Экономичные ВЧ генераторы Integro™ совмещают источник питания 13.56 МГц, 300 и 600 Вт и систему согласования в одном компактном корпусе. Это позволяет экономить ценное пространство и облегчает интеграцию. Устройство включает возможность работы в импульсном режиме и CEX операции.
http://www.advanced-energy.com/en/Integro_RF_Generators.html