Используются, в основном, как генератор плазмы для обработки 200 и 300 мм пластин, производства плоских дисплеев (FPD), а также производства DVD. Гибкие настройки HFV ® генератора обеспечивают режимы работы для ионизированного физического осаждения из паровой фазы (IPVD), химического осаждения из паровой фазы (CVD), и травления. Этот универсальный генератор включает функции цифровой установки переменной частоты и микропроцессорное управление, выходную мощность уровней 5 и 8 кВт. Кроме того, он обеспечивает диапазон частоты выходной мощности от 1,765 до 2,165 МГц. Настройки параметров частоты, которые хранятся в прошивке, могут быть оптимизированы для обеспечения повторяемых операций при самых разнообразных конфигурациях камеры и технологических рецептах.

Преимущества

• Улучшенная точность от запуска к запуску
• Универсальность применения
• Повышенная надежность
• Повышенная гибкость процессов
• Сниженная стоимость владения

Возможности

• Изменяемые параметры настроек частоты
• Выходной диапазон частот от 1,765 до 2,165 МГц
• Уровни выходной мощности 5 и 8 кВт
• Цифровая установка выходной частоты
• Микропроцессорное управление

http://www.advanced-energy.com/en/HFV_Variable_Frequency_Generator.html