| серия с 2018 г. | серия 2016-2018 г. | серия до 2016 г. | Уровень вакуума | Применение |
|---|---|---|---|---|
| 01.0 | 010 | 01.0 | UHV | Универсальные затворы для изоляции в сверхвысоковакуумных (UHV) системах или других требовательных приложениях. |
| 01.2 | 012 | 01.2 | Vacuum | Универсальные затворы для изоляции в вакуумных системах. |
| 08.1/08.2 | 081 | 08 | Vacuum | Универсальные затворы, имеющие ограничения на габаритные размеры и применение стандартных фланцев, предназначенные для изоляции в вакуумных системах. |
| 09.1 | 091 | 09 | HV | Затворы для изоляции в вакуумных насосах с высокими требованиями. Особенно подходят для применения в случае повышенного содержания побочного продукта в газовом потоке. |
| 10.8 | 108 | 10 | UHV | Стандартные сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для изоляции и использования в области научных исследований и промышленности. |
| 11.0 | 110 | 11 | HV | Универсальные затворы для изоляции в высоковакуумных системах. Чаще используются в насосах. |
| 12.1 | 121 | 12 | Vacuum | Стандартные вакуумные затворы для изоляции и использования в области научных исследований и промышленности. |
| 14.0 | 140 | 14 | HV | Универсальные затворы для изоляции в системах высокого и низкого вакуума. Особенно подходят для промышленных процессов. |
| 15.0/15.1/15.2 | 150/151/152 | 15 | Vacuum, HV, UHV | Изоляционные затворы для вакуумных систем с высокой чувствительностью к частицам и вибрации. |
| 16.2 | 162 | 16.2 | HV | Маятниковые затворы, применяются при требовании компактной конструкции. Особенно подходят для коррозионных процессов. |
| 16.8 | 168 | 16.8 | HV | Маятниковые затворы большого диаметра для компактных конструкций. Используются в больших напылительных системах и при производстве FPD. |
| 17.2 | – | 17 | HV | Изоляционные затворы для “грязных” процессов. |
| 19.0/19.1/19.2 | 190/191/192 | 19 | Vacuum, HV, UHV | Изоляционные затворы большого диаметра для применения в области научных исследований и промышленных процессов. Особенно подходят для применения в системах имитации космического пространства. |
| – | 200/202 | 20.0/20.2 | HV | Компактные изоляционные клапаны для процессов в чистых средах |
| 20.3/20.4 | 203/204 | 20.3/20.4 | HV | Компактные изоляционные затворы для “грязных” и агрессивных процессов. |
| 21.0 | 21 | - | HV | Компактные изоляционные затворы для применения в области научных исследований и промышленных процессов. Обеспечивают высокую проводимость, могут использоваться для вентиляции. |
| 48.1/48.2 | 481/482 | 48 | UHV | Изоляционные затворы, применяемые в экстремально сверхвысоковакуумных (UHV) системах при высокой температуре или агрессивной среде. |
| 92.0 | – | – | UHV | Встраиваемые изоляционные затворы, применяемые для анализа поверхностей и полупроводникового производства. |
| серия с 2018 г. | серия 2016-2018 г. | серия до 2016 г. | Уровень вакуума | Применение |
|---|---|---|---|---|
| 61.2 | 612 | 61.2 | HV | Управляемые затворы для регулировки давления модуляцией потока для SEMI, FPD, PV, SOLAR и промышленных процессов. Оптимально подходят для быстрых и ресурсоемких процессов, например CVD. |
| 61.5 | 615 | 61.5 | HV | Управляемые изоляционные затворы для регулировки давления модуляцией потока для SEMI, FPD, PV, SOLAR и промышленных процессов. Оптимально подходят для быстрых и ресурсоемких процессов, например CVD. |
| 62.0 | – | 62 | HV | Управляемые изоляционные клапаны регулировки давления для процессов с высокой температурой и высоким давлением (SEMI, MOCVD). |
| 64.2 | 642 | 64.2 | HV | Управляемые изоляционные затворы для SEMI, FPD и промышленных процессов. Оптимально подходят для процессов распыления и травления. |
| 64.8 | – | – | UHV | Управляемые изоляционные затворы для SEMI, FPD и промышленных процессов. Оптимально подходят для процессов распыления и травления. |
| 65.0/65.1 65.2/65.5 | 650/651/652/– | 65.0/–/65.2/– | HV | Управляемые затворы для регулировки давления модуляцией потока для SEMI и FPD процессов. Оптимально подходят для травления коррозионными газами и процессов очистки. |
| 67.0 | – | 67 | HV | Управляемые изоляционные клапаны регулировки давления для SEMI и PFD процессов, если требуются симметричные газовые потоки. Оптимальное решение для высокотехнологичных процессов. |
| 95.1/95.2 | 951/952 | – | Vacuum, HV | Управляемые комбинированные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и изоляции для SEMI, FPD, SOLAR систем. |
| серия с 2018 г. | серия 2016-2018 г. | серия до 2016 г. | Уровень вакуума | Применение |
|---|---|---|---|---|
| 02.1/03.1 | – | – | HV | Страиваемые щелевые затворы для изоляции шлюзовой загрузочной и технологической камер в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм. |
| 02.2/03.2 | 022/023 | 02.2/03.2 | HV | Изоляция шлюзовой загрузочной и технологической камеры в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм, 450 мм. |
| 04.1/05.1 | – | – | HV | Изоляция перегрузочной (шлюзовой) и технологической камеры в полупроводниковой промышленности. Применимы для коррозийных процессов (травление или CVD процесс). |
