Каталог вакуумного оборудования
Другие категории
Стрелочные вакуумметры представляют собой мембрану, которая посредством рычажной передачи отклоняет стрелку на циферблате вакуумметра. Представленный вакуумметр СG16K содержит герметично запаянную откачанную полость, отделенную мембраной (капсулу) с рычажной передачей, которая отклоняет стрелку на циферблате вакуумметра. Капсула помещена в корпус вакуумметра. Так как давление в герметичном объеме вакуумметра всегда остается неизменным, а давление со стороны системы к которой он подключен изменяется, происходит деформация мембраны, которая с помощью рычага отклоняет стрелку прибора на определенный угол, соответствующий значению на шкале вакуумметра.
Деформационный
Стрелочные вакуумметры
Стрелочные вакуумметры представляют собой мембрану, которая посредством рычажной передачи отклоняет стрелку на циферблате вакуумметра. Представленный вакуумметр СG16K содержит герметично запаянную откачанную полость, отделенную мембраной (капсулу) с рычажной передачей, которая отклоняет стрелку на циферблате вакуумметра. Капсула помещена в корпус вакуумметра. Так как давление в герметичном объеме вакуумметра всегда остается неизменным, а давление со стороны системы к которой он подключен изменяется, происходит деформация мембраны, которая с помощью рычага отклоняет стрелку прибора на определенный угол, соответствующий значению на шкале вакуумметра.
Тензорезисторные датчики
Принцип действия тензорезисторного вакуумметра схож со стрелочным. Отличие заключается в том, как определяется степень деформации мембраны. В стрелочном вакуумметре эта информация передается механическим путем, в тензорезисторном – на мембрану установлен тензорезистор, мембрана под воздействием давления деформируется, передает деформацию на тензорезистор, сопротивление которого измеряется контроллером. По сопротивлению тензорезистора судят о давлении в системе. Датчики такого типа предназначены для измерения давления вакуума в диапазоне от 1 до 2000 мбар.Мембранно-емкостные датчики
В основе принципа действия мембранно-емкостных датчиков также лежит регистрация величины прогиба тонкой диафрагмы под действием входного давления. Измерение давления происходит следующим образом: диафрагма помещена между двумя пластинами конденсатора и ее смещение в ту или иную сторону приводит к изменению электрической емкости, что в свою очередь ведет к появлению в цепи переменного тока, связанного с величиной давления.
-
ТензорезисторныйЧувствительным элементом тензорезисторного датчика является деформирующаяся при изменении давления в вакуумной камере мембрана. Тензорезистор, расположенный на мембране, при деформации изменяет сопротивление. Управляющая электроника датчика измеренное сопротивление по заложенному алгоритму переводит в единицы измерения давления. Тензорезисторный датчик способен с высокой точностью измерять давление в диапазоне от 1 до 2000 мбар. Его показания не зависят от типа газа. Представлен моделью ASG2, производимой компанией Edwards. Совместим c контроллерами для вакуумных датчиков TIC Instuments и ADC Enhanced.
-
Мембранно-емкостныйВ мембранно-емкостном датчике чувствительным элементом является мембрана, разделяющая внутреннее пространство датчика на две части. Мембрана реагирует на изменение разности давлений между двумя частями, прогибаясь в сторону меньшего давления. В мембранно-емкостном датчике мембрана установлена между обкладками конденсатора. При изменении положения мембраны изменяется электрическая емкость конденсатора и возникает переменный ток в цепи, эквивалентный давлению в камере. Производителями датчиков являются компании Brooks Instrument и Setra.
-
Стрелочный
Стрелочный датчик состоит из капсулы, поделенной мембраной на две части. При изменении давления в вакуумной камере мембрана деформируется, отклоняясь в сторону более низких давлений. Мембрана механически связана со стрелкой на циферблате посредством рычажной передачи. В зависимости от давления в запаянной части, стрелочный датчик применяется для измерения различных диапазонов давления с нижним значением от 1 до 20 мбар и верхним от 25 до 1000 мбар соответственно, при этом показания не зависят от типа газа. Производителем стрелочного датчика CG16K является компания Edwards.