Криогенные вакуумные насосы являются идеальным средством для применений, требующих одновременно глубокого безмасляного вакуума и больших скоростей откачки. В современных криогенных насосах используются двухступенчатые криоголовки (криорефрижераторы), работающие по циклу Гиффорда-МакМагона, где в качестве хладагента используется газообразный гелий. При этом температура первой ступени составляет порядка 70…80 K, а температура второй ступени 15…20 K. Цикл является полностью замкнутым, поэтому эксплуатационные затраты на хладагент минимальны по сравнению с заливными криогенными насосами, отсутствует опасность перебоя в работе насоса, связанная с отсутствием жидкого азота.
Использование специально разработанных для управления системами криогенной откачки контроллеров позволяет полностью автоматизировать и процесс регенерации, обеспечивая автоматическое переключение между работающими и регенерируемыми насосами во время откачки, а наличие дополнительных устройств нагрева корпуса и продувки нагретым газом сокращает время регенерации до минимума.
Компания SHI Cryogenics, входящая в международную корпорацию Sumitomo Heavy Industry, производит криогенные насосы с 1968 года, имеет множество изобретений и патентов в данной области. Крионасосы SHI используются непосредственно или в производстве множества полупроводникового, телекоммуникационного, электронного, напылительного и специального лабораторного оборудования и продукции.
Крионасосы серии Marathon® CP выпускаются в стандартном и плоском исполнении корпуса, с различными типами фланцев, с ручным или автоматическим управлением.
В крионасосах SICERA™ используется запатентованная компанией SHI инверторная технология, уменьшающая затраты на энергопотребление. Как результат, экономичность и высокая эффективность делают крионасосы SICERA™ идеальными для использования в производствах, связанных с полупроводниками.
Компания HSR AG организована в 1999 году специалистами криогенного отдела одной из крупнейших компаний-производителей вакуумной техники – Balzers AG. Благодаря накопленному опыту и инновационным запатентованным решениям крионасосы HSR получили повышенные характеристики по скоростям откачки, емкости, надежности. Постоянные разработки, ведущиеся в компании HSR, позволили создать крионасосы, способные решать специальные задачи. Помимо стандартных сверхвысоковакуумных применений, криогенные насосы HSR с успехом используются в следующих классах оборудования:
Серия HSR VCP – крионасосы небольших типоразмеров, наиболее подходят для лабораторных сверхвысоковакуумных исследовательских систем.
Серия HSR VELCO – крионасосы с улучшенными откачными характеристиками и наиболее широким типоразмерным рядом от Ду250 до Ду1250.
Серия HSR VELCO Xe – специализированные насосы с увеличенной скоростью откачки ксенона.
Серия HSR VELCO S – уникальные криогенные насосы, разработанные специально для процессов магнетронного распыления.
Модель насоса | Скорость откачки, л/c | |||
---|---|---|---|---|
По воздуху | По воде | По аргону | По водороду | |
SHI CP-8 | 1500 | 4200 | 1250 | 2300 |
SHI CP-8LP | 1800 | 4200 | 1500 | 3000 |
SHI CP-250LP | 3000 | 6300 | 6300 | 5000 |
SHI CP-12 | 3600 | 6300 | 6300 | 5000 |
SHI CP-16 | 4800 | 17300 | 4100 | 12000 |
SHI CP-20 | 9700 | 29100 | 8300 | 14000 |
SHI SICERA 8" | 1500 | 4000 | 1200 | 2200 |
SHI SICERA 12" | 3300 | 9500 | 2700 | 6000 |
HSR VCP100 | 480 | 1100 | 400 | 580 |
HSR VCP160 | 1200 | 2600 | 1000 | 1500 |
HSR VCP200 | 1800 | 4800 | 1600 | 2800 |
HSR VELCO 250 S | 3200 | 7500 | 2700 | 4500 |
HSR VELCO 320 S | 5000 | 11000 | 4200 | 5000 |
HSR VELCO 400 S | 8000 | 18500 | 6800 | 7500 |
HSR VELCO 320 | 5000 | 11000 | 4200 | 5000 |
HSR VELCO 400 | 8000 | 18500 | 6800 | 7500 |
HSR VELCO 500 | 12000 | 27000 | 8500 | 9100 |
HSR VELCO 630 | 16500 | 45000 | 13500 | 10000 |
HSR VELCO 800 | 28000 | 75000 | 24000 | 25000 |
HSR VELCO 900 | 36000 | 93000 | 31000 | 33000 |
HSR VELCO 1000 | 45000 | 110000 | 38000 | 40000 |
HSR VELCO 1250 | 67000 | 175000 | 57000 | 50000 |
HSR VELCO 402 Xe | 8000 | 18500 | 6800 | 7500 |
HSR VELCO 502 Xe | 12000 | 27000 | 8500 | 9100 |
HSR VELCO 623 Xe | 18500 | 46500 | 15500 | 14000 |
HSR VELCO 900 Xe | 36000 | 93000 | 31000 | 33000 |
HSR VELCO 1250 Xe | 67000 | 170000 | 57000 | 50000 |