Каталог вакуумного оборудования

Другие категории

Химически стойкие вакуумные насосы

Химически стойкие вакуумные насосы

Вакуумные решения для химической промышленности

При откачке газовых сред, в составе которых имеются химически активные (агрессивные) соединения, происходят окисление смазки, разрушение и деформация уплотнений, отдельных деталей и целых рабочих узлов вакуумных насосов. Все это негативно влияет на рабочие характеристики насоса, снижает надежность работы и уменьшает срок эксплуатации насосов. Таким образом, в случае наличия химически агрессивных (активных) соединений в откачиваемом газе необходимо использовать химически стойкие версии вакуумных насосов, предназначенные специально для создания разряжения при работе с агрессивными (активными) газами.

Как правило, химстойкий вакуумный насос представляет собой модификацию вакуумного насоса стандартного исполнения с использованием при изготовлении специальных материалов (нержавеющие стали, керамика, фторполимеры, фторопласты, тефлоны, многослойные напыляемые покрытия) и различных покрытий. Кроме того на насос устанавливается система термостабилизации и прогрева (например система TMS для турбомолекулярных насосов STP), которая предотвращает конденсацию и оседание агрессивных (активных) соединений внутри насоса. Для удаления химически агрессивных (активных) соединений из насоса, а так же разбавления выхлопа инертным газом, в химстойких вакуумных насосах предусмотрена продувка насоса (надув инертного газа или сухого воздуха в зоны, где детали и узлы могут быть выведены из строя коррозией).

Работа с химически стойкими вакуумными насосами требует дополнительных операций: при запуске насоса требуется режим прогрева, а при завершении работы - режим просушки; в дальнейшем необходима очистка выхлопа вакуумного насоса, работающего с химически агрессивными (активными) соединениями, в скрубберах.

С целью обеспечения безопасности работы по монтажу, техническому обслуживанию и ремонту химстойких вакуумных насосов должен выполнять только квалифицированный персонал.

Рабочей жидкостью масляных химически стойких насосов выступают специальные масла на основе PFPE (перфторполиэфира), например, для пластинчато-роторных насосов масла Fomblin® и Krytox®, которые отличаются химической инертностью при откачке агрессивных газовых сред и кислорода, а по вязкости сопоставимы с минеральными маслами, а для диффузионных насосов – масло Santovac 5®.

Для долгосрочного и надежного использования каждый химически стойкий вакуумный насос должен быть подобран индивидуально с учетом требуемых опций, исходя из особенностей технологического процесса: тип откачиваемой среды, величина потока, рабочая температура.

Компания «Интек Аналитика» представляет широкий ассортимент химически стойких вакуумных насосов для различных применений: для научных целей диафрагменные вакуумные насосы D-LAB, диафрагменные насосы XDD1, спиральные вакуумные насосы XDS и nXDS с индексами C и R, турбомолекулярные насосы STP с индексами С и CV (c TMS), пластинчато-роторные насосы EM и RV с индексами FX и PFPE, поставляемые c маслом Fomblin®, бустерные механические насосы EH с индексом FX; вакуумные насосы, предназначенные для применения в полупроводниковой промышленности: высоковакуумные насосы EPX, сухие вакуумные насосы iXL, сухие системы откачки iH, многоступенчатые (рутс+когтевой) насосы GX и iXH, промышленные вакуумные винтовые насосы GXS, CXS, CDX, сухие когтевые насосы EDP и EDC, и другое откачное оборудование.

Подробно с особенностями конструкции химически стойких насосов, поставляемых компанией «Интек Аналитика», Вы можете ознакомиться в статье.

Модель насосаИндекс химст. версииТип насосаПринцип действияПредельное остаточное давление*, мбарПроизводительность** , М3
для научных применений
XDS и nXDSС и RФорвакуумныйСпиральный5×10-2– 6×10-2с газобаластом
2×10-2– 3×10-2 без газобаласта
6,8 – 28
D-LAB-ФорвакуумныйДиафрагменный100 – 80,6 – 2
XDD1-ФорвакуумныйДиафрагменный<21,2 – 1,6
STPC и CV (с TMS) ВысоковакуумныйТурбомолекулярный6,6×10-8– 1,3×10-7 1080 – 15480 по N2 /td>
EMFXФорвакуумныйПластинчато-роторный2,2×10-3– 5×10-3с газобаластом
3×10-3– 1×10-3 без газобаласта
20,5 – 292
RVPFPEФорвакуумныйПластинчато-роторный1,2×10-1– 6×10-1с газобаластом (GB II)
2×10-3 без газобаласта
3,7 – 14,2
EHFXБустерныйРутс0,002310 – 4140
для полупроводниковой промышленности
EPX-ВысоковакуумныйМеханизм Holweck9,3×10-5– 9,3×10-7175 – 500
iXL-ФорвакуумныйРутс многоступ. <5×10-3200 – 750
GX-ФорвакуумныйКогтевой/Рутс5,1×10-3– 7×10-4105 – 800
iXH-ФорвакуумныйКогтевой/Рутс0,02 – 5,1×10-3100 – 5200
iH-ФорвакуумныйКогтевой/Рутс3×10-2– 2×10-386 – 950
для промышленности
EDP-ФорвакуумныйКогтевой0,5 – 0,475 – 377
EDCHumidФорвакуумныйКогтевой50 – 14065 – 360
CXS-ФорвакуумныйВинтовой<0,02 – <0,015132 – 230
CDX-ФорвакуумныйВинтовой5×10-3900
GXS-ФорвакуумныйВинтовой1,2×10-2– 8×10-3с продувкой
7×10-3– 3×10-3 без продувки
160 – 750
EDSФорвакуумныйВинтовой<0,05 – <0,01210 – 280

* – левое значение для самого маленького насоса серии, правое – для самого большого насоса серии.

** – левое значение для самого низко производительного насоса серии, правое – для самого высокопроизводительного насоса серии.


Пересчитать
x