DIN фланцем	DIN	50÷100	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 091 (Серия 09)	Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов	NW, ISO-F, CF	50÷160	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 108 (Серия 10)	Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы универсального применения	ISO-F, CF	63÷320	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 110 (Серия 11)	Высоковакуумные (HV) затворы с сильфонным уплотнением штока из бюджетной ценовой группы	ISO-F, CF	63÷320	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 121 (Серия 12)	Отсечные вакуумные затворы универсального применения из бюджетной ценовой группы	ISO-F	63÷320	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 140 (Серия 14.0)	Высоковакуумные затворы (HV) больших диаметров для промышленных процессов	ISO-F, CF, ASA, JIS	63-400	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 141 (Серия 14.1)	Высоковакуумные затворы (HV) для промышленных процессов Снят с производства (См. VAT серия 140)	ISO-F, CF	63÷320	PDF Eng
VAT серия 150 (Серия 15.0)	Затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа	ISO-F, CF	63÷160	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 151 (Серия 15.1)	Высоковакуумные (HV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа.	ISO-F, CF	63÷250	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 152 (Серия 15.2)	Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа.	ISO-F, CF	63÷200	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 162 (Серия 16.2)	Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для агрессивных сред с пониженным уровнем частиц механического износа	ISO-F	63÷550	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 168 (Серия 16.8)	Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для напылительных систем и систем производства FPD	ISO-F	400÷500	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 172 (Серия 17.2)	Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов с подпружиненной блокировкой уплотнения и портом продувки Снят с производства	ISO-F, CF, ASA, JIS	40÷320	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 174 (Серия 17.4)	Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов с подпружиненной блокировкой уплотнения и портом продувки	NW, ISO-F, CF	40÷50	PDF Eng
VAT серия 190 (Серия 19)	Вакуумные затворы больших диаметров	ISO-F	400÷1250 (под заказ)	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 191 (Серия 19)	Высоковакуумные (HV) затворы больших диаметров	ISO-F	400÷800	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 192 (Серия 19.2)	Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы больших диаметров от DN 400	ISO-F	400÷1250(под заказ)	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 200 (Серия 20.0)	Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом)	ISO-F, CF-F	63 ÷ 160	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 202 (Серия 20.2)	Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом, увеличенной высотой фланца)	ISO-F, CF-F	63 ÷ 160	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 203 (Серия 20.3)	Высоковакуумные (HV) поворотные компактные затворы типа «VATTERFLY» (с пневматическим приводом)	ISO-F, CF	63÷80	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 204 (Серия 20.4)	Высоковакуумные (HV) поворотные компактные затворы типа «VATTERFLY» (с пневматическим приводом, удлинённым корпусом)	ISO-F, CF	63÷100	PDF Rus PDF Eng
VAT cерия 210	Высоковакуумные (HV) дисковые поворотные затворы типа «Butterfly»	ISO-F	63÷250	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 481 (Серия 48)	Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных сред	ISO-F, CF	63÷200	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 482 (Серия 48)	Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных сред	CF-F	63÷160	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 640 (Серия 64)	Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы c 3-х позиционным пневматическим клапаном для дросселирования и изоляции	ISO-F, CF-F, ASA-LP, ASA-150, JIS	63÷400	PDF Rus PDF Eng
Специальные затворы для ускорителей и синхротронов VAT
