Механические бустеры используются в комбинации с форвакуумными насосами для увеличения производительности вакуумной системы или для достижения более глубокого вакуума. По принципу действия являются насосами Рутса и обеспечивают полностью сухую, безмасляную откачку, благодаря чему перекачиваемый газ не вступает в контакт с водой или маслом, что гарантирует чистоту процесса. Позволяют перекачивает большие объемы конденсируемых паров и пыли и очень надежны в эксплуатации.
Мы предлагаем широкий спектр безмасляных механических бустеров с производительностью от 250 м3/ч до 30 000 м3/ч. Серия EH обеспечивает производительность 300-4200 м3/ч. Для высокопроизводительных процессов предназначены бустеры серии HV, производительность которых достигает 30000 м3/ч.
Данный вид оборудования используется в самых разных областях: от металлургии, производства полупроводниковых приборов, упаковки, нанесения тонких пленок до физики высоких энергий.
Модель насоса | Геометрическая быстрота откачки, м3/ч (л/с) | Перепад давлений на насосе, Па (Торр) |
---|---|---|
EH250 | 310 (86,1) | 0 - 11 000 (0 – 82,5) |
EH500 | 505 (140,4) | |
EH1200 | 1195 (332,2) | 0 - 9 000 (0 – 68) |
EH2600 | 2590 (720) | 0 - 8 000 (0 – 60) |
EH4200 | 4140 (1150,9) | 0 - 6 000 (0 – 45) |
HV8000 | 7200 (2000) | 19000 (142,5) |
HV14000 | 14100 (3919,8) | 3400 (26) |
HV30000 | 30000 (8340) | 2900 (22) |