Компания Edwards является лидером в области чистых и сухих вакуумных технологий и предлагает широкий спектр турбомолекулярных насосов, подходящих для применения как в промышленности, так и в научно-исследовательских целях.

В турбомолекулярных насосах Edwards используются самые современные достижения, позволяющие получать высокий и сверхвысокий вакуум. В данных вакуумных насосах применяются два основных варианта исполнения подшипников: магнитные подвесы и механические керамические шариковые подшипники. Используя самые современные технологии в области проектирования роторов, эти насосы обладают высокой пропускной способностью при низком предельном остаточном давлении. Для максимального увеличения срока службы и надёжности насосов при работе в жёстких условиях, Edwards предлагает модификации турбомолекулярных насосов, разработанных специально для таких целей. Эти и другие достоинства турбомолекулярных насосов Edwards позволяют получать наилучшие показатели работы при минимальном обслуживании по сравнению с другими турбомолекулярными насосами.

Высококачественные турбомолекулярные насосы Edwards получили широкое применение в различных отраслях:

• микроэлектроника;
• полупроводниковая промышленность;
• научные приборы, разрабатываемые для исследования электрофизических свойств микроструктур;
• ускорители;
• плазменное травление;
• напыление плёнок;
• ионная имплантация.

 

Конвертер величин

Модель	Входной фланец	Быстрота откачки (N2), л/с	Предельное остаточное давление, Па (Торр)	Техническое описание
Турбомолекулярные насосы с необслуживаемым нижним подшипником и магнитным верхним
EXT75Dx	NW40	42	5x10-6 (3,7x10-8)	описание
	ISO63-K	61
	ISO100-K	66
	DN63CF	61	5x10-6 (3,7x10-8)
EXT556H (!1)	ISO160-K	540	2x10-7 (1,5x10-9)	описание
	DN160CF		1x10-8 (7,5x10-11)
Турбомолекулярные насосы с обслуживаемым нижним подшипником и магнитным верхним
nEXT55	ISO63	55	1х10-5 (7,5x10-8)	описание (Eng)
nEXT85	NW40	48	5x10-7(3,8x10-9)	описание описание (Eng)
	ISO63-K	84
	ISO100-K	85
	DN63CF	84	5x10-8(6x10-10)
nEXT240	ISO100-K	240	6x10-6 (4,5x10-8)	описание
	DN100CF		5x10-8 (3,7x10-10)
nEXT300	ISO100-K	300	6x10-6 (4,5x10-8)	описание
	DN100CF		5x10-8 (3,7x10-10)
nEXT400	ISO160-K	400	1x10-6 (7,5x10-9)	описание
	DN160CF		1x10-8 (7,5x10-10)
nEXT730	ISO160-K	730	3,5х10-7 (2,6х10-9)	описание
	DN160CF		6х10-8 (4,5х10-10)
nEXT930	ISO200-K	925	3,5х10-7 (2,6х10-9)	описание
	DN200CF		6х10-8 (4,5х10-10)
nEXT1230	ISO200-K	1250	5х10-7 (3,8х10-9)	описание
	ISO200-F
	DN200CF		5х10-8 (3,8х10-10)
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с интегрированным контроллером
STP-iX 455	ISO100-K	300	6,5x10-6 (5x10-8)	описание
	DN100CF		1x10-8 (7,5x10-11)
	ISO160-K	480	6,5x10-6 (5x10-8)
	DN160CF		1x10-8 (7,5x10-11)
STP-iXR 1606 (!2)	ISO160-F	900	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание Eng
	VG150
	ISO200-F	1600
	ISO250-F
	VG200
STP-iS1607 STP-iS1607C	ISO160-F	1000	10-7 (10-9)	описание Eng
	VG150
	ISO200-F	1600
	VG200
STP-iXR2206 (!3)	ISO250-F	2200	10-7 (10-9)	описание описание Eng
	DN250CF
	VG250
STP-iXA 2206C	ISO250-F	2200	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание Eng
	DN250CF
STP-iS2207C	ISO200-F	1850	1x10-6 (1x10-8)	описание Eng
	DN200CF
	ISO250-F	2200
	DN250CF
STP-iX3006	ISO250-F	2300 (N2) / 2600 (H2)	1x10-7 (1x10-9)	-
	DN250CF
	VG250
STP-iX3006	ISO320-F	2700 (N2) / 2700 (H2)	1x10-7 (1x10-9)	-
	DN320CF
	VG300
	VG350
	VF350
STP-iXA 3306C	ISO250-F	2650	1x10-7(7,5x10-10)	описание описание Eng
	DN250CF
	ISO320-F	3200
	DN320CF
STP-iXA 4506C	VG300	3800	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание (Eng)
	ISO320-F	4000
	VG350	4300
	VG400
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с выносным контроллером
STP 301 / STP 301C	ISO100-K	300	6,5x10-6 (5x10-8)	описание описание Eng
	DN100CF		1x10-8 (7,5x10-11)
STPH301C	ISO100-K	300	10-7*(10-9*)	описание описание Eng
	DN100CF
STP 451 / STP 451C	ISO160-F	480	6,5x10-6 (5x10-8)	описание описание Eng
	DN160CF		1x10-8 (7,5x10-11)
STP 603 / STP 603C	ISO160-F	650	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание Eng
	DN160CF		1x10-8 (7,5x10-11)
STPA 803C	ISO160-F	800	1x10-7 (7,5x10-10)	описание
	DN160CF
STP 1003 / STP 1003C	ISO200-F	1000	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание Eng
	DN200CF		1x10-8 (7,5x10-11)
STPA1303C	ISO200-F	1300	1x10-7 (7,5x10-10)	описание
	DN200CF
STPA 1603C	ISO200-F	1600	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание Eng
	DN200CF
STPA 2203C	ISO250-F	2200	1x10-6 (7,5x10-9)	описание описание Eng
	DN250CF
STP-XA 2703C	ISO250-F	2650	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание Eng
	DN250CF
STP-XA 3203C	ISO320-F	3200	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание Eng
	DN320CF
STP-XA 4503C	ISO320-F	4000	1x10-7 (7,5x10-10)	описание описание Eng
	DN400CF	4300

^* - с прогревом входного фланца
(!) – насосы сняты с производства, для замены рекомендуется:
(!1) EXT556H - замена STP603, STPA803, nEXT400 или STP-iX455
(!2) STP-iXR1606 - с размером фланца DN200, DN250 замена STP-iS2207, с размером фланца DN160 замена STP-iS1607, STPA 803C
(!3) STP-iXR2206 - замена STP-iS2207.