VAT серия 471 (Серия 47)	Полностью металлические RF затворы для применения в СВЧ волноводах	CF	200	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 472 (Серия 47)	Экстремально высоковакуумные (XHV) полностью металлические ВЧ затворы для применения с ВЧ контактом или волноводом	CF	63÷160	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 750 (Серия 75.0)	Сверхвысоковакуумные (UHV) быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания (откидные)	По запросу	63÷200	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 752 (Серия 75.2)	Сверхвысоковакуумные (UHV) быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания	CF	40	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 771 (Серия 77.1)	Полностью металлические быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания	По запросу	63÷160	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 773 (Серия 77.3)	Быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания (линейный тип привода)	CF	40	PDF Rus PDF Eng
VAT контроллеры	Контроллеры для быстрозакрывающихся затворов VAT Серий 750, 752, 771, 773	---	---	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 790 (Серия 79)	Высоковакуумные (HV) полностью металлические отсечные задвижки тракта пучка	CF	63÷160	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 793 (Серия 79)	Высоковакуумные (HV) полностью металлические отсечные задвижки тракта пучка (без корпуса)	-	63	PDF Rus PDF Eng
Управляемые затворы VAT
VAT серия 612 (Серия 61.2)	Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления	NW, ISO-F	40÷200	PDF Rus PDF Eng
VAT Серия 615 (Серия 61.5)	Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки	NW, ISO-F	40÷100	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 642 (Серия 64)	Высоковакуумные (HV) управляемые шиберные затворы с интегрированным контроллером и шаговым двигателем для регулировки давления и изоляции	ISO-F, CF	100÷400	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 650 (Серия 65.0)	Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки	ISO-F	100÷400	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 651 (Серия 65.1)	Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления (с расширенным диапазоном) и изоляции	ISO-F, JIS	160÷400	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 652 (Серия 65.2)	Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки с расширенным диапазоном регулирования	ISO-F	200÷250	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 65.5	Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки	ISO-F, JIS	250	PDF Eng
VAT серия 951 (Серия 95.1)	Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)	NW	50	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 952 (Серия 95.2)	Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)	ISO-F	80÷250	PDF Rus PDF Eng
---	Контроллеры для управляемых затворов с функцией регулятора давления	---	---	PDF Rus PDF Eng
Щелевые затворы для полупроводниковых систем VAT
VAT серия 022/032 (Серия 02.2/03.2)	Щелевые затворы MONOVAT для подложек 200 / 300 / 450 мм	SEMI E21-94, SEMI E21.1-1296	32x222 ÷ 100x500мм	PDF Eng
VAT серия 043/053 (Серия 04.3/05.3)	Щелевые затворы L-MOTION для полупроводниковых процессов	SEMI E21.1-1296	50x336 ÷ 100x800 мм	PDF Eng
VAT cерия 076 (Серия 07.6)	Щелевые затворы L-VAT для шлюзовой загрузочной камеры для установки на атмосферу	SEMI E21.1-1296	50x236 ÷ 56x496мм	PDF Eng
VAT серия 024 (Серия 02.4)	Большие щелевые затворы MONOVAT для производства плоских панелей дисплеев	щель	50x500 ÷ 150x1750 мм	PDF Eng
VAT серия 027 (Серия 02.7)	Щелевые затворы MONOVAT типа Roll-to-Roll для непрерывной подачи материала в системах напыления	щель	50x300 ÷ 50x1250 мм	PDF Eng
VAT серия 060 (Серия 06.0)	Большие щелевые затворы XL-VAT для производства плоских панелей дисплеев	щель	100x1300 ÷ 300x3000 мм	PDF Eng
VAT серия 066 (Серия 06.6)	Большие щелевые затворы SolVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установок	щель	50x500 ÷ 300x3000 мм	PDF Eng
VAT серия 068 (Серия 06.8)	Большие щелевые затворы FlapVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установок	щель	50x500 ÷ 100x3000 мм	PDF Eng
VAT серия 078 (Серия 07.8 «small»)	Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей	-	81x800 ÷ 200x1200 мм	PDF Eng
Серия 07.8	Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей	-	81x800 ÷ 250x3000 мм	PDF Eng
VAT серия 075 (VAT серия 07.5) (Серия 07.5/8)	Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей	---	25x560 ÷ 80x3500 мм	PDF Eng
Специальные затворы VAT
VAT серия 010 (Серия 01.0)	Затворы для анализа газов и снижения давления	NW, CF	25÷50	PDF Rus PDF Eng
Серия 67	Управляемые затворы для организации симметричных газовых потоков	---	320÷450	PDF Eng