Стрелочные вакуумметры

Стрелочные вакуумметры представляют собой мембрану, которая посредством рычажной передачи отклоняет стрелку на циферблате вакуумметра. Представленный вакуумметр СG16K содержит герметично запаянную откачанную полость, отделенную мембраной (капсулу) с рычажной передачей, которая отклоняет стрелку на циферблате вакуумметра. Капсула помещена в корпус вакуумметра. Так как давление в герметичном объеме вакуумметра всегда остается неизменным, а давление со стороны системы к которой он подключен изменяется, происходит деформация мембраны, которая с помощью рычага отклоняет стрелку прибора на определенный угол, соответствующий значению на шкале вакуумметра.

Тензорезисторные датчики

Принцип действия тензорезисторного вакуумметра схож со стрелочным. Отличие заключается в том, как определяется степень деформации мембраны. В стрелочном вакуумметре эта информация передается механическим путем, в тензорезисторном – на мембрану установлен тензорезистор, мембрана под воздействием давления деформируется, передает деформацию на тензорезистор, сопротивление которого измеряется контроллером. По сопротивлению тензорезистора судят о давлении в системе. Датчики такого типа предназначены для измерения давления вакуума в диапазоне от 1 до 2000 мбар.

Мембранно-емкостные датчики

В основе принципа действия мембранно-емкостных датчиков также лежит регистрация величины прогиба тонкой диафрагмы под действием входного давления. Измерение давления происходит следующим образом: диафрагма помещена между двумя пластинами конденсатора и ее смещение в ту или иную сторону приводит к изменению электрической емкости, что в свою очередь ведет к появлению в цепи переменного тока, связанного с величиной давления.