Высокопрофильные ионные насосы со скоростью откачки 150 - 600 л/с дают выигрыш в площади, за счет уменьшения ширины корпуса насоса. Это обусловлено горизонтальным расположением элементов внутри корпуса ионного насоса. Высота корпуса насоса изменяется в зависимости от скорости откачки, но ширина корпуса остается постоянной. Данные насосы могут иметь дополнительный фланец с нижней или боковой стороны.
Параметры | Ско- рость откачки, л/с | Предель- ное оста- точное дав- ление,мбар | Давл- ение запуска, мбар Элементы CV,DI (TR) | Темпе- ратура прогрева, °C (со сня- тыми магни- тами) | Фланцы | Вес, кг | Элементы; CV, DI, TR (CVX/DIX – XHV (Eximo) испол- нение) | Габариты, мм |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Насос | ||||||||
TiTan™ 150T | 120 - 150 | < 10-11 | <1x10-3 (<5x10-2) | 250 (450) | CF 100 CF 150 | 36 | CV/CVX DI/DIX ТR | 442 x 231 x 247 чертеж |
TiTan™ 150TV | 120 - 150 | CF 100 | 32 | 337.8 x 231 x 247 чертеж | ||||
TiTan™ 200T | 160 - 200 | CF 100 CF 150 | 40 | 519 x 231 x 247 чертеж | ||||
TiTan™ 300T | 240 - 300 | CF 150 | 66 | 423 x 207 x 453 чертеж | ||||
TiTan™ 300TV | 240 - 300 | CF 150 | 65 | 345 x 231 x 450 чертеж | ||||
TiTan™ 500T | 400 - 500 | CF 150 | 96 | 631 x 207 x 453 чертеж | ||||
TiTan™ 600TV | 480 - 600 | CF 150 | 103 | 525 x 305 x 450 чертеж |