Высокочастотные источники питания Advanced Energy являются идеальным решением для технологий плазменного травления и напыления. Построенные на полупроводниковой элементной базе, такие генераторы отличаются высокой надежностью, точностью и стабильностью характеристик и являются неотъемлемыми элементами плазменных установок для современной полупроводниковой индустрии.

Дополнение ВЧ-генераторов согласующими устройствами Advanced Energy делает их самодостаточными системами и обеспечивает непревзойденную работу в тонкопленочных производственных плазменных процессах.