Датчики с накаленным катодом (10
-11 – 10
-2 мбар)
Ионизационные датчики с накаленным катодом представляют собой систему из электродов, в которую входит катод, сетка и коллектор. Накаленный катод является источником термоэлектронов, которые, выходя за пределы катода, ускоряются в электростатическом поле сетки и ионизируют газ, соударяясь с молекулами и атомами. Полученные ионы попадают на коллектор и создают ток, измеряя который можно получить информацию о давлении в вакуумной камере. Ионизационные датчики с накаленным катодом служат для измерения давления в диапазоне от 10
-11 до 10
-2 мбар.
Ионизационный датчик с накаленным катодом AIGX производится компанией Edwards. Он предназначен для работы в паре с
контроллером TIC Instrument в диапазоне давлений от 6,6x10
-10 до 6,6x10
-2 мбар.
Ионизационный вакуумметр с накаленным катодом IGM401 производится компанией Instrutech. IGM401 имеет на корпусе дисплей, позволяющий снимать показания прямо на вакуумметре без использования контроллера. IGM401 предназначен для измерения давления в диапазоне от 1,3x10
-9 до 6,7x10
-2 мбар. В отличии от IGM401, ионизационный датчик с накаленным катодом IGM400 не имеет собственного дисплея, поэтому для функционирования ему необходим контроллер
B-RAX 3100/3100 или
FlexRax 4000.