В мембранно-емкостном датчике чувствительным элементом является мембрана, разделяющая внутреннее пространство датчика на две части. Одна часть откачена и изолирована, к другой подключается вакуумная камера. Мембрана реагирует на изменение разности давлений между двумя частями, прогибаясь в сторону меньшего давления. В мембранно-емкостном датчике мембрана установлена между обкладками конденсатора. При изменении положения мембраны, изменяется электрическая емкость конденсатора, возникает переменный ток в цепи, эквивалентный давлению в камере. Мембранно-емкостной датчик может очень точно измерять давление в диапазоне от 3,5 до 4 порядков с нижним пределом до 10^-5 мбар. Показания мембранно-емкостного датчика не зависят от рода газа.

 

Конвертер величин

	CMC	XacTorr CMX45	XacTorr CMX100	XacTorr CMX160	730	760
Производитель	Brooks Instrument				Setra
Диапазон измерения, мбар	0-10, 0-20, 0-100, 0-1000	0-0,1*, 0-1, 0-2, 0-10, 0-20, 0- 100, 0-1000			0-10, 0-20, 0-100, 0-200, 0- 1000	0-1, 0-10, 0-20, 0-100, 0-1000
Погрешность, %	±(0,25 – 0,5)	±(0,15 – 0,35)			±(0,25 – 0,5)	±(0,15 – 0,25)
Рабочая температура, °С	0 – 80	15 – 35	15 – 45	15 – 35	0 - 80	0 - 50
Входной фланец	NW10/16/25, CF63, патрубок 0,5”	NW10/16/25, CF10/63, патрубок 0,5”			NW10/16/25, патрубок 0,5/0,25”	NW10/16/25, CF10/63, патрубок 0,5”
Потребляемая мощность, Вт	0,2	2,652 – 22,8			0,3	0,5
Электрическое соединение	D-Sub 9-pin, D-Sub 15-pin					D-Sub 15-pin
Наличие встроенного дисплея	-
Вес, г	137	726			250	260

^* - доступно только в версии с показателем давления в Торр или Па.