| 04.2/05.2 | – | – | HV | Изоляция перегрузочной (шлюзовой) и технологической камеры в полупроводниковой промышленности. Применимы для коррозийных процессов (травление или CVD процесс). |
| 04.3/05.3 | 043/053 | 04.3/05.3 | HV | Изоляция перегрузочной (шлюзовой) и технологической камеры в полупроводниковой промышленности. Применимы для коррозийных процессов (травление или CVD процесс), производства HB-LED светодиодов. |
| 07.5 | 075 | – | UHV | Изоляция шлюзовой загрузочной камеры со стороны атмосферы в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм. |
| – | – | 07.6 | Изоляция шлюзовой загрузочной камеры со стороны атмосферы в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм, 450 мм | |
| 94.0 | – | – | HV | Изоляция шлюзовой загрузочной и технологической камеры в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм. |
| 94.5 | – | – | HV | Изоляция шлюзовой загрузочной и технологической камеры в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм. |
| серия с 2018 г. | серия 2016-2018 г. | серия до 2016 г. | Уровень вакуума | Применение |
|---|---|---|---|---|
| 02.4 | 024 | 02.4 | Vacuum | Производство FPD (плоских панелей дисплеев), включая поколение 6. Затворы применимы для использования в условиях высокого вакуума, например, в системах парофазного осаждения для органических соединений. |
| 02.7 | 027 | 02.7 | Vacuum | Нанесение покрытий на ленту, в том числе декоративных. |
| 06.0/06.2 | 060 | 06.0 | Vacuum | Производство FPD (плоских панелей дисплеев), включая поколение 11. |
| 06.1 | – | – | Vacuum | Большие щелевые затворы для производства плоских панелей дисплеев. |
| 06.6 | 066 | 06.6 | Vacuum | Производство PV (фотоэлектрических панелей) и больших напылительных установок. |
| 06.8 | 068 | 06.8 | Vacuum | Производство PV (фотоэлектрических панелей) и больших напылительных установок. |
| 07.5/07.8 | 075/078 | 07.5/07.8 | Vacuum | Производство FPD (плоских панелей дисплеев) и PV (фотоэлектрических панелей). |
| серия с 2018 г. | серия 2016-2018 г. | серия до 2016 г. | Уровень вакуума | Применение |
|---|---|---|---|---|
| 21.1 | 211 | – | Vacuum,UHV | Используются для уменьшения проводимости и высокой повторяемости открытия/закрытия |
| 21.2 | 212 | – | HV | Предохранительные клапаны применяются для защиты вакуумного оборудования от избыточного давления |
| 21.3 | 213 | – | HV | Используются для откачки изолированных вакуумных объемов и напуска атмосферы. |
| 22.0 | 220 | 22 | Vacuum | Для изоляции форвакуумной магистрали и грубого дросселирования газов и жидкостей. |
| 23.0 | – | – | HV | Система из отсечного механизма клапана и откачного порта, используемая для редко откачиваемых вакуумных систем. |
| 24.4/24.5 | 244/245 | 24 | Vacuum | Для откачки и продувки в вакуумных системах с большим газовым потоком. |
| 25.0/25.1/25.2 | 250/251/252 | 25 | HV | Для откачки и продувки в высоковакуумных системах, в которых важна максимальная проводимость. Для жестких условий эксплуатации (высокая стойкость к коррозии и фтору). |
| 26.4/26.5 | 264/265 | 26 | HV | Для откачки и продувки в высоковакуумных системах, в которых не предусмотрена подача сжатого воздуха. |
| 28.4 | 284 | 28 | UHV | Для откачки и продувки в сверхвысоковакуумных системах, где требуется низкое газовыделение. Применимо для большинства коррозионных газов. |
| 29.0/29.1/29.2 | 290/291/292 | 29 | Vacuum, HV | Для откачки и продувки в сверхвысоковакуумных системах, в которых важны низкий уровень турбулентности и смещения подложки, малое количество привнесенных частиц и конденсации. |
| 54.1 | 541 | 54 | XHV | Для вакуумных процессов с требованиями экстремально высокого вакуума. |
| 57.0/57.1 | 570/571 | 57 | XHV | Для вакуумных процессов с требованиями экстремально высокого вакуума и/или при использовании агрессивных сред. |
| 59.0 | 590 | 59 | XHV | Впускной газовый клапан (натекатель) для контроля давления малых газовых потоков. |
| серия с 2018 г. | серия 2016-2018 г. | серия до 2016 г. | Уровень вакуума | Применение |
|---|---|---|---|---|
| 47.1/47.2 | 471/472 | 47 | XHV | ВЧ затворы применяются в кольцевых накопителях ускорителей и синхротронов. Изолирующие затворы в линиях передач СВЧ. |
| 75.0/75.2 | 750/752 | 75 | HV | Для сохранения вакуума в ускорителях и кольцевых накопителях в случае аварийного прорыва атмосферы. |
| 77.1/77.3 | 771/773 | 77 | HV | Для сохранения вакуума в ускорителях и кольцевых накопителях в случае аварийного прорыва атмосферы. |
| 79.0/79.3 | 790/793 | 79 | HV | Торможение и поглощение пучка ускоренных части, например поглощение пучка фотонов. |
| серия с 2018 г. | серия 2016-2018 г. | серия до 2016 г. | Уровень вакуума | Применение |
|---|---|---|---|---|
| 01.0 | 010 | 01.0 | UHV | Затворы для понижения давления в газовых процессах и анализа остаточных газов в базовом давлении при открытом клапане. |
| 27.1 | – | 27 | HV | Затворы для процессов с агрессивными и коррозийными газами. |
| 62.7 | – | – | HV | Дозирующий клапан для требовательных к входящему потоку процессам. |
| 66.0/66.3 | 660/663 | 66.0/66.3 | HV | Клапаны для процессов с агрессивными и коррозийными газами. |