8-800-200-24-80
Каталог вакуумного оборудования
Другие категории
* - с прогревом входного фланца
(!) – насосы сняты с производства, для замены рекомендуется:
(!1) EXT556H - замена STP603, STPA803, nEXT400 или STP-iX455
(!2) STP-iXR1606 - с размером фланца DN200, DN250 замена STP-iS2207, с размером фланца DN160 замена STP-iS1607, STPA 803C
(!3) STP-iXR2206 - замена STP-iS2207.
Турбомолекулярные насосы
Компания «Интек» предлагает современное вакуумное оборудование, включая устройства, обеспечивающие сверхнизкое давление для научных и промышленных задач. Если в планах купить турбомолекулярный насос, в нашем каталоге всегда есть большой выбор моделей разных брендов. Мы выполняем не только поставку техники, но также квалифицированное обслуживание, включая сервис в гарантийный и постгарантийный период.
Как устроен?
Турбовакуумный насос относится к высокотехнологичным установкам, созданным для работы в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума. Его основу составляет ротор, оснащённый множеством дисков или лопаток, которые вращаются с очень высокий скоростью, достигающей десятков тысяч оборотов в минуту. Между вращающимися лопатками ротора расположены стационарные лопатки статора. Лопатки ротора и статора формируют ступени насоса, которые передают импульс молекулам газа, способствуя их перемещению от входного патрубка к выходному.
Система привода включает электродвигатель и контроллер, который обеспечивает точное управление скоростью вращения, а также мониторинг состояния оборудования. Корпус насоса изготавливается из высокопрочных металлов, способных выдерживать значительные нагрузки и перепады давления.
Принцип работы
Когда ротор вращается с высокой скоростью, его лопатки сталкиваются с молекулами газа, которые находятся в вакуумной камере. Кинетическая энергия от лопаток передаётся молекулам воздуха, направляя их в сторону выпускного отверстия. Молекулы движутся от одной ступени к другой, каждый раз получая новый импульс, пока не достигнут выходного патрубка. Насос создаёт направленный поток молекул, эффективно выкачивая воздух из системы.
Турбомолекулярные насосы работают только в условиях так называемого молекулярного потока, то есть при низком давлении, когда длина свободного пробега молекул газа превышает размеры каналов между лопатками. Поэтому для их работы требуется предварительная откачка с помощью форвакуумного насоса. Форвакуумный насос создаёт требуемый низкий уровень давления, при котором турбомолекулярный насос начинает эффективно работать, достигая сверхвысокого вакуума.
Разновидности
В зависимости от конструкции и назначения можно купить турбомолекулярный вакуумный насос следующих видов:
- классические модели – оснащены двумя необслуживаемыми керамическими подшипниками, используются в большинстве промышленных и научных установках;
- гибридные модели – состоят из нижнего обслуживаемого механического подшипника и верхнего постоянного магнитного подшипника, обеспечивают сниженные эксплуатационные затраты;
- полностью на магнитном подвесе – оснащены двумя комплектами безмасляных бесконтактных подшипников, что обеспечивает минимальный износ и высочайшую скорость откачки;
- компактные настольные решения – подходят для лабораторий, где важна мобильность и простота интеграции.
Сферы и области применения
Турбомолекулярный вакуумный насос активно применяется в различных отраслях, где требуется создание чистого и глубокого вакуума:
- Научные исследования. В физике элементарных частиц, материаловедении, ядерной физике и других областях науки, где для экспериментов необходимы условия сверхвысокого вакуума;
- Полупроводниковая промышленность. При производстве микросхем, чипов, тонкоплёночных покрытий и других электронных компонентов;
- Оптическая промышленность. Для нанесения оптических покрытий, таких как антибликовые слои на линзы;
- Медицинское оборудование. В производстве и обслуживании ускорителей частиц и другого технологичного оборудования;
- Нанотехнологии. Для работы с наноструктурами, требующими исключительной чистоты рабочей среды;
- Масс-спектрометрия и аналитическое оборудование. Турбовакуумный насос является ключевым компонентом для получения глубокого вакуума в масс-спектрометрах, используемых в химии, биологии, медицине.
