Каталог вакуумного оборудования
Вакуумные датчики Пирани APG200 предназначены для работы в диапазоне давлений от атмосферного до 10-4 мбар. Они работают по принципу передачи тепла от нити накаливания, которая нагревается проходящим через нее электрическим током, к окружающему газу.
Датчики Пирани серии APG200 подходят для всех современных вакуумных приложений, таких как производство полупроводниковой продукции и солнечных батарей, процессов нанесения покрытий, промышленных применений, научных исследований и разработок, а так же аналитических приборов.
Успех применения вакуумных датчиков Пирани серии APG100 побудил компанию Edwards к выпуску новой серии APG200, отличительной особенностью которой, в том числе, является гибкость за счет расширенного диапазона опций и интерфейсов.
В основе датчиков APG200 лежит таже измерительная ячейка, что и в датчиках APG100, которая многолетним опытом эксплуатации подтвердила свою надежность. Вместе с тем, в датчиках серии APG200 увеличена длина нити накаливания, что обеспечивает более высокую чувствительность датчика и лучший отклик в приграничных частях диапазона измерения.
По сравнению с серией APG100, датчики серии APG200 на 25% более компактны и оснащены кольцевым световым индикатором, который позволяет легко визуально определять величину давления в вакуумной системе. Индикация давления вдали от системы автоматизации или показывающих приборов происходит следующим образом: в диапазоне давления от 1000 до 50 мбар – кольцевой индикатор мигает каждые 1,5 секунды, от 50 до 1 мбар каждые 0,75 секунды, а при достижении давления менее 1 мбар – свечение индикатора становится постоянным.
Датчики серии APG200 отличаются самым широким (из представленных на рынке в настоящее время) диапазоном напряжения питания 15-48 В. При этом наличие в серии датчиков как с аналоговым, так и цифровым выходным сигналом, а так же большое количество вариантов выходного напряжения (согласованные выходы) и интерфейсов связи позволяет подобрать прибор идеально подходящий к системе управления заказчика, без необходимости изменения ПО для обеспечения совместимости компонентов.
В зависимости от выбранного типа связи датчики серии APG200 могут либо напрямую подключаться к системе управления заказчика – датчики с цифровым или аналоговым выходным сигналом и 9-контактным разъемом D-Sub, либо подключаться через совместимый внешний контроллер TIC, TAG или ADC – датчики с аналоговым выходным сигналом и разъемом RJ45 (FCC68). При этом для датчиков с цифровым выходным сигналом доступны драйверы для ПО LabView, что упрощает интеграцию датчиков в систему заказчика.
Датчики серии APG200 поставляются без, с одним или парой твердотельных реле, позволяющих задавать точки уставок для автоматизированной работы системы откачки.
Серия APG200 включает датчики с расширенным типоразмерным рядом вакуумных соединений: фланцы стандарта ISO-KF с номинальным диаметром 16 и 25 мм, фланцы стандарта ConFlat с номинальным диаметром 16 мм, резьбовое соединение NPT 1/8'', соединение торцевого типа 4VCR и 8 VCR, и трубное соединение ½ OD.
Обратная совместимость вакуумных датчиков серии APG200 с вакуумметрами Пирани других производителей позволяет легко переходить на датчики APG200 без дополнительной настройки системы заказчика.
Датчики серии APG200 производятся в трех версиях:
Серия датчиков APG200 отличается большей гибкостью, поскольку для каждой версии датчика APG200 доступен выбор количества точек уставок, типоразмера вакуумного соединения, типа выходного сигнала и разъема электрического подключения. Таким образом, можно подобрать измерительный прибор, идеально подходящий под нужды заказчика и легко интегрируемый в существующую вакуумную систему без необходимости обновления программного или аппаратного обеспечения.
Матрица формирования артикула датчика серии APG200 приведена ниже. Специалисты компании «Интек Аналитика» проконсультируют Вас при возникновении затруднений в подборе модели датчика APG200 и уточнят информацию о его технических характеристиках.
На входе измерительной трубки датчиков серии APG200, так же как в датчиках серии APG100, установлен фильтр-сеточка, препятствующий попаданию загрязнений внутрь измерительной трубки и снижающий турбулентность газового потока.
Датчики серии APG200, в отличии серии APG, легко обсуживаются за счет простой замены измерительной трубки и блока электроники.
Для заказа доступны все модели датчиков серии APG200 c калибровкой завода-изготовителя. Также датчики APG200 могут быть калиброваны в аккредитованных лабораториях Российской Федерации.
По вопросам сервисного облуживания, приобретения запасных частей, а так же калибровки датчиков серии APG200 просим обращаться к нашим специалистам.
