В мембранно-емкостном датчике чувствительным элементом является мембрана, разделяющая внутреннее пространство датчика на две части. Одна часть откачена и изолирована, к другой подключается вакуумная камера. Мембрана реагирует на изменение разности давлений между двумя частями, прогибаясь в сторону меньшего давления. В мембранно-емкостном датчике мембрана установлена между обкладками конденсатора. При изменении положения мембраны, изменяется электрическая емкость конденсатора, возникает переменный ток в цепи, эквивалентный давлению в камере. Мембранно-емкостной датчик может очень точно измерять давление в диапазоне от 3,5 до 4 порядков с нижним пределом до 10-5 мбар. Показания мембранно-емкостного датчика не зависят от рода газа.
CMC | XacTorr CMX45 | XacTorr CMX100 | XacTorr CMX160 | 730 | 760 | |
---|---|---|---|---|---|---|
Производитель | Brooks Instrument | Setra | ||||
Диапазон измерения, мбар | 0-10, 0-20, 0-100, 0-1000 | 0-0,1*, 0-1, 0-2, 0-10, 0-20, 0- 100, 0-1000 | 0-10, 0-20, 0-100, 0-200, 0- 1000 | 0-1, 0-10, 0-20, 0-100, 0-1000 | ||
Погрешность, % | ±(0,25 – 0,5) | ±(0,15 – 0,35) | ±(0,25 – 0,5) | ±(0,15 – 0,25) | ||
Рабочая температура, °С | 0 – 80 | 15 – 35 | 15 – 45 | 15 – 35 | 0 - 80 | 0 - 50 |
Входной фланец | NW10/16/25, CF63, патрубок 0,5” | NW10/16/25, CF10/63, патрубок 0,5” | NW10/16/25, патрубок 0,5/0,25” | NW10/16/25, CF10/63, патрубок 0,5” | ||
Потребляемая мощность, Вт | 0,2 | 2,652 – 22,8 | 0,3 | 0,5 | ||
Электрическое соединение | D-Sub 9-pin, D-Sub 15-pin | D-Sub 15-pin | ||||
Наличие встроенного дисплея | - | |||||
Вес, г | 137 | 726 | 250 | 260 |