Широкодиапазонные датчики вакуума являются системой, объединяющей несколько типов датчиков в одно целое. Если объединить ионизационный датчик с тепловым, появляется возможность измерять давление от атмосферы до сверхвысокого вакуума.
Датчик WRG представляет собой заключенные в одном корпусе инверсно-магнетронный преобразователь давления и преобразователь Пирани. Такая конструкция позволяет экономить пространство и требует только один фланец для его подключения к вакуумной системе. Выходной сигнал датчика WRG представляет собой линейную функцию на всем диапазоне измерений, что очень удобно.
Датчик ATMION представляет собой аналогичный прибор, однако, в качестве высоковакуумной части здесь используется ионизационный преобразователь с холодным катодом, что позволяет производить измерения высокого вакуума с более высокой точностью.
Вакуумметр IGM402 представляет собой ионизационный датчик со встроенным контроллером и дисплеем, с возможностью непосредственного подключения двух конвекционных датчиков CVG101 . Столь гибкое решение позволяет, например, одновременно измерять давление в вакуумной камере в широком диапазоне и давление в форвакуумной линии в нескольких точках.
Датчик WRH объединяет в одном корпусе два преобразователя: ионизационный преобразователь с накаленным катодом с системой Баярда-Альперта и преобразователь Пирани. Датчик выпускается с аналоговым выходным сигналом и цифровым протоколом RS485, что позволяет легко подключить датчик к внешним системам автоматизации.
Модель | ||||
---|---|---|---|---|
WRG сравнить | IGM402 сравнить | ATMION сравнить | WRH сравнить | |
Производитель | Edwards | Instrutech | Vacom | Edwards |
Диапазон измерения, мбар | 1000 – 10-9 | 1333 – 1,3 x 10-9 | 1000 – 10-10 | 1000 – 5x10-10 |
Погрешность, % | ±15 (p=1000…10-3), ±30 (p=10-3… 1x10-9) | ±10 (p=1333…10-4), ±15 (p=10-4… 1,3x10-9) | ±25 (p=1000…10-2), ±10 (p=10-2… 10-10) | ±30 (p=1000…10), ±10 (p=10… 1x10-8) |
Входной фланец | NW25, CF40 | NW16/25/40, CF16/40 | NW25, CF40 | NW25/40, CF40 |
Потребляемая мощность, Вт | 2 | 32 | 22 | 8 |
Электрическое соединение | RJ45 | D-Sub 9-pin | D-Sub 9-pin и D-Sub 15-pin | D-Sub 15-pin |
Наличие встроенного дисплея | - | + | - | - |
Вес, г | 800 | 270 | 1600 | 475 |