Оборудование полупроводниковой промышленности

Другие категории

Жидкостная химическая обработка

Жидкостная химическая обработка

RAMGRABER предлагает оборудование для очистки и травления пластин. Ручная, полуавтоматическая или полностью автоматическая конфигурации обеспечивают превосходное удаления органических и неорганических загрязнений. Эти системы обеспечивают однородные, воспроизводимые результаты при небольшом потреблении реагентов. Каждая из этих установок может быть укомплектована системами подачи и удаления реагентов по запросу заказчика.


Реагенты для очистки: ДИ-H2O · SC1: NH4OH:H2O:H2O · SC2: HCl:H2O2:H2O · DHF · BOE · Piranha: H2SO4:H2O2 · Ацетон · IPA · HCl, HF, HNO3, NH4F, NH4OH, H2O2, H2SO4 · Горячая ДИ-H2O · ПАВ и др.


Реагента для травления: H3PO4:HNO3:H2O · HF:HNO3:CH3COOH · HF:HNO3:H2O· HCl:HNO3 · TiWN · KOH · NaOH · TMAH · SC1 · SC2 · DHF · BOE · HF · Piranha · и др.

Особенности очистки:

  • различные виды очистки: вертикальная / горизонтальная / комбинированная
  • Ультразвуковая очистка: 25 кГц / 40 кГц / кратные частоты и т.д.
  • Мегазвуковая очистка: 1 МГц / мегазвуковые распылительные сопла и т.д.
  • Спрей, ополаскивание лицевой стороны, подвижные распылительные сопла, обдув N2, измерение значений ph и т.д.
  • Полоскание в проточной ванне, комбинированное ополаскивание в проточной воде и спрей, ополаскивание горячей деионизированной водой, каскадное ополаскивание, ополаскивание с мегазвуком и т.д.

Особенности травления:

  • Полностью автоматическое управление процессом (MES/CAM с помощью SECS/GEM, журнальные файлы и т.д.)
  • Быстрое и точное переключение < 1 сек.
  • Высокотемпературный конструктив > 150 ° C
  • Дополнительное химическое оборудование (станции подачи / смешивания/ удаления)
  • FM 4910 совместимая конфигурация

Преимущества очистки:

  • Превосходное удаление органических и неорганических загрязнений
  • Высокотехнологичная конфигурация вытяжки
  • Инновационный контроль и мониторинг подачи реагентов
  • Безопасные условия подачи реагентов
  • Максимальный срок службы ванны благодаря пульсирующему режиму/питанию и сливу
  • Преимущества травления:

    • Задаваемая скорость травления
    • Оптимизированный расход реагентов
    • Температурная стабильность
    • Высокотехнологичная конфигурация вытяжки
    • Инновационный контроль и мониторинг подачи реагентов
    • Безопасные условия подачи реагентов
    • Максимальный срок службы ванны благодаря пульсирующему режиму/питанию и сливу


    Пересчитать
    x