Чувствительным элементом тензорезисторного датчика является деформирующаяся при изменении давления в вакуумной камере мембрана. Тензорезистор, расположенный на мембране, при деформации изменяет сопротивление. Управляющая электроника датчика измеренное сопротивление по заложенному алгоритму переводит в единицы измерения давления. Тензорезисторный датчик способен с высокой точностью измерять давление в диапазоне от 1 до 2000 мбар. Его показания не зависят от типа газа. Представлен моделью ASG2, производимой компанией Edwards. Совместим c контроллерами для вакуумных датчиков TIC Instuments и ADC Enhanced.
В мембранно-емкостном датчике чувствительным элементом является мембрана, разделяющая внутреннее пространство датчика на две части. Мембрана реагирует на изменение разности давлений между двумя частями, прогибаясь в сторону меньшего давления. В мембранно-емкостном датчике мембрана установлена между обкладками конденсатора. При изменении положения мембраны изменяется электрическая емкость конденсатора и возникает переменный ток в цепи, эквивалентный давлению в камере. Производителями датчиков являются компании Brooks Instrument и Setra.
Стрелочный датчик состоит из капсулы, поделенной мембраной на две части. При изменении давления в вакуумной камере мембрана деформируется, отклоняясь в сторону более низких давлений. Мембрана механически связана со стрелкой на циферблате посредством рычажной передачи. В зависимости от давления в запаянной части, стрелочный датчик применяется для измерения различных диапазонов давления с нижним значением от 1 до 20 мбар и верхним от 25 до 1000 мбар соответственно, при этом показания не зависят от типа газа. Производителем стрелочного датчика CG16K является компания Edwards.