Откачные вакуумные посты – это готовые высоковакуумные системы, собранные на одном основании и в стандартной комплектации, имеющие турбомолекулярный (гибридный молекулярный насос), форвакуумный насос и управляющий контроллер. В зависимости от технологических особенностей и с учетом индивидуальных требований потребителя, может быть подобрана соответствующая конфигурация откачного вакуумного поста.
Проконсультироваться по поводу конфигурации вы можете:
онлайн консультант:
задать вопрос
Достоинства:
- Полностью собранная и готовая к работе система;
- Сухая/безмасляная откачка при использовании nXDS6i, XDS10i, nXDS15i, nXDS20i, XDD1 в качестве форвакуумных насосов;
- Использование турбомолекулярных насосов nEXT позволяет конечному пользователю самостоятельно производить сервисное обслуживание и замену подшипника в насосе;
- Управление работой турбомолекулярного насоса, форвакуумного насоса, датчиков, клапана, системы охлаждения, а также контроль параметров системы при помощи контроллера TIC; Бюджетные версии постов комплектуются контроллером TAG;
- Наличие стандартных протоколов передачи данных RS232 и RS485 (для контроллера TIC);
- Наличие программного обеспечения позволяет работать с оборудованием удаленно (для контроллера TIC).
Турбомолекулярные насосы, которые могут устанавливаться на откачной пост, имеют производительность: от 42 л/с (
EXT75DX) и 48 л/с (
nEXT85) до 400 л/с (
nEXT400D). В зависимости от выбора турбомолекулярного насоса выбирается форвакуумный насос. Это может быть сухой спиральный (
nXDS) или диафрагменный (
XDD1) насос, а также пластинчато-роторный насос
E2M1.5 и
RV.
При установке на откачной вакуумный пост
спирального или
пластинчато-роторного насоса, в комплектацию системы включается отсечной электромагнитный клапан, который устанавливается между
турбомолекулярным и
форвакуумным насосом. А также при выборе пластинчато-роторного насоса, на его выходе будет установлен фильтр масляного тумана.