Модель | ||||
---|---|---|---|---|
AIGX | IGM401 | AIM-S/SL AIM-X/XL | CCM501 | |
Производитель | Edwards | Instrutech | Edwards | Instrutech |
Диапазон измерения, мбар | 6,6 x 10-2 – 6,6 x 10-10 | 6,7 x 10-2 – 1,3 x 10-9 | 10-2 – 10-9 | 1,3 x 10-2 – 1,3 x 10-8 |
Погрешность, % | ±15 | ±30 | ||
Входной фланец | NW25, CF16/40 | NW16/25/40, CF16/40 | NW25, CF40 | NW16/25/40, CF35/40 |
Потребляемая мощность, Вт | 14 | 30 | 2 | 7,2 |
Электрическое соединение | RJ45 | D-Sub 9-pin | RJ45 | D-Sub 9-pin |
Наличие встроенного дисплея | + | + | ||
Вес, г | 300 | 270 | 810 | 770 |
Принцип действия ионизационного датчика с холодным катодом заключается в ионизации газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга, возникающего при приложении высокого напряжения между катодом и анодом в постоянном магнитном поле. При измерении полученного ионного тока судят о давлении в вакуумной камере. Ионизационный датчик с холодным катодом служит для измерения уровня вакуума в диапазоне от 10-9 до 10-2 мбар. Разновидностями ионизационного датчика с холодным катодом являются инверсно-магнетронный датчик AIM, производимый компанией Edwards, и ионизационный вакуумметр с холодным катодом CCM501, производимый компанией Instrutech.
Ионизационные датчики с накаленным катодом представляют собой систему из электродов, в которую входит катод, сетка и коллектор. Накаленный катод является источником термоэлектронов, которые, выходя за пределы катода, ускоряются в электростатическом поле сетки и ионизируют газ, соударяясь с молекулами и атомами. Полученные ионы попадают на коллектор и создают ток, измеряя который можно получить информацию о давлении в вакуумной камере. Ионизационные датчики с накаленным катодом служат для измерения давления в диапазоне от 10-11до 10-2 мбар. Ионизационные датчики с накаленным катодом представлены датчиком AIGX, производимым компанией Edwards, и ионизационным вакуумметром IGM401, производимым компанией Instrutech.