8-800-200-24-80
Каталог вакуумного оборудования
Другие категории
Магниторазрядные высоковакуумные насосы
Компания Gamma Vacuum производит широкий спектр высоковакуумных магниторазрядных насосов, титановые сублимационные насосы, неиспаряемые геттерные насосы, аксессуары и контроллеры для указанных насосов. Gamma Vacuum является лидирующим поставщиком данного оборудования благодаря высокому качеству продукции, быстрой доставке, оперативному сервисному обслуживанию и инновационным решениям.
Магниторазрядные вакуумные насосы компании Gamma Vacuum представлены тремя типами конструктивных исполнений откачного элемента, в которых реализуются основные, используемые на практике, принципы ионно-сорбционной откачки:
- Элемент CV – диодный элемент с титановыми пластинами, предназначен для откачки воздуха и реактивных газов;
Преимущества: высокая быстрота откачки реактивных газов, точная индикация давления, отличная электрическая стабильность, отличная стабильность вакуума.
Особенности: невысокая емкость по инертным газам, низкое давление запуска насоса, потенциальная аргонная нестабильность. - Элемент DI – комбинированный диодный элемент с титановой и танталовой пластинами, предназначен для откачки воздуха, реактивных и инертных газов; обладает на 20% меньшей скоростью откачки реактивных газов, по сравнению с CV элементом;
Преимущества: откачка инертных газов, точная индикация давления, отличная электрическая стабильность, отличная стабильность вакуума.
Особенности: низкое давление запуска насоса, более высокая стоимость. - Элемент TR – триодный элемент с щелевыми титановыми пластинами, предназначен для откачки воздуха, реактивных и инертных газов; обладает на 25% меньшей скоростью откачки реактивных газов, по сравнению с CV элементом;
Преимущества: высокое давление запуска насоса, откачка инертных газов,
Особенности: низкая скорость откачки при сверхвысоком вакууме, более высокая стоимость, электрическая нестабильность и нестабильность вакуума – возникновение дугового пробоя.
Кривые быстродействия при различных вариантах элементов
Магниторазрядные насосы Gamma Vacuum имеют самый широкий модельный ряд насосов по сравнению с конкурентами (стандартные модели имеют скорость откачки от 0,2 л/с до 1200 л/с) а имеются нестандартные насосы и решения (например – насосы с корпусом из титана, специальная серия Eximo и др.). Стандартные насосы представлены в двух исполнениях – вертикальном и горизонтальном, а так же существует большое число опций (распыляемые геттеры, системы прогрева и пр.) что позволяет оптимально подобрать модель под Вашу задачу.
Условно, по форм-фактору магниторазрядные насосы Gamma Vacuum можно разделить на три типа: малогабаритные, низкопрофильные и высокопрофильные. Первый тип относится к компактным насосам со скоростью откачки до 75 л/с, второй и третий тип - это высокопроизводительные насосы, отличающиеся ориентацией расположения рабочих элементов внутри корпуса.
Для расширения характеристик магниторазрядных насосов применяются геттерные насосы NEG и титано-сублимационные насосы TSP. Конструкция насосов Gamma Vacuum позволяет их встраивать прямо в корпус насоса, а управление доступно прямо с дисплея контроллера магниторазрядного насоса. Также, геттерные и титано-сублимационные насосы можно использовать отдельно.
Конструкция насоса с дополнительным фланцем для встраивания титанового сублимационного насоса с неохлаждаемым экраном или криоэкраном.
Одним из основных преимуществ применения насосов Gamma Vacuum является возможность непосредственного контакта с представителями изготовителя либо специалистами АО “Интек Аналитика”, осуществляющими поддержку потребителя на всех стадиях, начиная от разработки и эксплуатации, и заканчивая постгарантийным обслуживанием.
На стадии разработки оборудования учитываются все предпочтения потребителя, а в период эксплуатации, обеспечивается высококвалифицированная техническая поддержка, а также собирается и анализируется информация по основным техническим показателям используемого изделия. Компания Интек Аналитика, представляя Gamma Vacuum, не только поставляет оборудование потребителю, но и принимает активное участие на всех стадиях работы с клиентом.
