Универсальные крионасосы SHI Marathon® CP

Универсальные крионасосы серии Marathon® CP специально разрабатывались для использования в высоковакуумных применениях: от лабораторного оборудования до промышленных установок. Инновационная конструкция обеспечивает высочайшие характеристики в сочетании с доступной стоимостью.

Используя дополнительно специальный контроллер MCC (Marathon Cryopump Controller), можно полностью автоматизировать управление крионасосом посредством команд с управляющего компьютера через стандартных протокол крионасоса. Как результат – значительное снижение времени межоперационных интервалов, уменьшение времени технологических циклов, а также общее повышение эффективности технологического процесса. Но самое важное, что при использовании контроллера MCC можно уменьшить время захолаживания.

Компактная и простая конструкция насосов Marathon® CP позволяет легко встраивать их в новые и существующие вакуумные установки. Возможность производить сервисное обслуживание на месте значительно экономит затрачиваемые на это время и средства, т.к. не требуется демонтаж насоса и разгерметизация вакуумной системы и камеры. Это позволяет значительно сократить время восстановительных работ и снизить эксплуатационные затраты.

Особенности:

  • Запатентованная, пневмоуправляемая криоголовка с минимальным количеством движущихся деталей для надежного использования и сервисного обслуживания на месте;
  • Высокая емкость для длительных процессов;
  • Высокое давление запуска и быстрота действия для быстрой откачки;
  • Легкое встраивание в существующие вакуумные системы;
  • Опции для полностью автоматизированного управления и ускорения процесса регенерации;

  
Модель насосаCP-8CP-8LPCP-250LPCP-12CP-16CP-20
Присоединительный фланец, Ду200250320400500
Скорость откачки, л/cПо воздуху150018003000360048009700
По воде4200630095601730029100
По аргону125015002500310041008300
По водороду23003000500073001200014000
Максимальный поток аргона, торр·л/с11,012,611,411,3
Емкость, стандартные литрыАргон12001600200055006000
Водород2523305033
Параметр запуска, торр·л220300650500400
Время захолаживания, мин7511090135190
Масса, кг16,817,920415077
КомпрессорZephyrTM* 
HC-4E1* 
HC-8E4*
F-70*


Пересчитать
x