Оборудование полупроводниковой промышленности

kSA 400

kSA 400 позволит вам использовать все преимущества RHEED (Reflection High-Energy Electron Diffraction) анализа. Это анализ статической дифракционной картины или получение точных данных во время высокоскоростного вращения подложки. KSA 400 поможет вам использовать всё разнообразие информации содержащееся в RHEED анализе. kSA 400 совмещает высокую разрешающую способность, высокую скорость и высокую чувствительность ПЗС-камеры со сложным программным обеспечением для сбора и анализа информации. Эта гибкая система позволяет анализировать практически любое изображение, а так же контролировать электронную пушку для получения RHEED кривой качания.

Простая в использовании и в установке, система kSA 400 предназначена для удобства использования и получения результата. Высокая интеграция между аппаратным и программным обеспечением, а также визуально управляемый анализ позволяет пользователю сделать операцию измерения максимально простой. Значительный вклад клиентов помог сделать систему kSA 400 наиболее мощной аналитической RHEED системой для промышленности и неотъемлемой частью MBE, PLD, PVD исследований по всему миру.

Возможности

Определение темпов роста

Вероятно, самый распространенный способ использования RHEED это определение темпов роста через RHEED колебания интенсивности, явление, которое происходит в слое за слоем во время эпитаксиального роста. kSA 400 определяет темп роста тремя методами: Фурье-преобразование, подсчёт экстремумов (производный анализ), и определение затухания синусоиды. Эти три метода определяют темпы роста независимо, что приводит к очень точному и стабильному измерению скорости роста.

Определение шага атомной решетки

Другое направление использования RHEED - определение абсолютного межатомного расстояния, или определение шага атомной решетки. kSA 400 позволяет выполнять подобное измерение шага решетки. Контроль расстояния между дифракционными полосами с использованием сложных, проверенных алгоритмов анализа, позволяет проводить измерения с очень высокой точностью и разрешением.

Структурный анализ

kSA 400 делает структурный анализ поверхности простым. Получая RHEED изображения поверхности вдоль основных направлений в кристалле, измеряя расстояние пикселей и вычисляя отношение, можно легко определить структуру поверхности кристалла. kSA 400 также может архивировать полученные RHEED изображения. Программное обеспечение kSA 400 содержит полную RHEED библиотеку изображений (RIL) для получения сведений и дальнейшего анализа.


Пересчитать
x