Оборудование полупроводниковой промышленности
Электро-химическая обработка (Гальваника)
С 1972 компания RAMGRABER успешно работает в области электрохимической обработки для электронной индустрии. В течение десятилетий, RAMGRABER постоянно расширяет свои знания в области гальванических процессов.
Накопленный обширный опыт в электрохимическом осаждение на полупроводники, электронные компоненты, солнечные элементы и микросистемы, позволит заказчику использовать максимум преимущества при использовании оборудования RAMGRABER.
Благодаря многочисленным проектам и тесному сотрудничеству с ведущими научно-исследовательскими институтами компания RAMBGABER предлагает своим заказчикам ориентированные на их потребности и оптимизированные под их технологии решения.
Основные характеристики:
| Материал подложек/пластин | Si, III-V-полупроводники, керамика, металл, стекло Круглые и квадратные | |
|---|---|---|
| Осаждаемые материалы | Ag, Au, Cu, Pd, Ni, Sn, AuSn, PbSn, NiCo и т.д. | |
| Размещение подложки | Вертикальное, горизонтальное, наклонное | |
| Держатель подложек | Индивидуальный держатель подложки Мульти-держатель С изоляцией обратной стороны С изоляцией вокруг контактной области | |
| Электрический контакт | С лицевой или обратной стороны Изолированный или свободный | |
| Поток электролита к подложке | Через линию защитного экранирования | |
| Перемещение | Горизонтальное, вертикальное Поворот, колебания | |
| Подготовка электролита | Подогрев и охлаждение Фильтрация Система дозирования Селективная очистка | |
| Материал емкостей и ванн | PP – сваренный или цельнотянутый PVDF – сваренный или цельнотянутый PE PVC Сталь с высокой защитой (с анодной защитой) | |
| Защита от атмосферного газа | Для быстро-окисляющихся электролитов | |
| Нагрев и охлаждение | Прямое или косвенное нагревание Покрытый PTFE или PFA Кварцевый нагреватель Радиационный нагреватель Нагреватель с большой площадью, для избегания перегрева | |
| Измеряемые параметры | Ток/напряжение Температура Уровень подачи Поток Уд. сопротивление pH-величина Концентрация через поглощение или третирование | |
| Источник питания | Высокая точность Незначительные помехи Режим пульсации | |
| Уровень автоматизации | Ручная, полуавтоматическая, полный автомат | |
| Качество окружающей среды | До 10 класса Интегрируется в вытяжные шкафы Оптимизированный воздушный поток в рабочей зоне | |
| Система манипулирования | Двухосевая рука, робот | |
| Выдвижной держатель | Стандартный или под заказ Для одной подложки | |
| Система контроля | Коммутационная аппаратура SPS Индустриальный PC Сенсорный экран Система визуализации | |
| Система идентификации | Ретранслятор Штрих-код | |
| Программное обеспечение | Решения под запросы заказчика | |
| Пред- и пост- процессы | Ополаскивание, очистка, травление, сушка, обдув и т.д. |
Преимущества систем RAMGRABER:
- Гомогенная металлизация
- Воспроизведение результатов
- Идеальная технология экранизации
- Экономически эффективное проектное решение
- Высококачественные компоненты
- Высокая производительность
- Долговечность
- Хорошая ремонтопригодность
- Великолепно организованный сервис
x