Другие категории

Гибридный сухой высоковакуумый насос

Гибридный сухой высоковакуумый насос

Серия высоковакуумных насосов EPX не имеет аналогов, использует уникальный запатентованный однороторный регенеративный механизм Холвека, который позволяет обеспечивать откачку от атмосферы к давлениям < 1x10-4 мбар или < 1x10-6 мбар в зависимости от модели насоса. Насосы EPX идеальны для применений, в которых базовый уровень вакуума должен быть ниже, чем уровень вакуума, достигаемый стандартным форвакуумным насосом, и в которых, в противном случае, необходимо применение спарки «форвакуумный – турбомолекулярный насос». Также насосы EPX идеальны для применений, которые требуют частую откачку от атмосферы к низким давлениям, поскольку могут длительно работать на различных входных давлениях, в том числе атмосфере.

Серия EPX работает без смазки или жидкостей в откачной камере, что обеспечивает чистый «сухой» вакуум без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемый объем.

Статор насоса и двигатель охлаждаются встроенным водяным контуром охлаждения, что позволяет использовать насосы EPX в чистых помещениях, где принудительное охлаждение вентилятором неприемлемо.

К типичным применениям высоковакуумных насосов EPX можно отнести лабораторные вакуумные камеры (за исключением откачки ксенона), системы загрузки-выгрузки, переходные вакуумные камеры, напыление, травление (за исключением хлорного), тонную имплантацию и осаждение.


Пересчитать
x