Каталог вакуумного оборудования
Ионизационный датчик COLDION® c холодным катодом от фирмы VACOM. Это высоковакуумный датчик работающий в диапазоне низких давлений 1•10-12…-9 … 1•10-4 мбар применяемый в процессах, где не требуется измерения высокого давления ближе к атмосфере.
Принцип действия ионизационного преобразователя основан на том, что измеряемое давление остаточного газа пропорционально количеству частиц газа. Преобразователь давления в датчике ионизирует остаточные частицы газа и дает возможность регистрировать их ионный ток. Ионный ток пропорционален количеству частиц и пропорционален давлению газа.
Ионизация молекул остаточного газа в датчике с холодным катодом происходит при столкновении электронов, ускоренных разностью потенциалов между холодным катодом и анодом в скрещенных электрических и магнитных полях, полученных при помощи автоэлектронной эмиссии. Скрещенное электрическое и магнитное поле обеспечивает спиральную траекторию движения электронов, что позволяет увеличить эффективность процесса ионизации. Преобразователь позволяет регистрировать ионный ток самостоятельного газового разряда. Датчик подключается к внешнему контроллеру, который подает на него питающие напряжение и измеряет ионный ток. Контроллер показывает величину давления, автоматически пересчитывая ток в давление.
Преимущества данного датчика в том, что у него нет горячего катода, что заметно увеличивает срок службы и при аварийном прорыве атмосферы, катод не перегорит и датчик не выйдет из строя. Датчик можно использовать в крио вакуумных системах т.к. в нем нет нагревательных элементов. Недостаток данного преобразователя датчика состоит в том, что нестабильность разряда увеличивает погрешность измерения и разряд плохо зажигается на малых давлениях. Наличие в датчике магнита и полей рассеяния, может повлиять на чувствительные к магнитному полю приборы вакуумной системы.
| Тип датчика | COLDION® basic![]() | COLDION® pro![]() | COLDION® extended![]() |
|---|---|---|---|
| Диапазон измерений | 1•10-4 … 1•10-9 мбар | 1•10-4 … 1•10-11 мбар | 1•10-4 … 1•10-12 мбар |
| Диапазон рабочей температуры | 0…80 °C | >0…200 °C | |
| Температура прогрева | Коротко срочный прогрев 165 °C с подключенным кабелем | Мак. 200 °C в работе / с подключенным кабелем Мак. 250 °C без подачи высокого напряжения на на кабель датчика Мак. 400 °C без хомута, магнитов и кабеля высокого вакуума | |
| Погрешность измерения | 30 % | ||
| Принцип измерения | Пеннинга | ||
| Рабочее напряжение | Макс. 5 кВ | ||
| Входной ток | Макс. 200 мкА | ||
| Материалы, соприкасающиеся с откачиваемой средой | нержавеющая сталь, Al, W, Y2O3 , Zr | ||
| Тип вакуумного фланца | DN40CF | ||
| Врем зажигания разряда | Менее 10 сек. При давлении Более 5•10-9 мбар | ||
| Габаритные размеры | (ВхШxГ) 122х87х90 мм | ||
| Вес | 2,5 кг | ||
| Блокировка (Уставка) | 3 точки, сконфигурированы независимо друг отдруга | ![]() |
|---|---|---|
| Интерфейс | RS232, аналоговый токовый [0 до 20 мA], аналоговый [0 до 10 В] | |
| Кабель | Высоковольтный кабель и 24 В разъем | |
| Габаритные размеры | (ВхШxГ) 95 x 95 x 165 мм |