Турбомолекулярные насосы

Компания Edwards является лидером в области чистых и сухих вакуумных технологий и предлагает широкий спектр турбомолекулярных насосов, подходящих для применения как в промышленности, так и в научно-исследовательских целях.

В турбомолекулярных насосах Edwards используются самые современные достижения, позволяющие получать высокий и сверхвысокий вакуум. В данных вакуумных насосах применяются два основных варианта исполнения подшипников: магнитные подвесы и механические керамические шариковые подшипники. Используя самые современные технологии в области проектирования роторов, эти насосы обладают высокой пропускной способностью при низком предельном остаточном давлении. Для максимального увеличения срока службы и надёжности насосов при работе в жёстких условиях, Edwards предлагает модификации турбомолекулярных насосов, разработанных специально для таких целей. Эти и другие достоинства турбомолекулярных насосов Edwards позволяют получать наилучшие показатели работы при минимальном обслуживании по сравнению с другими турбомолекулярными насосами.

Высококачественные турбомолекулярные насосы Edwards получили широкое применение в различных отраслях:

  • микроэлектроника;
  • полупроводниковая промышленность;
  • научные приборы, разрабатываемые для исследования электрофизических свойств микроструктур;
  • ускорители;
  • плазменное травление;
  • напыление плёнок;
  • ионная имплантация.

 
Модель Входной фланецБыстрота откачки (N2), л/с Предельное остаточное
давление, Па (Торр)
Техническое
описание
Турбомолекулярные насосы с необслуживаемым нижним подшипником и магнитным верхним
EXT75DxNW40425x10-6 (3,7x10-8)описание
ISO63-K61
ISO100-K66
DN63CF615x10-6 (3,7x10-8)
EXT556HISO160-K5402x10-7 (1,5x10-9)описание
DN160CF1x10-8 (7,5x10-11)
Турбомолекулярные насосы с обслуживаемым нижним подшипником и магнитным верхним
nEXT85NW40485x10-7(3,8x10-9)описание
описание (Eng)
ISO63-K84
ISO100-K85
DN63CF845x10-8(6x10-10)
nEXT240ISO100-K2406x10-6 (4,5x10-8)описание
DN100CF5x10-8 (3,7x10-10)
nEXT300ISO100-K3006x10-6 (4,5x10-8)описание
DN100CF5x10-8 (3,7x10-10)
nEXT400ISO160-K4001x10-6 (7,5x10-9)описание
DN160CF1x10-8 (7,5x10-10)
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с интегрированным контроллером
STP-iX 455ISO100-K3006,5x10-6 (5x10-8)описание
DN100CF1x10-8 (7,5x10-11)
ISO160-K4806,5x10-6 (5x10-8)
DN160CF1x10-8 (7,5x10-11)
STP-iXR 1606ISO160-F9001x10-7 (7,5x10-10)описание
VG150
ISO200-F1600
ISO250-F
VG200
STP-iXA 2206CISO250-F22001x10-7 (7,5x10-10)описание
DN250CF
STP-iXA 3306CISO250-F26501x10-7 (7,5x10-10)описание
DN250CF
ISO320-F3200
DN320CF
STP-iXA 4506CVG30038001x10-7 (7,5x10-10)-
ISO320-F4000
VG3504300
VG400
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с выносным контроллером
STP 301 / STP 301CISO100-K3006,5x10-6 (5x10-8)описание
DN100CF1x10-8 (7,5x10-11)
STP 451 / STP 451CISO160-F4806,5x10-6 (5x10-8)описание
DN160CF1x10-8 (7,5x10-11)
STP 603 / STP 603CISO160-F6501x10-7 (7,5x10-10)описание
DN160CF1x10-8 (7,5x10-11)
STPA 803CISO160-F8001x10-7 (7,5x10-10)описание
DN160CF
STP 1003 / STP 1003CISO200-F10001x10-7 (7,5x10-10)описание
DN200CF1x10-8 (7,5x10-11)
STPA1303CISO200-F13001x10-7 (7,5x10-10)описание
DN200CF
STPA 1603CISO200-F16001x10-7 (7,5x10-10)описание
DN200CF
STPA 2203CISO250-F22001x10-6 (7,5x10-9)описание
DN250CF
STP-XA 2703CISO250-F26501x10-7 (7,5x10-10)описание
DN250CF
STP-XA 3203CISO320-F32001x10-7 (7,5x10-10)описание
DN320CF
STP-XA 4503CISO320-F40001x10-7 (7,5x10-10)описание
DN400CF4300

Пересчитать
x