XacTorr – это прогреваемый мембранный датчик, обеспечивающий точные и повторяемые измерения вакуума, независящие от рода газа.
В мембранном датчике XacTorr используется запатентованная технология чувствительного элемента. Уникальная стойкость к коррозии благодаря используемому материалу Inconel и специальная конструкция, защищающая мембрану, позволяют использовать данный мембранный датчик в широком спектре приложений без потери точности. В зависимости от модификации доступны мембранные датчики с температурой прогрева 45, 100 и 160°С. В мембранном датчике XacTorr используется высокоэффективная двузонная система контроля температуры. Все это позволяет улучшить стабильность и повторяемость показаний мембранного датчика XacTorr.
Независимые цифровые соединения и диагностические опции обеспечивают возможность одновременного наблюдения за показаниями мембранного датчика и его рабочими характеристиками.
Название характеристики | Значение |
---|---|
Диапазон измеряемых давлений -CMX45, CMX100 - CMX160 |
0-0,1, 0-1, 0-2, 0-10, 0-20, 0- 100, 0-1000 Торр 0-1, 0-2, 0-10, 0-100, 0-1000 Торр |
Относительная погрешность | ±(0,15 – 0,35)% |
Разрешение | Бесконечно, ограничено выходным шумом ≤0,0006% полной шкалы |
Влияние температуры - На ноль - На шкалу |
±0,002%/°С ±0,02%/°С |
Рабочая температура - CMX45 - CMX100 - CMX160 |
0 – 45°С 0 – 100°С 0 – 160 °С |
Материалы контактирующие с вакуумом | Inconel, нержавеющая сталь 316 (для вакуумных соединений) |
Напряжение питания | ±15 – 24 В постоянного тока |
Выходной сигнал |  0-10 В постоянного тока |
Потребляемая мощность | 2,652 – 22,8 Вт |
Электрическое соединение | D-SUB 15 контактов, D-SUB 9 контактов |
Характеристики реле | 1 А при 30 В постоянного тока, 0,3 А при 125 В постоянного тока |
Вес | 0,726 кг |