Управляемые затворы предназначены для перекрытия вакуумных магистралей и отделения одного вакуумного объема от другого в автоматическом режиме, а также для управления проводимостью за счет изменения сечения. У некоторых управляемых затворов есть опция обратной связи по сигналу от системы измерения вакуума в камере. Затвор диафрагмирует сечение откачки. Это эффективное решение для процессов, идущих при фиксированном давлении и потоке газа. К данной категории относятся дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером, шиберные затворы с интегрированным контроллером, маятниковые затворы с интегрированным контроллером, и также комбинированные затворы. Также к этой категории относятся контроллеры для затворов 61, 62, 64, 65, 67, 95 серий с функцией управления. Контроллеры применяются для приема сигналов с вакуумных датчиков, обеспечения заданного напряжения питания на электрическом входе шагового двигателя шиберных затворов и дистанционно-автоматического управления открытием/закрытием затворов.

Наименование	Описание	Тип соединения	Типоразмер фланцев	Подробная информация
VAT серия 612 (Серия 61.2)	Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления	NW, ISO-F	25÷250	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 615 (Серия 61.5)	Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки	NW, ISO-F	40÷100	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 641	Контроллеры PM-4/PM-5 для затворов VAT серий 640 и 642	-	-	PDF Eng
VAT серия 642 (Серия 64)	Высоковакуумные (HV) управляемые шиберные затворы с интегрированным контроллером и шаговым двигателем для регулировки давления и изоляции	ISO-F, CF	63÷400	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 650 (Серия 65.0)	Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки	ISO-F	100÷400	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 651 (Серия 65.1)	Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления (с расширенным диапазоном) и изоляции	ISO-F, JIS	160 ÷ 400	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 652 (Серия 65.2)	Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки с расширенным диапазоном регулирования	ISO-F	200÷250	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 65.5	Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки	ISO-F, JIS	250	PDF Eng
VAT серия 951 (Серия 95.1)	Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)	NW	50	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 952 (Серия 95.2)	Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)	ISO-F	80 ÷ 250	PDF Rus PDF Eng
-	Контроллеры для управляемых затворов с функцией регулятора давления	-	-	PDF Eng PDF Eng