Криогенные вакуумные насосы являются идеальным средством для применений, требующих одновременно глубокого безмасляного вакуума и больших скоростей откачки. В современных криогенных насосах используются двухступенчатые криоголовки (криорефрижераторы), работающие по циклу Гиффорда-МакМагона, где в качестве хладагента используется газообразный гелий. При этом температура первой ступени составляет порядка 70…80 K, а температура второй ступени 15…20 K. Цикл является полностью замкнутым, поэтому эксплуатационные затраты на хладагент минимальны по сравнению с заливными криогенными насосами, отсутствует опасность перебоя в работе насоса, связанная с отсутствием жидкого азота.

Использование специально разработанных для управления системами криогенной откачки контроллеров позволяет полностью автоматизировать и процесс регенерации, обеспечивая автоматическое переключение между работающими и регенерируемыми насосами во время откачки, а наличие дополнительных устройств нагрева корпуса и продувки нагретым газом сокращает время регенерации до минимума.

Компания SHI Cryogenics, входящая в международную корпорацию Sumitomo Heavy Industry, производит криогенные насосы с 1968 года, имеет множество изобретений и патентов в данной области. Крионасосы SHI используются непосредственно или в производстве множества полупроводникового, телекоммуникационного, электронного, напылительного и специального лабораторного оборудования и продукции.

Крионасосы серии Marathon® CP выпускаются в стандартном и плоском исполнении корпуса, с различными типами фланцев, с ручным или автоматическим управлением.

В крионасосах SICERA™ используется запатентованная компанией SHI инверторная технология, уменьшающая затраты на энергопотребление. Как результат, экономичность и высокая эффективность делают крионасосы SICERA™ идеальными для использования в производствах, связанных с полупроводниками.

Компания HSR AG организована в 1999 году специалистами криогенного отдела одной из крупнейших компаний-производителей вакуумной техники – Balzers AG. Благодаря накопленному опыту и инновационным запатентованным решениям крионасосы HSR получили повышенные характеристики по скоростям откачки, емкости, надежности. Постоянные разработки, ведущиеся в компании HSR, позволили создать крионасосы, способные решать специальные задачи. Помимо стандартных сверхвысоковакуумных применений, криогенные насосы HSR с успехом используются в следующих классах оборудования:

• установки осаждения тонкоплёночных покрытий;
• имитаторы космического пространства;
• установки испытаний ионных двигателей;
• установки определения огнеупорности;
• ускорители частиц;
• оборудование для металлизации.

Серия HSR VCP – крионасосы небольших типоразмеров, наиболее подходят для лабораторных сверхвысоковакуумных исследовательских систем.

Серия HSR VELCO – крионасосы с улучшенными откачными характеристиками и наиболее широким типоразмерным рядом от Ду250 до Ду1250.

Серия HSR VELCO Xe – специализированные насосы с увеличенной скоростью откачки ксенона.

Серия HSR VELCO S – уникальные криогенные насосы, разработанные специально для процессов магнетронного распыления.