Принцип действия датчика Пирани основан на зависимости теплопередачи через разряженный газ от давления газа. Передача теплоты происходит от тонкой металлической нити к трубке с фланцем, находящейся при комнатной температуре. Металлическая нить нагревается в вакууме путем пропускания электрического тока. Вычисление величины давления производится на основе уравнения теплового баланса. В датчике Пирани используется резистивный измеритель температуры. Температура спирали указывает на величину передачи тепла между спиралью и трубкой. При снижении давления газа, снижается и теплопередача, тем самым спираль отдает в окружающую среду меньше тепла и сильнее разогревается при постоянной мощности, таким образом, результатом вычисления является величина давления газа.
Компания «Интек Аналитика» предлагает обратить внимание на современный датчик Пирани APG200 производства Edwards. Этот датчик вакуума способен измерять давление от атмосферы до 10-4 мбар, обладает компактными размерами, позволяющими использовать его в ограниченном пространстве. Совместим со всеми контроллерами для вакуумных датчиков от Edwards. Комбинация этих преимуществ делает датчик Пирани APG200 наиболее популярным в приложениях измерения уровня вакуума общего назначения.
При измерении давления датчиком Пирани различных газов требуется учитывать тип газа, т.к. разная теплопроводность газов приведет к заметному искажению показаний. Традиционно датчики Пирани калибруются по чистому воздуху. Ниже приведен график пересчета для различных газов. Для OEM (тез контроллера) использования датчиков требуется разбить весь диапазон измерения на узкие поддиапазоны с индивидуальным коэффициентом пересчета. Для датчиков Пирани Edwards есть простое решение этой задачи это Контролер измерительный TIC. У него в настройках можно указать тип газа (H2, He, Ar, CO2, Ne, Kr, Вольты) и показания давления будет автоматически пересчитываться.