Оборудование полупроводниковой промышленности

Вращающиеся магнетроны SCI

Основанная в 2001 году, Sputtering Components Inc. (SCI) занимается производством вращающихся магнетронов и сопутствующего оборудования. SCI использует самую современную технику и новейшие технологии, что делает их мировым лидером в своем направлении. При разработке магнетронов инженеры компании используют передовое программное обеспечение для моделирования динамики магнитного поля и газового потока низкого давления. Технология вращательного магнетронного распыления находит широкое применение при создании антибликовых, отражающих, поглощающих покрытий, при производстве архитектурного и специального стекла, в производстве дисплеев и солнечных элементов.

Магнетронные головки

SCI End blocks (Магнетронные головки) обладают высокой надежностью и простой конструкцией, легкой в обслуживании. Доступны две модели, отличающиеся по размеру и мощности. Дизайн головок с уменьшенным количеством вращающихся элементов и статичных уплотнений – наиболее распространенных причин поломок во вращающихся магнетронах. Уникальная система водяного охлаждения мишени и продувки исключает возможность электрохимической коррозии внутри головки, что позволяет избежать утечки воды и короткого замыкания. Блоки Sputtering Components можно установить в любую новую установку напыления или заменить уже существующие блоки.

Side Mount Cathodes

SCI side mount cathodes достаточно маленькие и идеально подходят для современных систем производства тонкопленочных солнечных элементов, при этом они обладают достаточной мощностью для крупнейших промышленных установок напыления. Доступны две модели, отличающиеся по размеру и мощности. С массивным валом диаметром 110 мм, SCI-SM может работать с полутораметровым держателем мишеней весом до 180 кг без дополнительной поддержки. С помощью Side mount cathodes можно получить более широкое покрытие по сравнению с обычными головками. Большую часть технического обслуживания можно осуществить вне камеры, без её разгерметизации. При этом при замене мишени нет необходимости отсоединять питание и остальные подключения. Компактная конструкция позволяет разместить магнетроны максимально плотно и получить превосходное покрытие.

e-Cathode™

e-Cathode™ OEM Lid можно приобрести как полную Lid систему (с цифровым или аналоговым управлением), так и сокращенную версию специально под систему Заказчика и требуемые параметры.  SCI обеспечивает OEM–производителя оборудования полным “решением под ключ”, идеально подходящим для его систем с необходимой интеграцией системы управления.

e-Cathode™ lid clone

e-Cathode™ lid clone был спроектирован для обеспечения полного пакета решений, идентичных существующей системе Заказчика или доработанных под необходимые требования.
Пользователи, интересующиеся дополнительными магнетронами и доработкой своих систем, могут использовать готовые решения SCI. e-Cathode™ clones соответствуют всем действующим внешним механическим и электрическим интерфейсам Заказчика, но используют SCI блоки, магнитные сборки, и системы управления магнетронами.

Модернизация магнетронных головок

Модернизированные lid системы остаются совместимыми с существующей системой управления Заказчика. SCI предлагает прямую замену блоков следующих основных производителей:
  • Von Ardenne
  • Applied Materials
  • BOC/Airco
  • Bekaert
  • Leybold Optics

Магниты

SCI TRM-Bar™ и QRM-Bar™ магнитные сборки обеспечивают необходимую гибкость. Снабженные герметизированными магнитами, магнитные сборки могут быть адаптированы согласно требованиям процесса.

 

Особенности передовой магнитной системы SCI:

  • Конструкция магнитов может меняться в зависимости от требований применения;
  • Передовые магниты сконструированы с использованием 3D программного обеспечения финитного элементного анализа;
  • Тщательно подобранные мощные магниты, откалиброванные на заводе с использованием автоматизированного измерительного оборудования;
  • Полностью герметизированные магниты и надежная конструкция для бесперебойной работы на протяжении многих лет;
  • Многовальная система с повышенным сроком службы для распыления вверх, вниз и под углом;
  • Простая настройка равномерности магнитного поля;
  • Простая процедура установки с решениями для вертикальной установки.

Swing Cathode™

SCI Short Bottom Mount Swing CathodeTM использует ту же запатентованную технологию, что и end blocks SC-серии для обеспечения исключительных параметров, производительности и надежности в компактном корпусе.


Пересчитать
x