Датчик мембранный CMC – это температурно- скомпенсированный преобразователь абсолютного давления, обеспечивающий точные и повторяемые измерения вакуума вне зависимости от состава измеряемой среды. Полностью сварная конструкция датчика мембранного и такой материал, как Inconel гарантируют надежную работу даже в процессах с агрессивными средами, например, при нанесении тонких пленок.

В зависимости от варианта исполнения датчик мембранный CMC предлагает диапазоны полной шкалы от 10 до 1000 Торр. Датчик мембранный CMC обеспечивает исключительные характеристики в широком диапазоне рабочих температур, тем самым предлагая альтернативу другим более известным и дорогим непрогреваемым датчикам, причем датчик мембранный CMC на 40% меньше, чем стандартные датчики подобного типа.

Достоинства:

• На 40% меньше стандартных непрогреваемых мембранно- емкостных датчиков;
• Высокая точность на уровне дорогостоящих датчиков подобного типа;
• Полностью сварная конструкция и материал Inconel, обеспечивающие стабильные характеристики.