Вакуумные решения для химической промышленности
При откачке газовых сред, в составе которых имеются химически активные (агрессивные) соединения, происходят окисление смазки, разрушение и деформация уплотнений, отдельных деталей и целых рабочих узлов вакуумных насосов. Все это негативно влияет на рабочие характеристики насоса, снижает надежность работы и уменьшает срок эксплуатации насосов. Таким образом, в случае наличия химически агрессивных (активных) соединений в откачиваемом газе необходимо использовать химически стойкие версии вакуумных насосов, предназначенные специально для создания разряжения при работе с агрессивными (активными) газами.
Как правило, химстойкий вакуумный насос представляет собой модификацию вакуумного насоса стандартного исполнения с использованием при изготовлении специальных материалов (нержавеющие стали, керамика, фторполимеры, фторопласты, тефлоны, многослойные напыляемые покрытия) и различных покрытий. Кроме того на насос устанавливается система термостабилизации и прогрева (например система TMS для турбомолекулярных насосов STP), которая предотвращает конденсацию и оседание агрессивных (активных) соединений внутри насоса. Для удаления химически агрессивных (активных) соединений из насоса, а так же разбавления выхлопа инертным газом, в химстойких вакуумных насосах предусмотрена продувка насоса (надув инертного газа или сухого воздуха в зоны, где детали и узлы могут быть выведены из строя коррозией).
Работа с химически стойкими вакуумными насосами требует дополнительных операций: при запуске насоса требуется режим прогрева, а при завершении работы - режим просушки; в дальнейшем необходима очистка выхлопа вакуумного насоса, работающего с химически агрессивными (активными) соединениями, в скрубберах.
С целью обеспечения безопасности работы по монтажу, техническому обслуживанию и ремонту химстойких вакуумных насосов должен выполнять только квалифицированный персонал.
Рабочей жидкостью масляных химически стойких насосов выступают специальные масла на основе PFPE (перфторполиэфира), например, для пластинчато-роторных насосов масла Fomblin® и Krytox®, которые отличаются химической инертностью при откачке агрессивных газовых сред и кислорода, а по вязкости сопоставимы с минеральными маслами, а для диффузионных насосов – масло Santovac 5®.
Для долгосрочного и надежного использования каждый химически стойкий вакуумный насос должен быть подобран индивидуально с учетом требуемых опций, исходя из особенностей технологического процесса: тип откачиваемой среды, величина потока, рабочая температура.
Компания «Интек Аналитика» представляет широкий ассортимент химически стойких вакуумных насосов для различных применений: для научных целей диафрагменные вакуумные насосы D-LAB, диафрагменные насосы XDD1, спиральные вакуумные насосы XDS и nXDS с индексами C и R, турбомолекулярные насосы STP с индексами С и CV (c TMS), пластинчато-роторные насосы EM и RV с индексами FX и PFPE, поставляемые c маслом Fomblin®, бустерные механические насосы EH с индексом FX; вакуумные насосы, предназначенные для применения в полупроводниковой промышленности: высоковакуумные насосы EPX, сухие вакуумные насосы iXL, сухие системы откачки iH, многоступенчатые (рутс+когтевой) насосы GX и iXH, промышленные вакуумные винтовые насосы GXS, CXS, CDX, сухие когтевые насосы EDP и EDC>, и другое откачное оборудование.
Подробно с особенностями конструкции химически стойких насосов, поставляемых компанией «Интек Аналитика», Вы можете ознакомиться в статье.
Модель насоса | Индекс химст. версии | Тип насоса | Принцип действия | Предельное остаточное давление*, мбар | Производительность** , М3 /ч |
---|---|---|---|---|---|
для научных применений | |||||
XDS и nXDS | С и R | Форвакуумный | Спиральный | 5×10-2– 6×10-2с газобаластом 2×10-2– 3×10-2 без газобаласта | 6,8 – 28 |
D-LAB | - | Форвакуумный | Диафрагменный | 100 – 8 | 0,6 – 2 |
XDD1 | - | Форвакуумный | Диафрагменный | <2 | 1,2 – 1,6 |
STP | C и CV (с TMS) | Высоковакуумный | Турбомолекулярный | 6,6×10-8– 1,3×10-7 | 1080 – 15480 по N2 /td> |
EM | FX | Форвакуумный | Пластинчато-роторный | 2,2×10-3– 5×10-3с газобаластом 3×10-3– 1×10-3 без газобаласта | 20,5 – 292 |
RV | PFPE | Форвакуумный | Пластинчато-роторный | 1,2×10-1– 6×10-1с газобаластом (GB II) 2×10-3 без газобаласта | 3,7 – 14,2 |
EH | FX | Бустерный | Рутс | 0,002 | 310 – 4140 |
для полупроводниковой промышленности | |||||
EPX | - | Высоковакуумный | Механизм Holweck | 9,3×10-5– 9,3×10-7 | 175 – 500 |
iXL | - | Форвакуумный | Рутс многоступ. | <5×10-3 | 200 – 750 |
GX | - | Форвакуумный | Когтевой/Рутс | 5,1×10-3– 7×10-4 | 105 – 800 |
iXH | - | Форвакуумный | Когтевой/Рутс | 0,02 – 5,1×10-3 | 100 – 5200 |
iH | - | Форвакуумный | Когтевой/Рутс | 3×10-2– 2×10-3 | 86 – 950 |
для промышленности | |||||
EDP | - | Форвакуумный | Когтевой | 0,5 – 0,4 | 75 – 377 |
EDC | Humid | Форвакуумный | Когтевой | 50 – 140 | 65 – 360 |
CXS | - | Форвакуумный | Винтовой | <0,02 – <0,015 | 132 – 230 |
CDX | - | Форвакуумный | Винтовой | 5×10-3 | 900 |
GXS | - | Форвакуумный | Винтовой | 1,2×10-2– 8×10-3с продувкой 7×10-3– 3×10-3 без продувки | 160 – 750 |
EDS | – | Форвакуумный | Винтовой | <0,05 – <0,01 | 210 – 280 |
* – левое значение для самого маленького насоса серии, правое – для самого большого насоса серии.
** – левое значение для самого низко производительного насоса серии, правое – для самого высокопроизводительного насоса серии.