Каталог вакуумного оборудования

Мембранно-емкостной датчик XacTorr

XacTorr – это прогреваемый мембранный датчик, обеспечивающий точные и повторяемые измерения вакуума, независящие от рода газа.

В мембранном датчике XacTorr используется запатентованная технология чувствительного элемента. Уникальная стойкость к коррозии благодаря используемому материалу Inconel и специальная конструкция, защищающая мембрану, позволяют использовать данный мембранный датчик в широком спектре приложений без потери точности. В зависимости от модификации доступны мембранные датчики с температурой прогрева 45, 100 и 160°С. В мембранном датчике XacTorr используется высокоэффективная двузонная система контроля температуры. Все это позволяет улучшить стабильность и повторяемость показаний мембранного датчика XacTorr.

Независимые цифровые соединения и диагностические опции обеспечивают возможность одновременного наблюдения за показаниями мембранного датчика и его рабочими характеристиками.

Достоинства:

  • Прогрев до 45, 100 и 160°С;
  • Высокоэффективная двузонная система контроля температуры;
  • Уникальная стойкость к коррозии;
  • Наличие реле и DeviceNet (опционально).

 
Название характеристики Значение
Диапазон измеряемых давлений
-CMX45, CMX100
- CMX160

0-0,1, 0-1, 0-2, 0-10, 0-20, 0- 100, 0-1000 Торр
0-1, 0-2, 0-10, 0-100, 0-1000 Торр
Относительная погрешность ±(0,15 – 0,35)%
Разрешение Бесконечно, ограничено выходным шумом ≤0,0006% полной шкалы
Влияние температуры
- На ноль
- На шкалу

±0,002%/°С
±0,02%/°С
Рабочая температура
- CMX45
- CMX100
- CMX160

0 – 45°С
0 – 100°С
0 – 160 °С
Материалы контактирующие с вакуумом Inconel, нержавеющая сталь 316 (для вакуумных соединений)
Напряжение питания ±15 – 24 В постоянного тока
Выходной сигнал  0-10 В постоянного тока
Потребляемая мощность 2,652 – 22,8 Вт
Электрическое соединение D-SUB 15 контактов, D-SUB 9 контактов
Характеристики реле 1 А при 30 В постоянного тока, 0,3 А при 125 В постоянного тока
Вес 0,726 кг

Пересчитать
x