Таблица серий VAT

В связи с переходом компанией VAT в 2018 году с трехзначного обозначения серий к двухзначному соответствие серий указано в таблице ниже.

Cерия VAT до 2016 г.Серия VAT 2016-2018 гг.Серия VAT c 2018 г.Описание
01.001001.0Затворы для анализа газов и снижения давления/Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы малого диаметра общего назначения
01.201201.2Вакуумные затворы малого диаметра общего назначения из бюджетной ценовой группы
--02.1/03.1Высоковакуумные (HV) встраиваемые щелевые затворы MONOVAT для полупроводникового производства
02/03 (02.2/03.2)022/03202.2/03.2Щелевые затворы MONOVAT для подложек 200/300/450 мм
02.402402.4Большие щелевые затворы MONOVAT для производства плоских панелей дисплеев
02.702702.7Щелевые затворы MONOVAT типа Roll-to-Roll для непрерывной подачи материала в системах напыления
--04.1/05.1Высоковакуумные (HV) щелевые затворы L-VAT для полупроводникового производства.
--04.2/05.2Высоковакуумные (HV) щелевые затворы L-VAT для полупроводникового производства.
04/05 (04.3/05.3)043/05304.3/05.3Щелевые затворы L-MOTION для полупроводниковых процессов
06.006006.0/06.2Большие щелевые затворы XL-VAT для производства плоских панелей дисплеев
--06.1Большие щелевые затворы TwinVAT для производства плоских панелей дисплеев.
06.606606.6Большие щелевые затворы SolVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установок
06.806806.8Большие щелевые затворы FlapVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установок
07.507507.5/07.8Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей
07.6076-Щелевые затворы L-VAT для шлюзовой загрузочной камеры для установки на атмосферу
07.807807.5/07.8>Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей
0808108.1/08.2Встраиваемые узко профильные затворы с DIN фланцем
0909109.1Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов
1010810/8Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы универсального применения
1111011.0Высоковакуумные (HV) затворы с сильфонным уплотнением штока из бюджетной ценовой группы
1212112.1Отсечные вакуумные затворы универсального применения из бюджетной ценовой группы
14.014014.0Высоковакуумные затворы (HV) больших диаметров для промышленных процессов
14.1141-Высоковакуумные затворы (HV) для промышленных процессов
15.015015.0/15.1/15.2Затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа
15.115115.0/15.1/15.2Высоковакуумные (HV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа
15.215215.0/15.1/15.2Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа
16.216216.2Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для агрессивных сред с пониженным уровнем частиц механического износа
16.816816.8Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для напылительных систем и систем производства FPD
17
(17.2, 17.4)
-17.2Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов с подпружиненной блокировкой уплотнения и портом продувки
19.019019.0/19.1/19.2Вакуумные затворы больших диаметров
19.119119.0/19.1/19.2Высоковакуумные (HV) затворы больших диаметров
19.219219.0/19.1/19.2Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы больших диаметров от DN 400
20.0200-Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом)
20.2202-Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом, увеличенной высотой фланца)
20.3/20.4203/20420.3/20.4Высоковакуумные (HV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с пневматическим приводом)/ (с пневматическим приводом, удлинённым корпусом)
-21021.0 Высоковакуумные (HV) дисковые поворотные затворы типа “Butterfly”
-21121.1 Натекатель с функцией клапана
-21221.2Предохранительные клапаны пружинного принципа действия
-21321.3 Клапаны напуска
-214-Угловые и проходные клапаны малого диаметра
-216-Угловые и проходные малогабаритные клапаны
--21.7Клапан отсечной предохранительный
-218-Вакуумные шаровые клапаны
2222022.0Диафрагменные вакуумные клапаны
--23.0Система, состоящая из отсечного механизма клапана и откачного порта, для редко откачиваемых вакуумных систем.
2424424.4/24.5Угловые вакуумные клапаны со скользящим уплотнением штока и ручным или пневматическим приводом
24524.4/24.5Проходные вакуумные клапаны со скользящим уплотнением штока и ручным или пневматическим приводом
25.025025.0/25.1/25.2Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с цилиндрическим механизмом затвора со скользящим уплотнением штока
25.125125.0/25.1/25.2Проходные высоковакуумные (HV) клапаны со скользящим уплотнением штока
25.225225.0/25.1/25.2Высоковакуумные (HV) клапаны с цилиндрическим механизмом затвора и ходом 3/2 оборота со скользящим уплотнением штока
26263-Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока и высокой пропускной способностью
26426.4/26.5Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока и пневматическим или электромагнитным или ручным приводом
26526.4/26.5Проходные высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока, с пневматическим, электромагнитным и ручным приводом
27-27.1Угловые химические вакуумные клапаны для агрессивных сред
2828428.4Угловые сверхвысоковакуумные (UHV) клапаны с вращающимися фланцами CF-R
2929029.0/29.2Угловые вакуумные клапаны с функцией плавной откачки с сильфонным уплотнением штока
291-Проходные вакуумные клапаны с функцией плавной откачки с сильфонным уплотнением штока
29229.0/29.2Угловые вакуумные клапаны с функцией плавной откачки
3131131.1Дроссельный клапан плавного старта
4747147.1/47.2Полностью металлические RF затворы для применения в СВЧ волноводах
47247.1/47.2 Экстремально высоковакуумные (XHV) полностью металлические ВЧ затворы для применения с ВЧ контактом или волноводом
4848148.1/48.2Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных сред
48248.1/48.2Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных сред
5454154.1Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с сильфонным уплотнением штока
5757057.0/57.1Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с увеличенным ресурсом
57157.0/57.1Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально (ХHV) с увеличенным ресурсом
5959059.0Сверхвысоковакуумные (UHV) полностью металлические натекатели
61.261261.2Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления
61.561561.5Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки
62-62.0Управляемые угловые вакуумные клапаны для высоких температур и высоких давлений
--62.7Дозирующий клапан для требовательных к входящему потоку процессов.
6464264.2Высоковакуумные (HV) управляемые шиберные затворы с интегрированным контроллером и шаговым двигателем для регулировки давления и изоляции
640- Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы c 3-х позиционным пневматическим клапаном для дросселирования и изоляции
--64.8Сверхвысоковакуумные (UHV) управляемые шиберные затворы с интегрированным контроллером и шаговым двигателем для регулировки давления и отсечки
65.065065.0Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки
65.165165.1Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления (с расширенным диапазоном) и изоляции
65.265265.2Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки с расширенным диапазоном регулирования
--65.5Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки с расширенным диапазоном регулирования
66.066066.0/66.3Управляемые угловые химические угловые вакуумные клапаны для агрессивных сред
66.366366.0/66.3Управляемые угловые химические угловые вакуумные клапаны для агрессивных сред
67-67.0Управляемые затворы для организации симметричных газовых потоков
75.075075.0/75.2Высоковакуумные (HV) быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания (откидные)
75.275275.0/75.2Высоковакуумные (HV) быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания
77.177177.1/77.3Полностью металлические быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания
77.377377.1/77.3Быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания (линейный тип привода)
7979079.0/79.3Высоковакуумные (HV) полностью металлические отсечные задвижки тракта пучка
79379.0/79.3Высоковакуумные (HV) полностью металлические отсечные задвижки тракта пучка (без корпуса)
--92.0Встраиваемые изолирующие затворы L-VAT для анализа поверхностей и полупроводникового производства
--94.0Специальные щелевые затворы L-MOTION и L-VAT для полупроводникового производства
--94.5Специальные щелевые затворы L-VAT для полупроводникового производства
95.195195.1/95.2Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)
95.295295.1/95.2Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)


Пересчитать
x