3-киловаттные ВЧ источники Paramount устанавливаются в полу-стойку и обеспечивают улучшенное измерение мощности и сопротивлений как на фиксированной частоте 13,56 МГц, так и на вариациях частот при 50-омной и других нагрузках при коэффициенте стоячей волны по напряжению 3:1. В реальном времени отслеживают и корректируют изменения сопротивления плазмы, что обеспечивает быстрый перенос процессов, сокращает время шагов процессов и сокращает время при разработке процессов следующего поколения. Измерения сопротивления настолько точны, что их можно сравнить с измерениями анализаторов цепей, мгновенно (в микросекунды) происходит подстройка частоты - быстрее конкурирующих продуктов. Результат - предельная точность, повторяемость процессов и их контроль.

Преимущества использования Paramount:

• Равномерность нанесения пленок
• Возможно быстрого перехода на процессы травления и осаждения следующих поколений
• Безболезненный перевод процессов
• Увеличивает выход годных и производительность
• Максимизирует отдачу от вложенных средств

Возможности Paramount:

• Встроенная система измерений нового поколения, обеспечивающая сверхвысокую точность измерений мощности и сопротивления
• Мгновенная подстройка частоты
• Опционально - импульсная подача и синхронизация импульсов с широким спектром частот
• Опционально - система управления дугой с высокой точностью на низкой мощности
• Компактный размер, для установки в полу-стойку

http://www.advanced-energy.com/en/Paramount.html