Мембранно-емкостные датчики

В мембранно-емкостном датчике чувствительным элементом является мембрана, разделяющая внутреннее пространство датчика на две части. Одна часть откачена и изолирована, к другой подключается вакуумная камера. Мембрана реагирует на изменение разности давлений между двумя частями, прогибаясь в сторону меньшего давления. В мембранно-емкостном датчике мембрана установлена между обкладками конденсатора. При изменении положения мембраны, изменяется электрическая емкость конденсатора, возникает переменный ток в цепи, эквивалентный давлению в камере. Мембранно-емкостной датчик может очень точно измерять давление в диапазоне от 3,5 до 4 порядков с нижним пределом до 10-5 мбар. Показания мембранно-емкостного датчика не зависят от рода газа.

 
 
CMCXacTorr CMX45XacTorr CMX100XacTorr CMX160730760
ПроизводительBrooks InstrumentSetra
Диапазон измерения, мбар0-10, 0-20, 0-100, 0-10000-0,1*, 0-1, 0-2, 0-10, 0-20, 0- 100, 0-10000-10, 0-20, 0-100, 0-200, 0- 10000-1, 0-10, 0-20, 0-100, 0-1000
Погрешность, %±(0,25 – 0,5)±(0,15 – 0,35)±(0,25 – 0,5)±(0,15 – 0,25)
Рабочая температура, °С0 – 8015 – 3515 – 4515 – 350 - 800 - 50
Входной фланецNW10/16/25, CF63, патрубок 0,5”NW10/16/25, CF10/63, патрубок 0,5”NW10/16/25, патрубок 0,5/0,25”NW10/16/25, CF10/63, патрубок 0,5”
Потребляемая мощность, Вт0,22,652 – 22,80,30,5
Электрическое соединениеD-Sub 9-pin, D-Sub 15-pinD-Sub 15-pin
Наличие встроенного дисплея-
Вес, г137726250260
* - доступно только в версии с показателем давления в Торр или Па.

Пересчитать
x