Достоинства
| НАЗВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | ЗНАЧЕНИЕ |
|---|---|
| Диапазон измеряемых давлений APG200 М, APG200 MP APG200 LC | Атмосфера – 5·10-4 мбар Атмосфера – 1·10-4 мбар |
| Относительная погрешность | ±50% (при давлении от атмосферы до 100 мбар)* ±15% (для версий М и МР при давлении от 100 до 1·10-3 мбар, для версии LC при давлении от 10 до 1·10-3 мбар) ±50% (при давлении от 1·10-3 до 5·10-4 мбар) |
| Повторяемость | 2% от показаний (при давлении от 100 до 1·10-3 мбар) |
| Напряжение питания | 15-48 В пост. тока |
| Протокол связи** | аналоговый выходной сигнал 0-10 В цифровой выходной сигнал RS232 цифровой выходной сигнал RS485 |
| Электрический разъем | RJ45 или 9-pin D-sub для датчиков с аналоговым выходом 9-pin D-sub для датчиков с цифровым выходом |
| Количество точек уставок** | 0, 1 или 2 |
| Выходной сигнал** | 0-10 В пост. тока линейный 1,9-10 В пост. тока линейный 2,2-8,5 В пост. тока линейный 1,875-8,875 В пост. тока линейный S-образная кривая |
| Реле уставки | 48 В пост. тока, 500 мА |
| Индикатор состояния | светодиодное кольцо |
| Длина кабеля | 100 м (макс.) |
| Избыточное давление | 10 бар (макс.) |
| Рабочая температура | 5-60 °С |
| Температура хранения | -30-70 °С |
| Температура прогрева | макс. 150 °С (при снятом электронным блоке) |
| Влажность воздуха | относительная 80% вплоть до 31 °C и линейно убывающая до 50% при 40 °C и выше |
| Материалы, контактирующие с вакуумом | нержавеющая сталь 304L и 316L, стекло, никель, железо-никелевый сплав, коррозионностойкая сталь 302S26; материал нити: APG200 М – сплав вольфрам-рений APG200 MP – сплав платина-родий APG200LC – сплав платина- иридий |
| Внутренний объем | 3,3 см3 |
| Масса | 0,13 кг (для версии с фланцем NW16) |
| Габаритные размеры | чертеж |
| Класс защиты корпуса | IP40 |
| Присоединение к вакуумной системе** | NW16, NW25, DN16CF, 1/8'' NPT, 4VCR, 8 VCR, трубное соединение ½ OD |
| Защита от загрязнений | металлический фильтр-сеточка на входе в измерительную трубку датчика |
| Совместимость с контроллерами | TIC, TAG, ADC |
| Программное обеспечение | драйверы для LabVIEW |
| APG100 | APG200 | ||
|---|---|---|---|
| D02601000 | APG100-XM linear Pirani gauge NW16 | D1G1011100 | APG200-XM-NW16 |
| D02602000 | APG100-XM linear Pirani gauge NW25 | D1G1021100 | APG200-XM-NW25 |
| D02603000 | APG100-XLC linear Pirani gauge NW16 | D1G2011100 | APG200-XLC-NW16 |
| D02604000 | APG100-XLC linear Pirani gauge NW25 | D1G2021100 | APG200-XLC-NW25 |
| D02605000 | APG100-M Non-linear Pirani gauge NW16 | D1G1011150 | APG200-M-NW16 |
| D02606000 | APG100-M Non-linear Pirani gauge NW25 | D1G1021150 | APG200-M-NW25 |
| D02607000 | APG100-LC Non-linear Pirani gauge NW16 | D1G2011150 | APG200-LC-NW16 |
| D02608000 | APG100-LC Non-linear Pirani gauge NW25 | D1G2021150 | APG200-LC-NW25 |
| D02609000 | APG100-MP Non-linear Pirani gauge NW16 | D1G3011150 | APG200-MP-NW16 |
| D02609100 | APG100-MP Non-linear Pirani gauge NW25 | D1G3021150 | APG200-MP-NW25 |
| APG | APG200 | ||
|---|---|---|---|
| D02171000 | APG-M-NW16 AL | D1G1011150 | APG200-M-NW16 |
| D02172000 | APG-M-NW25 ST/ST | D1G1021150 | APG200-M-NW25 |
| D02174000 | APG-L-NW25 ST/ST | D1G2021150 | APG200-LC-NW25 |
| D02175000 | APG-M-NW16 ST/ST | D1G1011150 | APG200-M-NW16 |
| D02176000 | APG-M 15 mm O.D. ST/ST | D1G1081100 | APG200-XM-Bare Tube |
| D02177000 | APG-L-NW16 ST/ST | D1G2011150 | APG200-LC-NW16 |
| D02178000 | APG-L 15 mm O.D. ST/ST | D1G2081100 | APG200-XLC-Bare Tube |
| D02182000 | APG-MP-NW25 ST/ST | D1G3021150 | APG200-MP-NW25 |
| D02185000 | APG-MP-NW16 ST/ST | D1G3011150 | APG200-MP-NW16 |
| D02186000 | APG-MP 15 mm O.D. ST/ST | D1G3081100 | APG200-XMP-Bare Tube |
| D02187000 | APG-MP-15V-NW16 S/S Active Pirani | D1G3011150 | APG200-MP-NW16 |
| APGХ | APG200 | ||
|---|---|---|---|
| D02371000 | APGX-M-NW16 AL | D1G1011100 | APG200-XM-NW16 |
| D02372000 | APGX-M-NW25 ST/ST | D1G1021100 | APG200-XM-NW25 |
| D02373000 | APGX-L-NW16 AL | D1G2011100 | APG200-XLC-NW16 |
| D02374000 | APGX-L-NW25 ST/ST | D1G2021100 | APG200-XLC-NW25 |
| D02375000 | APGX-M-NW16 ST/ST | D1G1011100 | APG200-XM-NW16 |
| D02376000 | APGX-M 15 mm O.D. ST/ST | D1G1081100 | APG200-XM-Bare Tube |
| D02377000 | APGX-L-NW16 ST/ST | D1G2011100 | APG200-XLC-NW16 |
| D02378000 | APGX-L 15 mm O.D. ST/ST | D1G2081100 | APG200-XLC-Bare Tube |
| D02382000 | APGX-MP-NW25 ST/ST | D1G3021100 | APG200-XMP-NW25 |
| D02384000 | APGX-LT-NW25 S/S Active Linear Pirani | D1G2021100 | APG200-XLC-NW25 |
| D02385000 | APGX-MP-NW16 ST/ST | D1G3011100 | APG200-XMP-NW16 |
| D02386000 | APGX-MP 15 mm O.D. ST/ST | D1G3081100 | APG200-XMP-Bare Tube |
8-800-200-24-80
