Принцип действия ионизационного датчика с холодным катодом заключается в ионизации газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга, возникающего при приложении высокого напряжения между катодом и анодом в постоянном магнитном поле. Измеряя полученный ионный ток можно судить о давлении в вакуумной камере. Ионизационный датчик с холодным катодом служит для измерения уровня вакуума в диапазоне от 10^-9 до 10^-2 мбар. Инверсно-магнетронный датчик AIM является разновидностью ионизационного датчика с холодным катодом и производится компанией Edwards. Он предназначен для работы в паре с контроллером TIC Instrument или ADC Enhanced в диапазоне давлений от 1x10^-9 до 1x10^-2 мбар. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом CCM501 производится компанией Instrutech. CCM501 имеет на корпусе дисплей, позволяющий снимать показания прямо на вакуумметре без использования контроллера. CCM501 предназначен для измерения давления в диапазоне от 1,3x10^-8 до 1,3x10^-9 мбар. В отличии от CCM501, ионизационный датчик с холодным катодом CCM500 не имеет собственного дисплея, поэтому для функционирования ему необходим контроллер B-RAX 3100/3100 или FlexRax 4000.