Откачные вакуумные посты – это готовые высоковакуумные системы, собранные на одном основании и в стандартной комплектации, имеющие турбомолекулярный (гибридный молекулярный насос), форвакуумный насос и управляющий контроллер. В зависимости от технологических особенностей и с учетом индивидуальных требований потребителя, может быть подобрана соответствующая конфигурация откачного вакуумного поста.
Турбомолекулярные насосы, которые могут устанавливаться на откачной пост, имеют производительность от 42 л/с (EXT75DX) и 48 л/с (nEXT85) до 400 л/с (nEXT400D). В зависимости от выбора турбомолекулярного насоса выбирается форвакуумный насос. Это может быть сухой спиральный (nXDS) или диафрагменный (XDD1) насос, а также пластинчато-роторный насос E2M1.5 и RV. При установке на откачной вакуумный пост спирального или пластинчато-роторного насоса, в комплектацию системы включается отсечной электромагнитный клапан, который устанавливается между турбомолекулярным и форвакуумным насосом. А также при выборе пластинчато-роторного насоса, на его выходе будет установлен фильтр масляного тумана.