Криогенные вакуумные насосы

Криогенные вакуумные насосы являются идеальным средством для применений, требующих одновременно глубокого безмасляного вакуума и больших скоростей откачки. В современных криогенных насосах используются двухступенчатые криоголовки (криорефрижераторы), работающие по циклу Гиффорда-МакМагона, где в качестве хладагента используется газообразный гелий. При этом температура первой ступени составляет порядка 70…80 K, а температура второй ступени 15…20 K. Цикл является полностью замкнутым, поэтому эксплуатационные затраты на хладагент минимальны по сравнению с заливными криогенными насосами, отсутствует опасность перебоя в работе насоса, связанная с отсутствием жидкого азота.

Использование специально разработанных для управления системами криогенной откачки контроллеров позволяет полностью автоматизировать и процесс регенерации, обеспечивая автоматическое переключение между работающими и регенерируемыми насосами во время откачки, а наличие дополнительных устройств нагрева корпуса и продувки нагретым газом сокращает время регенерации до минимума.

Компания SHI Cryogenics, входящая в международную корпорацию Sumitomo Heavy Industry, производит криогенные насосы с 1968 года, имеет множество изобретений и патентов в данной области. Крионасосы SHI используются непосредственно или в производстве множества полупроводникового, телекоммуникационного, электронного, напылительного и специального лабораторного оборудования и продукции.

Крионасосы серии Marathon® CP выпускаются в стандартном и плоском исполнении корпуса, с различными типами фланцев, с ручным или автоматическим управлением.

В крионасосах SICERA™ используется запатентованная компанией SHI инверторная технология, уменьшающая затраты на энергопотребление. Как результат, экономичность и высокая эффективность делают крионасосы SICERA™ идеальными для использования в производствах, связанных с полупроводниками.

Компания HSR AG организована в 1999 году специалистами криогенного отдела одной из крупнейших компаний-производителей вакуумной техники – Balzers AG. Благодаря накопленному опыту и инновационным запатентованным решениям крионасосы HSR получили повышенные характеристики по скоростям откачки, емкости, надежности. Постоянные разработки, ведущиеся в компании HSR, позволили создать крионасосы, способные решать специальные задачи. Помимо стандартных сверхвысоковакуумных применений, криогенные насосы HSR с успехом используются в следующих классах оборудования:

  • установки осаждения тонкоплёночных покрытий;
  • имитаторы космического пространства;
  • установки испытаний ионных двигателей;
  • установки определения огнеупорности;
  • ускорители частиц;
  • оборудование для металлизации.

Серия HSR VCP – крионасосы небольших типоразмеров, наиболее подходят для лабораторных сверхвысоковакуумных исследовательских систем.

Серия HSR VELCO – крионасосы с улучшенными откачными характеристиками и наиболее широким типоразмерным рядом от Ду250 до Ду1250.

Серия HSR VELCO Xe – специализированные насосы с увеличенной скоростью откачки ксенона.

Серия HSR VELCO S – уникальные криогенные насосы, разработанные специально для процессов магнетронного распыления.

Модель насосаСкорость откачки, л/c
По воздухуПо водеПо аргонуПо водороду
SHI CP-81500420012502300
SHI CP-8LP1800420015003000
SHI CP-250LP3000630063005000
SHI CP-123600630063005000
SHI CP-16480017300410012000
SHI CP-20970029100830014000
SHI SICERA 8"1500400012002200
SHI SICERA 12"3300950027006000
HSR VCP1004801100400580
HSR VCP1601200260010001500
HSR VCP2001800480016002800
HSR VELCO 250 S3200750027004500
HSR VELCO 320 S50001100042005000
HSR VELCO 400 S80001850068007500
HSR VELCO 32050001100042005000
HSR VELCO 40080001850068007500
HSR VELCO 500120002700085009100
HSR VELCO 63016500450001350010000
HSR VELCO 80028000750002400025000
HSR VELCO 90036000930003100033000
HSR VELCO 1000450001100003800040000
HSR VELCO 1250670001750005700050000
HSR VELCO 402 Xe80001850068007500
HSR VELCO 502 Xe120002700085009100
HSR VELCO 623 Xe18500465001550014000
HSR VELCO 900 Xe36000930003100033000
HSR VELCO 1250 Xe670001700005700050000


Пересчитать
x