В начале 2000-х годов после завершения длительных испытаний безмаслянных вакуумных насосов, компания Edwards начала серийный выпуск сухих спиральных вакуумных насосов серии XDS с инновационным сильфонным вводом движения и формой спиралей. В процессе производства этой серии насосов и развития вакуумных технологий, уже спустя десятилетие появилась усовершенствованная новая серия насосов nXDS, которая сейчас находит применение для большего количества процессов и приложений. В 2019 году анализ статистики системы качества Edwards показывает, что сильфонный узел ввода движения и форма спиралей насосов идеально отработаны и показывают крайне высокую надежность. Необходимо отметить, что компания Edwards постоянно использует и внедряет новые доступные технологии и патенты, накопленные за более чем столетнюю историю деятельности компании в сфере вакуумных технологий.

XDS – серия спиральных вакуумных насосов (безмасляных), в которых используется запатентованная технология сильфонного ввода движения. Сильфон полностью изолирует подшипники от рабочей камеры спирального насоса, защищая их тем самым от воздействия химически-активных веществ, и не допускает проникновение смазочных материалов в рабочую камеру спирального насоса. Эти отличительные особенности легли в основу всех последующих серий. Сейчас доступна для заказа только одна модель насоса этой серии, но в XDS35i в различных типах исполнения. Окончание наименования модели “C” означает, что насос выполнен в коррозионностойком исполнении. Окончание “E” означает, что насос выполнен в расширенной версии для применения в процессах, в которых важен процесс предварительной откачки или способность откачивать большой объем. Окончание “NGB” (без газобалласта) – для применения в процессах рециркуляции.

Ранее производившийся бустерный спиральный насос XDS100B имел специально разработанный механизм спиралей, что отличительно позволяло достичь больших скоростей откачки. Как и все бустерные насосы XDS100B должен был использоваться в сочетании с форвакуумным насосом, создающим предварительное разряжение в трубопроводе. Оптимально для этого подходит насос сухой спиральный XDS35i или XDS46i. Конструктивно бустерный насос был оптимизирован специально для максимальной скорости откачки на входном фланце в диапазоне давления от 1 мбар и 10 мбар.

nXDS – следующее поколение вакуумных спиральных безмасляных насосов, пришедших на замену аналогичным серии XDS и среднегабаритным насосам с масляными уплотнениями. Насосы нового поколения превосходят существующие, обладая увеличенной скоростью откачки одновременно с низким предельным остаточным давлением, энергопотреблением и уровнем шума и наличием порта последовательного интерфейса для удаленного управления.

Регулируемое газобалластное устройство позволяет осуществлять откачку конденсируемых паров, воды, растворителей, жидких кислот и щелочей. Последние разработки в технологии уплотнения спиралей дают значительное увеличение ресурса работы насоса по сравнению с предыдущей серией. Наличие инвертора дает возможность управлять работой электродвигателя насоса. В этом случае можно быть уверенным, что насос всегда работает в оптимальном режиме, а наличие порта логического интерфейса позволяет регулировать частоту вращения вала.

В насосах версии nXDS15iC используются материалы, которые позволяют применять данные насосы для решения широкого спектра задач жидкостной химии.

Для работы с более агрессивными средами доступны насосы серии nXDS с версий исполнения “C” (например nXDS15iC), которые оснащены внутренним клапанам из Chemraz® обладающим повышенной стойкостью и фитингами из нержавеющей стали для дополнительной защиты.

Насосы nXDS15iR созданы для таких приложений, как рециркуляция, откачка сжиженных газов или для других приложений, в которых нежелательно разжижение откаченного газа или при наличии встроенных уплотнений для минимизации потенциальных газовых потерь.

Насосы серии nXDS с версий исполнения “R” (например nXDS15iR) созданы для таких приложений как: рециркуляция газа, откачка и регенерация редких газов в которых нежелательно разбавление откаченного процессного газа или же наличие дополнительных уплотнений.

Внутреннее устройство спирального насоса серии nXDS

1. Оптимальное расположение подшипников для увеличения срока службы и простоты их замены
2. Высокоэффективный электромотор с радиальным воздушным зазором для минимального энергопотребления
3. Электрические вход с широким диапазоном по напряжению питания и автоматическим выбором для удобства эксплуатации
4. Интуитивные кнопки для ручного управления
5. Кнопки управления скоростью холостого хода для оптимизации энергопотребления
6. USB разъем
7. Профиль спиралей оптимизирован под каждую модель для максимальной эффективности
8. Передовая технология уплотнения с большим сроком эксплуатации
9. Вентилятор с терморегулятором оборотов для снижения уровня шума
10. Герметичное сильфонное уплотнение для абсолютно безмасляного вакуума
11. Интерфейс удалённого управления для большего удобства управления

Достоинства:

• Запатентованная технология изоляции подшипников с помощью сильфона;
• Абсолютно сухая безмасляная откачка;
• Широкий диапазон напряжения питания;
• Предельное остаточное давление:  0,01 мбар (8x10^-3 Торр) – для XDS; 0,007 мбар (5x10^-3 Торр) – для nXDS;
• Постоянная скорость откачки в независимости от условий работы;
• Насос может работать от любого напряжения, обеспечивая одинаковые откачные характеристики;
• Не требуется уплотнения вала и продувки подшипников;
• Возможность удалённого управления насосом с помощью 15-пинового разъема логического интерфейса (XDS и nXDS) или цифрового интерфейса USB (для nXDS);
• Низкое энергопотребление;
• Простота ремонта и обслуживания.

Области применения:

• Сканирующие электронные микроскопы и установки напыления образцов;
• Масс-спектрометры, анализ поверхности, гелиевые течеискатели;
• Исследования, ускорители заряженных частиц, установки ионной имплантации (откачка ионопроводов и имплантационных камер), откачка лазеров, рециркуляция, газа, мобильные вакуумные посты;
• Форвакуумная откачка турбомолекулярных насосов.
• Подготовка образцов, гель сушилки, перчаточные боксы, вакуумные центрифуги;
• Напыление;
• Основные отрасли, где нужна безмасляная откачка.

¹ - Версия C
² - Версия R
³ - Версия NGB

Снятые с производства насосы:

Ниже в таблице приведена рекомендуемая замена производителем снятых с производства насосов.

Снятые с производства насосы		Рекомендуемая производителем замена
XDS5	PDF Eng	nXDS6i
XDS5C	PDF Eng	nXDS6iC
XDS10	PDF Eng	nXDS10i
XDS10C	PDF Eng	nXDS10iC
ESDP12	PDF Eng	nXDS15i
GVSP30	PDF Eng	XDS35i
XDS100B	PDF	обратитесь к специалистам компании

Техническая поддержка снятых насосов с производства, будет производиться около 5 лет. По вопросам приобретения запасных частей для насосов и ремонту обращайтесь к нашим инженерам.