Оборудование полупроводниковой промышленности

Высоковакуумные насосы EPX

Новая серия высоковакуумных насосов EPX обеспечивает откачку с атмосферного давления до уровня 10-4 Па без существенных ограничений по длительности откачки с атмосферы, заменяя собой пару форвакуумный + турбомолекулярный насос использовавшуюся ранее для достижения подобного уровня вакуума.

Компактный дизайн, минимальные энергетические затраты, возможность установки в помещения классов чистоты до ISO5 обеспечивают широкую возможность применения данной серии в полупроводниковой промышленности от устройств загрузки-выгрузки и шлюзовых камер до технологических процессов напыления, плазменного удаления фоторезиста, плазменного травления диэлектрических и поликремниевых слоев, ионной имплантации и других научно-исследовательских целях.

Функциональные особенности систем:

  • Максимальная компактность вакуумной системы для производителей технологического оборудования;
  • Полное отсутствие возможности загрязнения откачиваемого объема обеспечивается вследствие отсутствия в насосах данной серии элементов требующих жидкой смазки;
  • Наличие встроенной функции «спящий режим» обеспечивает максимальное энергосбережение.
  • Управление:
    • посредством встроенного модуля с дисплеем (E - модель);
    • с основного технологического оборудования посредством интерфейсного модуля;
    • по Ethernet.
  • Газобалластный модуль (N-модель) существенно расширяет область применения насосов данной серии;
  • Подтвержденное среднее время наработки на отказ не менее 13 лет - максимально экономичная модель для подобного рода устройств.
МодельПроизводительность м3/час (л/c)Предельный вакуум Па (Торр)Продувка (л/мин)
EPX180L175 (48,6)<1*10-2 (7,0*10-5)-
EPX180N25
EPX500L500 (138,8)<1*10-4 (7,0*10-7)-
EPX500N25

Пересчитать
x