Каталог вакуумного оборудования
Другие категории
Принцип действия ионизационного вакуумметра с горячим катодом основан на пропорциональности давления и ионного тока, который образуется в результате ионизации остаточных газов термоэлектронами, вылетающими из катода. Измерение давления происходит следующим образом. Через катод датчика пропускают электрический ток, в результате чего происходит его нагрев и возникает эмиссия электронов. Эти электроны начинают движение в сторону сетки, напряжение на которой относительно коллектора составляет 200 В. Электроны в процессе своего движения к сетке, сталкиваются с молекулами газа, образуя положительно заряженные ионы. Ионы под воздействием электрического поля движутся к коллектору и, попадая на него, создают ионный ток, который фиксируется приемным устройством модуля. Величина ионного тока сопоставляется с величиной электронного тока и, как результат, получается величина давления в вакуумном объёме. Датчики такого типа предназначены для измерения давления вакуума в диапазоне от 10-3 до 10-12 мбар.
Инверсно-магнетронный датчик измеряет низкое давления газа, благодаря использованию разряда Пеннинга, возбуждаемого между холодными электродами в постоянном магнитном поле. В инверсно-магнетронном датчике катод и анод — два соосных цилиндра. Под действием электрического и магнитного полей электроны движутся таким образом, что их попадание на анод может происходить только в результате столкновений с молекулами газа. Образовавшиеся при этом вторичные электроны движутся по аналогичным траекториям, а ионы, попадая на катод, вызывают на нём ионно-электронную эмиссию. В результате, в разрядном промежутке возникает самостоятельный разряд. Датчики такого типа предназначены для измерения давления вакуума в диапазоне от 10-2 до 10-9 мбар.
Ионизационный
Ионизационные датчики с накаленным катодом
Принцип действия ионизационного вакуумметра с горячим катодом основан на пропорциональности давления и ионного тока, который образуется в результате ионизации остаточных газов термоэлектронами, вылетающими из катода. Измерение давления происходит следующим образом. Через катод датчика пропускают электрический ток, в результате чего происходит его нагрев и возникает эмиссия электронов. Эти электроны начинают движение в сторону сетки, напряжение на которой относительно коллектора составляет 200 В. Электроны в процессе своего движения к сетке, сталкиваются с молекулами газа, образуя положительно заряженные ионы. Ионы под воздействием электрического поля движутся к коллектору и, попадая на него, создают ионный ток, который фиксируется приемным устройством модуля. Величина ионного тока сопоставляется с величиной электронного тока и, как результат, получается величина давления в вакуумном объёме. Датчики такого типа предназначены для измерения давления вакуума в диапазоне от 10-3 до 10-12 мбар.
Ионизационные датчики с холодным катодом
| Модель |  |  |  |  |
|---|---|---|---|---|
| AIGX | IGM401 | AIM-S/SL AIM-X/XL | CCM501 | |
| Производитель | Edwards | Instrutech | Edwards | Instrutech |
| Диапазон измерения, мбар | 6,6 x 10-2 – 6,6 x 10-10 | 6,7 x 10-2 – 1,3 x 10-9 | 10-2 – 10-9 | 1,3 x 10-2 – 1,3 x 10-8 |
| Погрешность, % | ±15 | ±30 | ||
| Входной фланец | NW25, CF16/40 | NW16/25/40, CF16/40 | NW25, CF40 | NW16/25/40, CF35/40 |
| Потребляемая мощность, Вт | 14 | 30 | 2 | 7,2 |
| Электрическое соединение | RJ45 | D-Sub 9-pin | RJ45 | D-Sub 9-pin |
| Наличие встроенного дисплея | + | + | ||
| Вес, г | 300 | 270 | 810 | 770 |
-
С холодным катодомПринцип действия ионизационного датчика с холодным катодом заключается в ионизации газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга, возникающего при приложении высокого напряжения между катодом и анодом в постоянном магнитном поле. При измерении полученного ионного тока судят о давлении в вакуумной камере. Ионизационный датчик с холодным катодом служит для измерения уровня вакуума в диапазоне от 10-9 до 10-2 мбар. Разновидностями ионизационного датчика с холодным катодом являются инверсно-магнетронный датчик AIM, производимый компанией Edwards, и ионизационный вакуумметр с холодным катодом CCM501, производимый компанией Instrutech.
-
С накаленным катодомИонизационные датчики с накаленным катодом представляют собой систему из электродов, в которую входит катод, сетка и коллектор. Накаленный катод является источником термоэлектронов, которые, выходя за пределы катода, ускоряются в электростатическом поле сетки и ионизируют газ, соударяясь с молекулами и атомами. Полученные ионы попадают на коллектор и создают ток, измеряя который можно получить информацию о давлении в вакуумной камере. Ионизационные датчики с накаленным катодом служат для измерения давления в диапазоне от 10-11до 10-2 мбар. Ионизационные датчики с накаленным катодом представлены датчиком AIGX, производимым компанией Edwards, и ионизационным вакуумметром IGM401, производимым компанией Instrutech.