Каталог вакуумного оборудования

Ионизационный датчик COLDION® c холодным катодом от фирмы VACOM

Ионизационный датчик COLDION® c холодным катодом от фирмы VACOM. Это высоковакуумный датчик работающий в диапазоне низких давлений 1•10-12…-9 … 1•10-4 мбар применяемый в процессах, где не требуется измерения высокого давления ближе к атмосфере.

Принцип действия ионизационного преобразователя основан на том, что измеряемое давление остаточного газа пропорционально количеству частиц газа. Преобразователь давления в датчике ионизирует остаточные частицы газа и дает возможность регистрировать их ионный ток. Ионный ток пропорционален количеству частиц и пропорционален давлению газа.

Ионизация молекул остаточного газа в датчике с холодным катодом происходит при столкновении электронов, ускоренных разностью потенциалов между холодным катодом и анодом в скрещенных электрических и магнитных полях, полученных при помощи автоэлектронной эмиссии. Скрещенное электрическое и магнитное поле обеспечивает спиральную траекторию движения электронов, что позволяет увеличить эффективность процесса ионизации. Преобразователь позволяет регистрировать ионный ток самостоятельного газового разряда. Датчик подключается к внешнему контроллеру, который подает на него питающие напряжение и измеряет ионный ток. Контроллер показывает величину давления, автоматически пересчитывая ток в давление.

Преимущества данного датчика в том, что у него нет горячего катода, что заметно увеличивает срок службы и при аварийном прорыве атмосферы, катод не перегорит и датчик не выйдет из строя. Датчик можно использовать в крио вакуумных системах т.к. в нем нет нагревательных элементов. Недостаток данного преобразователя датчика состоит в том, что нестабильность разряда увеличивает погрешность измерения и разряд плохо зажигается на малых давлениях. Наличие в датчике магнита и полей рассеяния, может повлиять на чувствительные к магнитному полю приборы вакуумной системы.

Технические данные

Тип датчикаCOLDION® basic
COLDION® pro
COLDION® extended
Диапазон измерений 1•10-4 … 1•10-9 мбар1•10-4 … 1•10-11 мбар1•10-4 … 1•10-12 мбар
Диапазон рабочей температуры0…80 °C>0…200 °C
Температура прогреваКоротко срочный прогрев 165 °C с подключенным кабелемМак. 200 °C в работе / с подключенным кабелем
Мак. 250 °C без подачи высокого напряжения на на кабель датчика
Мак. 400 °C без хомута, магнитов и кабеля высокого вакуума
Погрешность измерения30 %
Принцип измеренияПеннинга
Рабочее напряжениеМакс. 5 кВ
Входной токМакс. 200 мкА
Материалы, соприкасающиеся с откачиваемой средойнержавеющая сталь, Al, W, Y2O3 , Zr
Тип вакуумного фланцаDN40CF
Врем зажигания разряда Менее 10 сек. При давлении Более 5•10-9 мбар
Габаритные размеры(ВхШxГ) 122х87х90 мм
Вес2,5 кг

Технические данные контроллера COLDION® CU100

Блокировка (Уставка)3 точки, сконфигурированы независимо друг отдруга
ИнтерфейсRS232, аналоговый токовый [0 до 20 мA], аналоговый [0 до 10 В]
КабельВысоковольтный кабель и 24 В разъем
Габаритные размеры(ВхШxГ) 95 x 95 x 165 мм

Наборы для установки и аксессуары

Набор для установки в стойку.

Набор для установки в 19 дюймовую стойку, включает в себя винты, установочные кронштейны и алюминиевую крышку.

Набор для фланца CF с шайбами и гайками

Набор для фланца CF со сквозными гладкими отверстиями с шайбой и гайками

Набор для фланца CF с резьбовыми отверстиями

Набор для фланца CF резьбовым отверстием для крепления к ответному фланцу со сквозными гладкими отверстиями.


Пересчитать
x