Как выбрать?
Выбор турбомолекулярного вакуумного насоса – это важная задача, которая требует учёта разных факторов. Прежде всего, важно определить необходимый уровень вакуума и скорость откачки, которые зависят от объёма и характера рабочей камеры. Перед покупкой рекомендуем обратить внимание на следующие факторы:
- Тип подшипников. Магнитные подшипники обеспечивают максимальную чистоту, но в этом исполнении будет более высокая цена турбомолекулярного насоса. Керамические шариковые подшипники – это надёжный и более доступный вариант, однако стоит учитывать параметры вашего процесса. Например, для более сложных процессов и высоких скоростей откачки рекомендуется использовать магнитные подшипники;
- Скорость откачки. Этот показатель определяет то, как быстро насос создаст необходимый вакуум в системе;
- Наличие форвакуумного насоса. Турбомолекулярные модели работают вместе с форвакуумным насосом, поэтому рекомендуем подобрать подходящий комплект устройств;
- Контроллер. Управление и мониторинг работы насоса осуществляются через контроллер, который должен быть многофункциональным;
- Производитель. Выбирайте известных производителей (например, Edwards и Leybold), техника которых зарекомендовала себя с наилучшей стороны;
- Гарантия и сервис. Компания «Интек» предлагает не только качественное оборудование, а также постгарантийное обслуживание.
| Модель | Входной фланец | Быстрота откачки (N2), л/с | Предельное остаточное давление, Па (Торр) | Техническое описание |
|---|---|---|---|---|
| Турбомолекулярные насосы с необслуживаемым нижним подшипником и магнитным верхним | ||||
| EXT75Dx | NW40 | 42 | 5x10-6 (3,7x10-8) |  описание |
| ISO63-K | 61 | |||
| ISO100-K | 66 | |||
| DN63CF | 61 | 5x10-6 (3,7x10-8) | ||
| EXT556H (!1) | ISO160-K | 540 | 2x10-7 (1,5x10-9) | описание |
| DN160CF | 1x10-8 (7,5x10-11) | |||
| Турбомолекулярные насосы с обслуживаемым нижним подшипником и магнитным верхним | ||||
| nEXT55 | ISO63 | 55 | 1х10-5 (7,5x10-8) | описание (Eng) |
| nEXT85 | NW40 | 48 | 5x10-7(3,8x10-9) | описание описание (Eng) |
| ISO63-K | 84 | |||
| ISO100-K | 85 | |||
| DN63CF | 84 | 5x10-8(6x10-10) | ||
| nEXT240 | ISO100-K | 240 | 6x10-6 (4,5x10-8) | описание |
| DN100CF | 5x10-8 (3,7x10-10) | |||
| nEXT300 | ISO100-K | 300 | 6x10-6 (4,5x10-8) | описание |
| DN100CF | 5x10-8 (3,7x10-10) | |||
| nEXT400 | ISO160-K | 400 | 1x10-6 (7,5x10-9) | описание |
| DN160CF | 1x10-8 (7,5x10-10) | |||
| nEXT730 | ISO160-K | 730 | 3,5х10-7 (2,6х10-9) | описание |
| DN160CF | 6х10-8 (4,5х10-10) | |||
| nEXT930 | ISO200-K | 925 | 3,5х10-7 (2,6х10-9) | описание |
| DN200CF | 6х10-8 (4,5х10-10) | |||
| nEXT1230 | ISO200-K | 1250 | 5х10-7 (3,8х10-9) | описание |
| ISO200-F | ||||
| DN200CF | 5х10-8 (3,8х10-10) | |||
| Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с интегрированным контроллером | ||||
| STP-iX 455 | ISO100-K | 300 | 6,5x10-6 (5x10-8) | описание |
| DN100CF | 1x10-8 (7,5x10-11) | |||