TiTanT Ion Pumps Rus
Применение магниторазрядных насосов
Сводная таблица
| Параметры | Ско- рость откачки, л/с | Предель- ное оста- точное дав- ление,мбар | Давл- ение запуска, мбар Элементы CV,DI (TR) | Темпе- ратура прогрева, °C (со сня- тыми магни- тами) | Фланцы | Вес, кг | Элементы; CV, DI, TR (CVX/DIX – XHV (Eximo) испол- нение) | Габариты, мм |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Насос | ||||||||
| МАЛОГАБАРИТНЫЕ МАГНИТОРАЗРЯДНЫЕ (ИОННЫЕ) НАСОСЫ СЕРИИ S | ||||||||
| TiTan™ Mini | 0,2 | <10-11 | <1x10-4 | 80 (450) | CF-R 16 | 0,35 | DI | 39 x 41 x 49 чертеж |
| TiTan™ 3S | 2 - 3 | 80 (450) | CF-R 16 | 0,35 | CV, DI | 108 x 48 x 45 чертеж | ||
| TiTan™ 5S | 2 - 5 | 200 (450) | CF-R 35 | 2,3 | 106 x 85 x 81 чертеж | |||
| TiTan™ 10S | 8 - 10 | <1x10-3 | 200 (450) | CF-R 35 | 6 | 200 x 153 x 79 чертеж | ||
| TiTan™ 10ST | 8 - 10 | 80 (450) | CF-R 35 | 4 | CV/CVX DI/DIX | 218 x 131 x 63 чертеж | ||
| TiTan™ 10SW | 8 - 10 | 250 (450) | CF-R 35 | 6 | 215 x 153 x 80 чертеж | |||
| TiTan™ 25SVT | 15 - 20 | <1x10-3 (<5x10-2) | 80 (450) | CF-R 35 | 7 | CV, DI, ТR | 227 x 161 x 91 чертеж | |
| TiTan™ 25SVW | 15 - 20 | 250 (450) | CF-R 35 | 8 | 227 x 161 x 126 чертеж | |||
| TiTan™ 25S | 15 - 20 | 250 (450) | CF-R 35 | 9 | CV/CVX DI/DIX ТR | 201 x 161 x 131 чертеж | ||
| TiTan™ 45S | 35 - 40 | 250 (450) | CF-R 63 | 16 | 201 x 208 x 131 чертеж | |||
| TiTan™ 75S | 60 - 75 | 250 (450) | CF-R 100 | 22 | 277 x 242 x 131 чертеж | |||
| НИЗКОПРОФИЛЬНЫЕ МАГНИТОРАЗРЯДНЫЕ (ИОННЫЕ) НАСОСЫ СЕРИИ L | ||||||||
| TiTan™ 100L | 80 - 100 | < 10-11 | <1x10-3 (<5x10-2) | 250 (450) | CF 100 CF 150 | 26 | CV/CVX DI/DIX ТR | 294 x 328 x 128 чертеж |
| TiTan™ 200L | 160 - 200 | CF 100 CF 150 | 50 | 295 x 413 x 233 чертеж | ||||
| TiTan™ 300L | 240 - 300 | CF 150 | 66 | 295 x 413 x 337 чертеж | ||||
| TiTan™ 400L | 320 - 400 | CF 150 | 67 | 295 x 413 x 413 чертеж | ||||
| TiTan™ 400LX | 320 - 400 | CF 150 | 95 | 506 x 408 x 233 чертеж | ||||
| TiTan™ 600L | 480 - 600 | CF 150 CF 200 | 103 | 295 x 517 x 517 чертеж | ||||
| TiTan™ 600LX | 480 - 600 | CF 150 CF 200 | 122 | 506 x 413 x 337 чертеж | ||||
| TiTan™ 800LX | 640 - 800 | CF 150 CF 200 | 127 | 506 x 413 x 413 чертеж | ||||
| TiTan™ 1200LX | 960 - 1200 | CF 150 CF 200 | 206 | 507 x 517 x 517 чертеж | ||||
| TiTan™ XW | - | <1x10-3 | CF 35 | 25 | CV DI | 362 x 362 x 200 чертеж | ||
| ВЫСОКОПРОФИЛЬНЫЕ МАГНИТОРАЗРЯДНЫЕ (ИОННЫЕ) НАСОСЫ СЕРИИ T | ||||||||
| TiTan™ 150T | 120 - 150 | < 10-11 | <1x10-3 (<5x10-2) | 250 (450) | CF 100 CF 150 | 36 | CV/CVX DI/DIX ТR | 442 x 231 x 247 чертеж |
| TiTan™ 150TV | 120 - 150 | CF 100 | 32 | 337.8 x 231 x 247 чертеж | ||||
| TiTan™ 200T | 160 - 200 | CF 100 CF 150 | 40 | 519 x 231 x 247 чертеж | ||||
| TiTan™ 300T | 240 - 300 | CF 150 | 66 | 423 x 207 x 453 чертеж | ||||
| TiTan™ 300TV | 240 - 300 | CF 150 | 65 | 345 x 231 x 450 чертеж | ||||
| TiTan™ 500T | 400 - 500 | CF 150 | 96 | 631 x 207 x 453 чертеж | ||||
| TiTan™ 600TV | 480 - 600 | CF 150 | 103 | 525 x 305 x 450 чертеж | ||||
