Традиционно с развитием новых вакуумных технологий появляются новые требования, и сегодня одним из необходимых условий может быть жесткое требование отсутствия в насосе контакта масла с откачиваемой газовойсредой. Существует несколько типов насосов такие как, Сухие винтовые насосы, Сухие диафрагменные насосы, Сухие спиральные насосы, Сухие когтевые насосы, Сухие роторные насосы типа Рутса. Эти насосы объединяют в группу безмаслянных форвакуумных насосов, так же их называют сухими форвакуумными насосами.
Сухие форвакуумные насосы дают возможным реализовать множество технологических процессов, в которых не допускается не только наличие масла, но и их паров. Техническая реализация сухого форвакуумного насоса остается не простой задачей, и поэтому сухие насосы стоят существенно дороже традиционных насосов с масляным уплотнением.
Сухие форвакуумные насосы - это высокопрецизионный механизм, лишенный недостатков масляных насосов. Масло может смешиваться с откачиваемой средой и образовывать смесь абразивной пыли и масла, что может быстро вывести насос из строя. Сухие насосы незаменимы в откачке агрессивных, горючих и взрывоопасных газов. Агрессивные среды разрушают не только корпус и валы насоса, но и само масло, которое может очень быстро коксоваться и как следствие может засорить внутреннюю систему смазки. Обслуживание масляных насосов требует частой смены и утилизации масла. Некоторые химически стойкие масла имею цену сопоставимую со стоимостью насоса поэтому расход масла за пять лет может превзойти стоимость нового насоса.
Многообразие сухих форвакуумных насосов обусловлено тем, что нет универсального насоса, на практике под каждую группу процессов подходит один или другой тип насосов. Истроия серийного производства сухих форвакуумных насосов насчитывает не один десяток лет. Каждый год инженеры улучшают существующие модели насосов, и сегодняшняя надежность сухих форвакуумных насосов не уступает масляным. Основной недостаток сухих форвакуумных носов, как не столь низкое предельное давление, решается установкой второго механического бустерного вакуумного насоса Рутса на общую раму или в один кожух. Наш, официально авторизованный производителем, сервис производит ремонтные работы сухих форвакуумных насосов на территории России, и поэтому гарантийное и послегарантийное облуживание не является проблемой для производства наших клиентов. Сервисная программа обслуживания клиентов позволяет обеспечить всем необходимым не терпящий постоев производственный процесс наших клиентов.
Диафрагменные насосы компании Edwards позволяют создать чистый, безмасляный вакуум, а благодаря их небольшой массе и компактному дизайну они идеальны для использования в лабораториях. Насосы используются для форвакуумной откачки камер, с возможностью последующей откачки высоковакуумных насосов в области получения сухого чистого вакуума. Диафрагменные насосы Edwards доступны в исполнении из химически стойких материалов (фторопластовое покрытие) и предназначены для откачки агрессивных сред. Насосы могут работать как отдельно, так и в составе вакуумной системы. Производительность насоса может достигать 2 м3/ч. Требуют минимального технического обслуживания. Доступны в одно- и двухступенчатом исполнении.
Безмасляные спиральные вакуумные насосы Edwards представлены двумя сериями насосов nXDS (модели nXDS6i, nXDS10i, nXDS15i, nXDS20i, XDS35i, XDS46i) и EDO (модели EDO65, EDO100). Отличительной особенностью данных насосов является способ герметизации приводной части насоса от его вакуумной рабочей камеры, запатентованный Edwards. Спиральные вакуумные насосы, обеспечивая «безмасляную» откачку, успешно заменяют пластинчато-роторные вакуумные насосы, обеспечивая при одних и тех же параметрах производительности меньшие энерго- и эксплуатационные затраты, а также весовые и габаритные показатели.
Компания Edwards является первопроходцем в области сухой откачки. Сверхнадежные и эффективные сухие вакуумные насосы винтового типа применяется как в общепромышленных процессах, так и для создания разрежения во взрывоопасных и коррозионных средах. Винтовые насосы сухого типа в линейке оборудования Edwards представлены в нескольких сериях. Серия CDX/IDX давно и прочно зарекомендовала себя в металлургии. Винтовые насосы нового поколения серии GXS имеют полностью готовые к эксплуатации модули по технологии "plug and pump" (подключи и качай). Винтовые насосы CXS, созданные на основе GXS, специально разработаны для использования в особо тяжелых процессах химической промышленности.
Конструкция когтевых насосов, выпускаемых компанией Edwards под зарегистрированной торговой маркой Drystar, основана на хорошо зарекомендовавшем себя когтевом механизме захвата для сухих насосов. Две пары роторов когтеобразной формы, установленные на двух валах, вращаются в противоположных направлениях, захватывая и сжимая откачиваемый газ, который натекает вдоль оси валов, между когтеобразными роторами. Когтевые насосы Edwards представлены 3 моделями: GV (первое поколение насосов), EDP (специальные насосы) и EDC (одноступенчатые когтевые насосы).
Принцип действия механизма типа Рутс заключается в том, что два идентичных ротора, снабженных лопастями, синхронно вращаются в нагнетательной полости, выполняя роль вращающихся поршней. При вращении они захватывают входящий поток газа из всасывающего патрубка, постепенно изолируют его в полостях между лопастями и корпусом и сжимают и перемещают его к выхлопному патрубку и выталкивают его через выходное отверстие. Многоступенчатый механизм (несколько пар лопастей с различными зазорами на каждом роторе) многократно усиливает степень сжатия газа и обеспечивает высокую скорость откачки с атмосферы.