Универсальное устройство согласования Navigator® обеспечивает быстрое, точное и надежное согласование в широком диапазоне нагрузок от 15 Вт до 30 кВт. Оснащено шаговым двигателем с микропроцессорным управлением и цифровыми, выбираемыми пользователем алгоритмами настройки, что обеспечивает большую стабильность и точность, чем традиционные аналоговые методы согласования. Это позволяет оптимизировать процесс доставки мощности в полупроводниковых, солнечных, FPD и MEMS производственных процессах, в том числе травления, CVD, HDP-CVD, PVD приложений, очистке камеры. Дополнительный внутренний Z'Scan® RF датчик в режиме реального времени проводит измерение и анализ мощности процесса и импеданса нагрузки, что позволяет выявить и значительно сократить вариации процесса. Кроме того, программное обеспечение панели управления, дополнительно позволяет контролировать и управлять устройством согласования через персональный компьютер.

Преимущества

• Улучшает контроль над процессом
• Сводит к минимуму отраженную мощность
• Ускоряет время отклика
• Повышает надежность
• Помогает увеличить производительность и выход годного продукта

Особенности

• Цифровая платформа
• Несколько алгоритмов цифровой настройки
• Измерение и анализ мощности и импеданса процесса в режиме реального времени
• Легкая интеграция
• Простая конструкция
• Строгое тестирование

http://www.advanced-energy.com/en/Matching_Networks.html