Семейство ВЧ генераторав Apex предназначено для обеспечения надежности процессам, а их модульная конструкция позволяет легко монтировать системы. Платформа Apex - отличное соотношение цена/качество для нанесения тонких пленок в плазменных процессах полупроводниковой индустрии, производстве плоских дисплеев, а также в системах хранения данных.

Преимущества использования Apex:

• Высокая плотность энергии
• Гибкость в применении
• Увеличенный выход годных устройств
• Низкая стоимость обслуживания
• Простой процесс интеграции
• Гибкие возможности подключения внешних устройств

Возможности Apex:

• Простая конструкция
• Установка на камеру, раму, в стойку, а также на кронштейны
• Работа в широком спектре частот
• Опционально импульсы с высокой точностью и частотой повторения
• Лучшее управление дугой среди конкурентов
• Соответствует всем нормативам

http://www.advanced-energy.com/en/Apex.html