Чувствительным элементом тензорезисторного датчика является мембрана, разделяющая рабочую область датчика на две части. Одна часть подключается к вакуумной камере, другая изолирована и находится при пониженном давлении. При изменении давления в вакуумной камере, мембрана деформируется. Тензорезистор, расположенный на мембране, при деформации изменяет сопротивление. Управляющая электроника датчика измеренное сопротивление по заложенному алгоритму переводит в единицы измерения давления. Тем самым, тензорезисторный датчик способен с высокой точностью измерять давление в диапазоне от 1 до 2000 мбар. Показания тензорезисторного датчика не зависят от типа газа.

Тензорезисторный датчик ASG2 производиться компанией Edwards. Этот датчик вакуума способен измерять давление от 1000 до 1 мбар или от 2000 до 1 мбар, в зависимости от модификации. Совместим c контроллерами для вакуумных датчиков TIC Instuments и ADC Enhanced.