Система GenCal™ обеспечивает лучшую в отрасли точность измерений на дискретных частотах, обычно используемых в плазменных процессах. Такая же технология гибридного сенсора мощности используется в датчике сопротивления плазмы, награжденного премией AE R&D awards. Такая усовершенствованная технология обеспечивает измерения, генерируемых в плазме сигналов, которые имеют высокие гармоники и шум с точностью в настоящее время недоступной в других приборах измерения.

Преимущества

• Быстро проверяет правильность работы генератора и согласования
• Обеспечивает предупреждение о колебании мощности генератора
• Устанавливает значения на входе источника питания

Возможности

• ЖК экран измерений и параметров
• Переключатель дисплея
• Колесо управления