Оборудование полупроводниковой промышленности

Вакуумные насосы iH

Сухие системы откачки iH серии это современный модельный ряд – разработанный специально для оборудования с высокими требованиями к средствам откачки в связи с использованием в технологических процессах самовоспламеняющихся, взрывоопасных, вызывающих коррозию и легкоконденсирующихся газовых сред.

Системы занимают более 50% мирового рынка вакуумной откачки технологических объемов с такими газовыми средами и прекрасно зарекомендовали себя в самых агрессивных условиях эксплуатации.

Особенностью конструкции являются консольные валы и специально профилированный ротор для быстрой утилизации твердых частиц. Усиленный двигатель и коррозионно-стойкие материалы при поддержании повышенной температуры насоса обеспечивают максимальную производительность при откачке коррозионных и легкоконденсирующихся газов. Специальные подшипники, не требующие смазки, обеспечивают постоянную работу насоса без технического обслуживания. Пятиступенчатая откачка не требует установки глушителя для снижения шума, а цельная конструкция вала снижает размеры откачной камеры, минимизируя габаритные размеры устройства.

Функциональные особенности систем:

  • Минимальное потребление энергоносителей по сравнению со всеми моделями с аналогичными откачными характеристиками:
    • управление потреблением азота;
    • функция «спящий» режим – реализованная в возможности замедления работы бустерной ступени;
    • возможность конфигурирования скорости откачки под конкретное оборудование (процесс);
  • Минимальная занимаемая площадь среди систем с аналогичной производительностью;
  • Возможность эксплуатации в помещениях класса чистоты ISO 5;
  • Возможность управления системой и периферийными устройствами, связанными с ней (затворы, клапана) непосредственно с производственного оборудования;
  • Встроенный сетевой интерфейс с поддержкой Ethernet протоколов для организации удаленного мониторинга системы.

МодельПроизводительность м3/час (л/c)Предельный вакуум Па (Торр)Продувка (л/мин)
iH8086 (23,8)3 (2,3*10-2)4-44
iH600518 (143,8)0,2 (1,5*10-3)
iH1000950 (263,8)


Пересчитать
x