Ovation ™ полностью интегрированный, источник питания обеспечивает более высокую скорость и точность процессов, например, таких как диэлектрическое травление узких линий, посредством реализации уникальной схемы передачи мощности. Это первый точный источник питания с сопротивлением не 50 Ом без внешнего сенсора, реагирующий быстрее, чем традиционные источники питания. Частота 60 МГц уменьшает напряжение пространственного заряда плазмы, сводя к минимуму повреждения при ионном травление, улучшая качество пленки и выход годных устройств.

Преимущества

• Расширение рамок процессов
• Расширение технологических возможностей
• Улучшение характеристик плазмы
• Повышение скорости травления, селективности и однородности
• Снижение стоимости владения

Возможности

• 2760 Вт, 60 МГц (свяжитесь с производителем для заказа генераторов более высокой мощности)
• Частота качания
• Не 50 Ом возможность измерений
• Аналоговый, RS-232 и Ethernet интерфейсы управления
• Меньше занимаемой площади – опция устройства на половину стойки мощностью до 2,7кВт
• Высокая стабильность и надежность
• Экспертная поддержка

http://www.advanced-energy.com/en/Ovation.html

http://www.advanced-energy.com/upload/File/RF/SL-Ovation-230-01.pdf