Оборудование полупроводниковой промышленности

Электро-химическая обработка (Гальваника)

С 1972 компания RAMGRABER успешно работает в области электрохимической обработки для электронной индустрии. В течение десятилетий, RAMGRABER постоянно расширяет свои знания в области гальванических процессов.

Накопленный обширный опыт в электрохимическом осаждение на полупроводники, электронные компоненты, солнечные элементы и микросистемы, позволит заказчику использовать максимум преимущества при использовании оборудования RAMGRABER.

Благодаря многочисленным проектам и тесному сотрудничеству с ведущими научно-исследовательскими институтами компания RAMBGABER предлагает своим заказчикам ориентированные на их потребности и оптимизированные под их технологии решения.

Основные характеристики:

Материал подложек/пластинSi, III-V-полупроводники, керамика, металл, стекло
Круглые и квадратные
Осаждаемые материалыAg, Au, Cu, Pd, Ni, Sn, AuSn, PbSn, NiCo и т.д.
Размещение подложкиВертикальное, горизонтальное, наклонное
Держатель подложекИндивидуальный держатель подложки
Мульти-держатель
С изоляцией обратной стороны
С изоляцией вокруг контактной области
Электрический контактС лицевой или обратной стороны
Изолированный или свободный
Поток электролита к подложкеЧерез линию защитного экранирования
ПеремещениеГоризонтальное, вертикальное
Поворот, колебания
Подготовка электролитаПодогрев и охлаждение
Фильтрация
Система дозирования
Селективная очистка
Материал емкостей и ваннPP – сваренный или цельнотянутый
PVDF – сваренный или цельнотянутый
PE
PVC
Сталь с высокой защитой (с анодной защитой)
Защита от атмосферного газаДля быстро-окисляющихся электролитов
Нагрев и охлаждениеПрямое или косвенное нагревание
Покрытый PTFE или PFA
Кварцевый нагреватель
Радиационный нагреватель
Нагреватель с большой площадью, для избегания перегрева
Измеряемые параметрыТок/напряжение
Температура
Уровень подачи
Поток
Уд. сопротивление
pH-величина
Концентрация через поглощение или третирование
Источник питанияВысокая точность
Незначительные помехи
Режим пульсации
Уровень автоматизацииРучная, полуавтоматическая, полный автомат
Качество окружающей средыДо 10 класса
Интегрируется в вытяжные шкафы
Оптимизированный воздушный поток в рабочей зоне
Система манипулированияДвухосевая рука, робот
Выдвижной держательСтандартный или под заказ
Для одной подложки
Система контроляКоммутационная аппаратура
SPS
Индустриальный PC
Сенсорный экран
Система визуализации
Система идентификацииРетранслятор
Штрих-код
Программное обеспечениеРешения под запросы заказчика
Пред- и пост- процессыОполаскивание, очистка, травление, сушка, обдув и т.д.

Преимущества систем RAMGRABER:

  • Гомогенная металлизация
  • Воспроизведение результатов
  • Идеальная технология экранизации
  • Экономически эффективное проектное решение
  • Высококачественные компоненты
  • Высокая производительность
  • Долговечность
  • Хорошая ремонтопригодность
  • Великолепно организованный сервис


Пересчитать
x