Другие категории

Химически стойкие вакуумные насосы

Химически стойкие вакуумные насосы

При откачке газовых сред, в составе которых имеются химически активные (агрессивные) соединения, происходят окисление смазки, разрушение и деформация уплотнений, отдельных деталей и целых рабочих узлов вакуумных насосов. Все это негативно влияет на рабочие характеристики насоса, снижает надежность работы и уменьшает срок эксплуатации насосов. Таким образом, в случае наличия химически агрессивных (активных) соединений в откачиваемом газе необходимо использовать химически стойкие версии вакуумных насосов, предназначенные специально для создания разряжения при работе с агрессивными (активными) газами.

Как правило, химстойкий вакуумный насос представляет собой модификацию вакуумного насоса стандартного исполнения с использованием при изготовлении специальных материалов (нержавеющие стали, керамика, фторполимеры, фторопласты, тефлоны, многослойные напыляемые покрытия) и различных покрытий. Кроме того на насос устанавливается система термостабилизации и прогрева (например система TMS для турбомолекулярных насосов STP), которая предотвращает конденсацию и оседание агрессивных (активных) соединений внутри насоса. Для удаления химически агрессивных (активных) соединений из насоса, а так же разбавления выхлопа инертным газом, в химстойких вакуумных насосах предусмотрена продувка насоса (надув инертного газа или сухого воздуха в зоны, где детали и узлы могут быть выведены из строя коррозией).

Работа с химически стойкими вакуумными насосами требует дополнительных операций: при запуске насоса требуется режим прогрева, а при завершении работы - режим просушки; в дальнейшем необходима очистка выхлопа вакуумного насоса, работающего с химически агрессивными (активными) соединениями, в скрубберах.

С целью обеспечения безопасности работы по монтажу, техническому обслуживанию и ремонту химстойких вакуумных насосов должен выполнять только квалифицированный персонал.

Рабочей жидкостью масляных химически стойких насосов выступают специальные масла на основе PFPE (перфторполиэфира), например, для пластинчато-роторных насосов масла Fomblin® и Krytox®, которые отличаются химической инертностью при откачке агрессивных газовых сред и кислорода, а по вязкости сопоставимы с минеральными маслами, а для диффузионных насосов – масло Santovac 5®.

Для долгосрочного и надежного использования каждый химически стойкий вакуумный насос должен быть подобран индивидуально с учетом требуемых опций, исходя из особенностей технологического процесса: тип откачиваемой среды, величина потока, рабочая температура.

Компания «Интек Аналитика» представляет широкий ассортимент химически стойких вакуумных насосов для различных применений: для научных целей диафрагменные вакуумные насосы D-LAB, диафрагменные насосы XDD1, спиральные вакуумные насосы XDS и nXDS с индексами C и R, турбомолекулярные насосы STP с индексами С и CV (c TMS), пластинчато-роторные насосы EM и RV с индексами FX и PFPE, поставляемые c маслом Fomblin®, бустерные механические насосы EH с индексом FX; вакуумные насосы, предназначенные для применения в полупроводниковой промышленности: высоковакуумные насосы EPX, сухие вакуумные насосы iXL, сухие системы откачки iH, многоступенчатые (рутс+когтевой) насосы GX и iXH, промышленные вакуумные винтовые насосы GXS, CXS, CDX, сухие когтевые насосы EDP и другое откачное оборудование.

Подробно с особенностями конструкции химически стойких насосов, поставляемых компанией «Интек Аналитика», Вы можете ознакомиться в статье.

Модель насоса Индекс химст. версии Тип насоса Принцип действия Предельное остаточное давление*, мбар Производительность** , М3
для научных применений
XDS и nXDS С и R Форвакуумный Спиральный 5×10-2– 6×10-2с газобаластом / 2×10-2– 3×10-2без газобаласта 6,8 – 28
D-LAB - Форвакуумный Диафрагменный 100 – 8 0,6 – 2
XDD1 - Форвакуумный Диафрагменный <2 1,2 – 1,6
STP C и CV (с TMS) Высоковакуумный Турбомолекулярный 6,6×10-8– 1,3×10-7 1080 – 15480 по N2 /td>
EM FX Форвакуумный Пластинчато-роторный 2,2×10-3 – 5×10-3с газобаластом / 3×10-3– 1×10-3без газобаласта 20,5 – 292
RV PFPE Форвакуумный Пластинчато-роторный 1,2×10-1– 6×10-1с газобаластом (GB II) / 2×10-3без газобаласта 3,7 – 14,2
EH FX Бустерный Рутс 0,002 310 – 4140
для полупроводниковой промышленности
EPX - Высоковакуумный Механизм Holweck 9,3×10-5– 9,3×10-7 175 – 500
iXL - Форвакуумный Рутс многоступ. <5×10-3 200 – 750
GX - Форвакуумный Когтевой/Рутс 5,1×10-3– 7×10-4 105 – 800
iXH - Форвакуумный Когтевой/Рутс 0,02 – 5,1×10-3 100 – 5200
iH - Форвакуумный Когтевой/Рутс 3×10-2– 2×10-3 86 – 950
для промышленности
EDP - Форвакуумный Когтевой 0,5 – 0,4 75 – 377
CXS - Форвакуумный Винтовой <0,02 – <0,015 132 – 230
CDX - Форвакуумный Винтовой 5×10-3 900
GXS - Форвакуумный Винтовой 1,2×10-2– 8×10-3с продувкой / 7×10-3– 3×10-3без продувки 160 – 750

* – левое значение для самого маленького насоса серии, правое – для самого большого насоса серии.

** – левое значение для самого низко производительного насоса серии, правое – для самого высокопроизводительного насоса серии.


Пересчитать
x