Титано-сублимационный насос (TSP) часто используют в комбинации с магниторазрядным насосом или отдельно для откачки химически активных газов из вакуумной системы в качестве дополнительной ступени откачки. В комбинации с магниторазрядным насосом, насос TSP позволяет достичь более глубокого вакуума за меньшее количество времени. При эксплуатации насоса спиральный титановый катод разогревается до 1300°C, за счет чего происходит распыление титана на экран и формируется титановая пленка, которая поглощает или связывает атомы и молекулы откачиваемого газа, кроме метана и инертных газов.

Насос TSP может интегрироваться в магниторазрядный насос TiTan™ с типоразмером от 25 л/с. Для установки отдельно в вакуумную камеру потребуется свободный фланец стандарта CF160 или CF100. В общем случае, титано-сублимационный насос состоит из катодного узла TSP и соответствующего экрана, в который устанавливается катодный узел TPS. Экран может быть без дополнительного охлаждения, либо охлаждаемый жидким азотом, что увеличивает эффективность откачки. Все компоненты TSP могут быть прогреты до 400°C.

Катодный узел TSP

Катодный узел TSP имеет фланец CF40. Электрический ввод поддерживает три катода из титано-молибденового сплава и общий канал для обеспечения развязки по земле. Каждый катод содержит 1,5 грамма распыляющегося титана; срок службы катода составляет в среднем 20 часов.

Криоэкран TSP

Охлаждаемый криоэкран имеет цилиндрический корпус с двойными стенками из нержавеющей стали 304L, который оснащен двумя патрубками диаметром 0,375 дюйма под компрессионный фитинг для жидкого азота. Криоэкран обеспечивает 1578 см² площади поверхности, охлаждаемой жидким азотом, что повышает скорость откачки по водороду до 12000 л/с (см. таблицу). Криоэкран устанавливается на фланец CF200 и имеет фланец CF40 для установки катодного узла TSP.

Неохлаждаемый экран TSP

Неохлаждаемый экран TSP значительно увеличивает площадь поверхности, когда охлаждение нецелесообразно или невозможно. Неохлаждаемый экран обеспечивает площадь поверхности 827 см², имеющую температуру внешней среды, что повышает скорость откачки по водороду до 2200 л/с (см. таблицу). Неохлаждаемый экран устанавливается на фланец CF200 или CF160, специальная версия с фланцем CF40. Также, экран имеет фланец CF40 для установки катодного узла TSP.

ХАРАКТЕРНЫЕ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ TSP

	Площадь поверхности (см2)	Температура (°С)	Скорость откачки (л/с)
			H2	CO	H2O
Охлаждаемый криоэкран (8”)	709	20°С	1843	5814	5176
	1578*	-195°С	12053	7799	23039
Неохлаждаемый экран (CF200)	827	20°С	2150	6780	6037
Неохлаждаемый экран (CF160)	621	20°С	1614	5092	4533

* Применимо только для H₂O