Деформационные датчики

Стрелочные вакуумметры

Деформационные датчики.PNGСтрелочные вакуумметры представляют собой мембрану, которая посредством рычажной передачи отклоняет стрелку на циферблате вакуумметра. Представленный вакуумметр СG16K содержит герметично запаянную откачанную полость, отделенную мембраной (капсулу) с рычажной передачей, которая отклоняет стрелку на циферблате вакуумметра. Капсула помещена в корпус вакуумметра. Так как давление в герметичном объеме вакуумметра всегда остается неизменным, а давление со стороны системы к которой он подключен изменяется, происходит деформация мембраны, которая с помощью рычага отклоняет стрелку прибора на определенный угол, соответствующий значению на шкале вакуумметра.

Тензорезисторные датчики

Принцип действия тензорезисторного вакуумметра схож со стрелочным. Отличие заключается в том, как определяется степень деформации мембраны. В стрелочном вакуумметре эта информация передается механическим путем, в тензорезисторном – на мембрану установлен тензорезистор, мембрана под воздействием давления деформируется, передает деформацию на тензорезистор, сопротивление которого измеряется контроллером. По сопротивлению тензорезистора судят о давлении в системе. Датчики такого типа предназначены для измерения давления вакуума в диапазоне от 1 до 2000 мбар.

Мембранно-емкостные датчики

В основе принципа действия мембранно-емкостных датчиков также лежит регистрация величины прогиба тонкой диафрагмы под действием входного давления. Измерение давления происходит следующим образом: диафрагма помещена между двумя пластинами конденсатора и ее смещение в ту или иную сторону приводит к изменению электрической емкости, что в свою очередь ведет к появлению в цепи переменного тока, связанного с величиной давления.

 
МодельCG16K.PNGASG.PNGbrooks cmc.PNG brooks cmx.PNGsetra 760.PNGsetra 730.PNG
CG16KASG2CMCCMXSeries 730Series 760
ПроизводительEdwardsBrooks InstrumentSetra
Диапазон измерения, мбар1000 – 11000 – 1,
2000 – 1
3,5 декады,
1000 – 5x10-3
4 декады,
1000 – 10-5
3,5 декады,
1000 – 5x10-3
3,5 декады,
1000 – 5x10-3
Погрешность, %±2±0,2до ±0,25до ±0,15до ±0,25до ±0,15
Входной фланецNW16NW16/25,
NPT 1/8”
NW10/16/25,
CF40
NW10/16/25,
CF40
NW10/16/25,
NPT 1/4”
NW16/25/40,
CF16/40
Потребляемая мощность, Вт0,40,2макс. 22,80,20,5
Электрическое соединениесобственныйD-Sub 9-pin,
D-Sub 15-pin, клеммы
D-Sub 9-pin,
D-Sub 15-pin
D-Sub 9-pin,
D-Sub 15-pin, клеммы
D-Sub 9-pin,
D-Sub 15-pin клеммы
Наличие встроенного дисплея+
Вес, г1000150137726250260

Пересчитать
x