| ISO160-K | 480 | 6,5x10-6 (5x10-8) | ||
| DN160CF | 1x10-8 (7,5x10-11) | |||
| STP-iXR 1606 (!2) | ISO160-F | 900 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| VG150 | ||||
| ISO200-F | 1600 | |||
| ISO250-F | ||||
| VG200 | ||||
| STP-iS1607 STP-iS1607C | ISO160-F | 1000 | 10-7 (10-9) | описание Eng |
| VG150 | ||||
| ISO200-F | 1600 | |||
| VG200 | ||||
| STP-iXR2206 (!3) | ISO250-F | 2200 | 10-7 (10-9) | описаниеописание Eng |
| DN250CF | ||||
| VG250 | ||||
| STP-iXA 2206C | ISO250-F | 2200 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| DN250CF | ||||
| STP-iS2207C | ISO200-F | 1850 | 1x10-6 (1x10-8) | описание Eng |
| DN200CF | ||||
| ISO250-F | 2200 | |||
| DN250CF | ||||
| STP-iX3006 | ISO250-F | 2300 (N2) / 2600 (H2) | 1x10-7 (1x10-9) | - |
| DN250CF | ||||
| VG250 | ||||
| STP-iX3006 | ISO320-F | 2700 (N2) / 2700 (H2) | 1x10-7 (1x10-9) | - |
| DN320CF | ||||
| VG300 | ||||
| VG350 | ||||
| VF350 | ||||
| STP-iXA 3306C | ISO250-F | 2650 | 1x10-7(7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| DN250CF | ||||
| ISO320-F | 3200 | |||
| DN320CF | ||||
| STP-iXA 4506C | VG300 | 3800 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание (Eng) |
| ISO320-F | 4000 | |||
| VG350 | 4300 | |||
| VG400 | ||||
| Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с выносным контроллером | ||||
| STP 301 / STP 301C | ISO100-K | 300 | 6,5x10-6 (5x10-8) | описаниеописание Eng |
| DN100CF | 1x10-8 (7,5x10-11) | |||
| STPH301C | ISO100-K | 300 | 10-7*(10-9*) | описаниеописание Eng |
| DN100CF | ||||
| STP 451 / STP 451C | ISO160-F | 480 | 6,5x10-6 (5x10-8) | описаниеописание Eng |
| DN160CF | 1x10-8 (7,5x10-11) | |||
| STP 603 / STP 603C | ISO160-F | 650 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| DN160CF | 1x10-8 (7,5x10-11) | |||
| STPA 803C | ISO160-F | 800 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описание |
| DN160CF | ||||
| STP 1003 / STP 1003C | ISO200-F | 1000 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| DN200CF | 1x10-8 (7,5x10-11) | |||
| STPA1303C | ISO200-F | 1300 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описание |
| DN200CF | ||||
| STPA 1603C | ISO200-F | 1600 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| DN200CF | ||||
| STPA 2203C | ISO250-F | 2200 | 1x10-6 (7,5x10-9) | описаниеописание Eng |
| DN250CF | ||||
| STP-XA 2703C | ISO250-F | 2650 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| DN250CF | ||||
| STP-XA 3203C | ISO320-F | 3200 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| DN320CF | ||||
| STP-XA 4503C | ISO320-F | 4000 | 1x10-7 (7,5x10-10) | описаниеописание Eng |
| DN400CF | 4300 | |||
(!) – насосы сняты с производства, для замены рекомендуется:
(!1) EXT556H - замена STP603, STPA803, nEXT400 или STP-iX455
(!2) STP-iXR1606 - с размером фланца DN200, DN250 замена STP-iS2207, с размером фланца DN160 замена STP-iS1607, STPA 803C
(!3) STP-iXR2206 - замена STP-iS2207.
Производительность
Предельный вакуум