Вакуумная смазка представляет собой смазочный материал с низким значением летучести и используется для применения в условиях низких давлений. Смазочные материалы с более высокой летучестью будут испаряться, в результате чего они не будут оставаться в нужном месте для обеспечения смазки, а также их испарение будет пагубно влиять на характеристики вакуума в системе. Помимо смазочного материала, вакуумная смазка также используется в качестве герметика для соединений в вакуумных системах. Такое применение, как правило, ограничивается невысоким уровнем вакуума, так как чрезмерно низкое давление или высокие температуры могут привести к дегазации смазки. Очень часто вакуумные смазки используется в стеклянных вакуумных системах. В процессах производства электроники, вакуумные смазки часто используется для предотвращения коррозии.

Вакуумные герметики в зависимости от своих свойств, как правило, наиболее эффективны для обеспечения уплотнения вакуумных систем до 10^-9 мбар. Они обладают превосходными водонепроницаемыми свойствами, обеспечивая общую герметизацию против воды, водяного пара и атмосферной влаги.

Компаунды являются универсальным временным уплотнением систем невысокого вакуума. Это мягкое по консистенции вещество, которое легко формуется вручную при температуре окружающей среды, но достаточно твердое, чтобы оставаться на месте.