Каталог оборудования

Другие категории

Гибридный сухой высоковакуумый насос

Гибридный сухой высоковакуумый насос

Серия высоковакуумных насосов EPX не имеет аналогов, использует уникальный запатентованный однороторный регенеративный механизм Холвека, который позволяет обеспечивать откачку от атмосферы к давлениям < 1x10-4 мбар или < 1x10-6 мбар в зависимости от модели насоса. Насосы EPX идеальны для применений, в которых базовый уровень вакуума должен быть ниже, чем уровень вакуума, достигаемый стандартным форвакуумным насосом, и в которых, в противном случае, необходимо применение спарки «форвакуумный – турбомолекулярный насос». Также насосы EPX идеальны для применений, которые требуют частую откачку от атмосферы к низким давлениям, поскольку могут длительно работать на различных входных давлениях, в том числе атмосфере.

Серия EPX работает без смазки или жидкостей в откачной камере, что обеспечивает чистый «сухой» вакуум без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемый объем.

Статор насоса и двигатель охлаждаются встроенным водяным контуром охлаждения, что позволяет использовать насосы EPX в чистых помещениях, где принудительное охлаждение вентилятором неприемлемо.

К типичным применениям высоковакуумных насосов EPX можно отнести лабораторные вакуумные камеры (за исключением откачки ксенона), системы загрузки-выгрузки, переходные вакуумные камеры, напыление, травление (за исключением хлорного), тонную имплантацию и осаждение.


Пересчитать
x