Оборудование полупроводниковой промышленности

Скрубберы

Скрубберы – системы очистки отработанных технологических газов.

При проведении целого ряда процессов микроэлектроники применяются взрывоопасные, самовоспламеняющиеся, токсичные, коррозионные, легкоконденсирующиеся, озонразрушающие газы и газовые смеси, в результате технологического процесса могут также образовываться газовые смеси с аналогичными свойствами. В соответствии с требованиями природоохранного законодательства такие газовые смеси должны подвергаться очистке до пределов ниже ПДК в выбросе производственных предприятий. Системы очистки отработанных технологических газов устанавливаются, как правило, на выходе форвакуумных насосов которые откачивают газовые смеси из вакуумных объемов рабочих камер технологического оборудования. Интек представляет системы очистки отработанных технологических газов производства компании Edwards (Великобритания) имеющей более чем 50-летний опыт производства таких систем и являющейся лидером современного мирового рынка подобных систем. В зависимости от технологического процесса (состава технологических газов) существует несколько технологий очистки (систем очистки отработанных технологических газов). Для каждого технологического процесса (группы процессов) система очистки – скруббер подбирается индивидуально, исходя из совокупности опасностей, которые представляют исходная и отработанная газовая смесь.

Для подбора скруббера присылайте запрос на адрес электронной почты: semi@intech-group.ru


Пересчитать
x