Датчики Пирани

Принцип действия вакуумметров Пирани основан на зависимости теплопередачи через разряженный газ от давления газа. Передача теплоты происходит от тонкой металлической нити к трубке с фланцем, находящейся при комнатной температуре. Металлическая нить нагревается в вакууме путем пропускания электрического тока. Вычисление величины давления производится на основе уравнения теплового баланса. В датчике используется резистивный измеритель температуры. Температура спирали указывает на величину передачи тепла между спиралью и трубкой. При снижении давления газа, снижается и теплопередача, тем самым спираль отдает в окружающую среду меньше тепла и сильнее разогревается при постоянной мощности, таким образом, результатом вычисления является величина давления газа.

Термопарные датчики

Принцип действия термопарных вакуумметров схож с датчиками Пирани, за исключением способа измерения температуры нити. В датчике используется термопарный измеритель температуры, т.е. при изменении температуры спирали меняется термоЭДС термопары.

Конвекционные датчики

Этот тип датчика отличается от Пирани и термопарного механизмом теплопередачи. Конструкция датчика позволяет отводить тепло с помощью естественной конвекции, что увеличивает интенсивность теплопереноса. Из-за особенностей механизма теплопередачи данные датчики рекомендуется устанавливать в вертикальном положении, фланцем вниз.